Abstract:
본 발명은 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 제1 및 제2 극자외선을 방사하는 제1 및 제2 광원부와, 상기 제1 및 제2 광원부로부터 방사된 극자외선을 각각 반사하여 집광하는 제1 및 제2 오목거울과, 상기 제1 및 제2 오목거울에 의해 각각 집광된 극자외선을 측정대상 마스크를 향하여 각각 반사하는 제1 및 제2 반사거울과, 상기 측정대상 마스크의 Z축을 기준으로 서로 대향되게 일정한 제1 및 제2 각도로 기울어져 각각 반사된 제1 및 제2 회절 이미지를 획득하는 제1 및 제2 CCD 카메라와, 상기 측정대상 마스크를 안착시키는 스테이지와, 상기 스테이지의 일측에 구비되며, 상기 측정대상 마스크의 전체 이미지를 스캔할 수 있도록 상기 스테이지를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키기 위한 이동수단과, 상기 제1 및 제2 CCD 카메라로부터 각각 획득된 제1 및 제2 회절 이미지를 역 고속 퓨리에 변환(IFFT) 및 정합을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원함과 아울러 상기 이동수단의 동작을 제어하기 위한 구동제어신호를 출력하는 제어장치를 포함함으로써, 극자외선(EUV) 광원으로 만들어진 차세대 반도체 공정에서 사용되는 3차원 구조의 마스크 패턴에 존재하는 미세 결함(Defect) 등을 효과적으로 검사할 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A 3D display system displaying an optimal watching area to an observer is provided to display a synthesized image on a display panel by synthesizing position information data and a 3D image of the observer obtained through a camera with an optimal watching area image in a 3D space. CONSTITUTION: A control device(400) obtains view distribution data in an observation range of vertical and horizontal directions by using each light source of a 3D image display device(100) of non-glass type. The control device obtains an optimal watching area image by using the view distribution data. The control device displays a synthesized image on the display panel by synthesizing position information data and a 3D image of an observer obtained from a 3D image obtaining unit(300) with the optimal watching area image in a 3D space.
Abstract:
PURPOSE: A 3-dimensional image acquisition system for mask pattern inspection and a method thereof are provided to effectively detect micro defects generated in a 3D mask pattern due to an extreme ultraviolet light source. CONSTITUTION: A first and a second optical source part(100a,100b) radiate first and second extreme ultraviolet. A first and a second concave mirror(200a,200b) condense the extreme ultraviolet radiated from the first and the second optical source part. A first and a second back mirror(300a,300b) reflect the condensed extreme ultraviolet to a measurement target mask. A first and a second CCD camera(600a,600b) records the diffraction beam information of the measurement target mask(10). The measurement target mask is mounted on a stage(400). A transfer unit(500) moves the stage in the X-axis and the Y-axis direction. [Reference numerals] (700) Control device;
Abstract:
PURPOSE: An interactive three-dimensional display system is provided to minimize crosstalk by controlling each parameter of a three-dimensional display device. CONSTITUTION: In a glassless 3-D image display device(100), a parallax barrier panel(20) is arranged in the front of a display panel. A control unit(200) receives display information and view point information from the glassless 3-D image display device. The control unit calculates the entire viewing zone width by a light from a point light source. The control unit obtains viewing zone distribution data in the horizontal and vertical direction viewing range in a predetermined viewing plane. A beam projector(300) outputs an optimum viewing area image in the bottom surface using the viewing zone distribution data.
Abstract:
본 발명은 3차원 디스플레이 시스템에 관한 것으로, 3차원 공간상에서 디스플레이패널의 수평 및 수직방향에 대한 최적시청영역 영상에 카메라를 통해 획득된 관찰자의 3차원 영상 및 위치 정보데이터를 합성하여 관찰자가 시각적으로 알 수 있도록 디스플레이패널에 표시해줌으로써, 관찰자가 시각적으로 최적시청영역을 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라 관찰자가 최적시청영역 위치로 이동할 수 있도록 유도해줄 수 있다.
Abstract:
PURPOSE: An interactive three-dimensional display system is provided to easily and visually confirm an optimum viewing area by displaying an optimum viewing area image on the bottom of the viewing space. CONSTITUTION: A control unit(200) receives display panel information, display information, and view point information from a three-dimensional glassless image display device(100). The control unit obtains viewing zone distribution data in a horizontal viewing range on a predetermined viewing plane by calculating the entire viewing zone width by a point light source. A beam projector(300) outputs an optimum viewing area image on the bottom using the viewing zone distribution data.
Abstract:
PURPOSE: An image obtaining system using a microscope and a camera and a method thereof are provided to mount right/left cameras in right/left eyepieces of the microscope respectively and display photographed right/left image data on a monitor screen. CONSTITUTION: Right and left cameras(200a,200b) photograph right and left images which are observed by right and left eyepieces. A first operation module(300) operates a correlation coefficient with another second image data at each rotation angle while rotating first image data in right/left image data. A second operating module(400) operates a conversion matrix by an angle of the highest correlation coefficient. A control module(600) displays the first image data and the second image data on a monitor screen. The first image data and the second image data are obtained from an image alignment module(500). [Reference numerals] (100) Microscope; (200a,200b) Left/right camera; (300) First operation module; (400) Second operation module; (500) Image alignment module; (600) Control module; (650) Monitor; (700) Image rotation module
Abstract:
PURPOSE: A digital holographic microscope system and a 3D image obtaining method using the same are provided to match the optical axis of the digital holographic microscope system with the optical axis of an image and map a microscope image texture on 3D image data which are obtained by a digital hologram. CONSTITUTION: A CCD(Charged Coupled Device)(800) stores digital hologram data using interference light which is outputted from a light combining unit(700) by opening a shutter(400). A control device(900) obtains 3D image information of a target object by Fresnel transform on the stored digital hologram data. The control device maps a 2D image texture of the target object on the obtained 3D image information. [Reference numerals] (900) Control device
Abstract:
본 발명은 γ 산화알루미늄 (알루미나) 담체에 산화바나듐(V 2 O 5 ) 또는 산화바나듐과 조촉매로서 세륨, 로듐, 백금, 몰리브데늄 및 텅스텐으로 이루어진 군 중에서 선택된 금속의 산화물 또는 이들의 혼합물이 담지된 질소 산화물 환원용 촉매와, 그의 제조 방법 및 그를 이용한 배연 가스의 탈질 방법에 관한 것이다.