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公开(公告)号：KR101274609B1
公开(公告)日：2013-06-13
申请号：KR1020110104561
申请日：2011-10-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/027
Abstract: 본 발명은 마스크 패턴 검사용 3차원 영상 획득 시스템 및 그 방법에 관한 것으로, 제1 및 제2 극자외선을 방사하는 제1 및 제2 광원부와, 상기 제1 및 제2 광원부로부터 방사된 극자외선을 각각 반사하여 집광하는 제1 및 제2 오목거울과, 상기 제1 및 제2 오목거울에 의해 각각 집광된 극자외선을 측정대상 마스크를 향하여 각각 반사하는 제1 및 제2 반사거울과, 상기 측정대상 마스크의 Z축을 기준으로 서로 대향되게 일정한 제1 및 제2 각도로 기울어져 각각 반사된 제1 및 제2 회절 이미지를 획득하는 제1 및 제2 CCD 카메라와, 상기 측정대상 마스크를 안착시키는 스테이지와, 상기 스테이지의 일측에 구비되며, 상기 측정대상 마스크의 전체 이미지를 스캔할 수 있도록 상기 스테이지를 X축 및 Y축 방향으로 이동시키기 위한 이동수단과, 상기 제1 및 제2 CCD 카메라로부터 각각 획득된 제1 및 제2 회절 이미지를 역 고속 퓨리에 변환(IFFT) 및 정합을 수행하여 상기 측정대상 마스크의 패턴 이미지를 복원함과 아울러 상기 이동수단의 동작을 제어하기 위한 구동제어신호를 출력하는 제어장치를 포함함으로써, 극자외선(EUV) 광원으로 만들어진 차세대 반도체 공정에서 사용되는 3차원 구조의 마스크 패턴에 존재하는 미세 결함(Defect) 등을 효과적으로 검사할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020130057383A
公开(公告)日：2013-05-31
申请号：KR1020120009553
申请日：2012-01-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N13/04
CPC classification number: G06K9/6201
Abstract: PURPOSE: A 3D display system displaying an optimal watching area to an observer is provided to display a synthesized image on a display panel by synthesizing position information data and a 3D image of the observer obtained through a camera with an optimal watching area image in a 3D space. CONSTITUTION: A control device(400) obtains view distribution data in an observation range of vertical and horizontal directions by using each light source of a 3D image display device(100) of non-glass type. The control device obtains an optimal watching area image by using the view distribution data. The control device displays a synthesized image on the display panel by synthesizing position information data and a 3D image of an observer obtained from a 3D image obtaining unit(300) with the optimal watching area image in a 3D space.
Abstract translation: 目的：提供向观察者显示最佳观看区域的3D显示系统，以通过合成位置信息数据和通过具有3D的最佳观看区域图像的相机获得的观察者的3D图像来在显示面板上显示合成图像 空间。 构成：控制装置（400）通过使用非玻璃型3D图像显示装置（100）的各光源，在垂直和水平方向的观察范围内获得视图分布数据。 控制装置通过使用视角分布数据获得最佳观看区域图像。 控制装置通过在3D空间中合成位置信息数据和从3D图像获取单元（300）获得的观察者的3D图像与最佳观看区域图像，来在显示面板上显示合成图像。
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公开(公告)号：KR1020130039903A
公开(公告)日：2013-04-23
申请号：KR1020110104561
申请日：2011-10-13
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/66 , H01L21/027
CPC classification number: H01L22/12 , G03F7/70608 , G03F7/70616 , H01L21/0274 , H01L22/30
Abstract: PURPOSE: A 3-dimensional image acquisition system for mask pattern inspection and a method thereof are provided to effectively detect micro defects generated in a 3D mask pattern due to an extreme ultraviolet light source. CONSTITUTION: A first and a second optical source part(100a,100b) radiate first and second extreme ultraviolet. A first and a second concave mirror(200a,200b) condense the extreme ultraviolet radiated from the first and the second optical source part. A first and a second back mirror(300a,300b) reflect the condensed extreme ultraviolet to a measurement target mask. A first and a second CCD camera(600a,600b) records the diffraction beam information of the measurement target mask(10). The measurement target mask is mounted on a stage(400). A transfer unit(500) moves the stage in the X-axis and the Y-axis direction. [Reference numerals] (700) Control device;
Abstract translation: 目的：提供一种用于掩模图案检查的三维图像采集系统及其方法，以有效地检测由于极紫外光源而导致的3D掩模图案中产生的微缺陷。 构成：第一和第二光源部分（100a，100b）辐射第一和第二极紫外线。 第一和第二凹面镜（200a，200b）冷凝从第一和第二光学源部分辐射的极紫外线。 第一和第二后视镜（300a，300b）将浓缩的极紫外光反射到测量目标掩模。 第一和第二CCD照相机（600a，600b）记录测量目标掩模（10）的衍射光束信息。 测量目标掩模安装在平台（400）上。 传送单元（500）在X轴和Y轴方向上移动台。 （附图标记）（700）控制装置;
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公开(公告)号：KR101239316B1
公开(公告)日：2013-03-05
申请号：KR1020110105968
申请日：2011-10-17
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: H04N2013/0092
Abstract: PURPOSE: An interactive three-dimensional display system is provided to minimize crosstalk by controlling each parameter of a three-dimensional display device. CONSTITUTION: In a glassless 3-D image display device(100), a parallax barrier panel(20) is arranged in the front of a display panel. A control unit(200) receives display information and view point information from the glassless 3-D image display device. The control unit calculates the entire viewing zone width by a light from a point light source. The control unit obtains viewing zone distribution data in the horizontal and vertical direction viewing range in a predetermined viewing plane. A beam projector(300) outputs an optimum viewing area image in the bottom surface using the viewing zone distribution data.
Abstract translation: 目的：提供交互式三维显示系统，通过控制三维显示设备的每个参数来最小化串扰。 构成：在无玻璃三维图像显示装置（100）中，在显示面板的前方配置视差屏障面板（20）。 控制单元（200）从无玻璃三维图像显示装置接收显示信息和观看点信息。 控制单元通过来自点光源的光来计算整个观察区宽度。 控制单元在预定观察平面中获得水平和垂直方向观看范围内的观看区域分布数据。 光束投影仪（300）使用观察区分布数据输出底面中的最佳观看区域图像。
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公开(公告)号：KR101288120B1
公开(公告)日：2013-07-19
申请号：KR1020120009553
申请日：2012-01-31
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N13/04
Abstract: 본 발명은 3차원 디스플레이 시스템에 관한 것으로, 3차원 공간상에서 디스플레이패널의 수평 및 수직방향에 대한 최적시청영역 영상에 카메라를 통해 획득된 관찰자의 3차원 영상 및 위치 정보데이터를 합성하여 관찰자가 시각적으로 알 수 있도록 디스플레이패널에 표시해줌으로써, 관찰자가 시각적으로 최적시청영역을 용이하게 확인할 수 있을 뿐만 아니라 관찰자가 최적시청영역 위치로 이동할 수 있도록 유도해줄 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101238824B1
公开(公告)日：2013-03-04
申请号：KR1020110105963
申请日：2011-10-17
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H04N13/04
CPC classification number: H04N2013/0092
Abstract: PURPOSE: An interactive three-dimensional display system is provided to easily and visually confirm an optimum viewing area by displaying an optimum viewing area image on the bottom of the viewing space. CONSTITUTION: A control unit(200) receives display panel information, display information, and view point information from a three-dimensional glassless image display device(100). The control unit obtains viewing zone distribution data in a horizontal viewing range on a predetermined viewing plane by calculating the entire viewing zone width by a point light source. A beam projector(300) outputs an optimum viewing area image on the bottom using the viewing zone distribution data.
Abstract translation: 目的：提供交互式三维显示系统，通过在观看空间底部显示最佳观看区域图像，轻松，可视地确认最佳观看区域。 构成：控制单元（200）从三维无玻璃图像显示装置（100）接收显示面板信息，显示信息和视点信息。 控制单元通过点光源计算整个观看区域宽度，在预定观看平面上的水平观看范围内获得观看区域分布数据。 光束投影仪（300）使用观看区域分布数据在底部输出最佳观看区域图像。
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公开(公告)号：KR1020120113435A
公开(公告)日：2012-10-15
申请号：KR1020110031141
申请日：2011-04-05
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: G06T15/005 , H04N5/23296 , H04N13/204
Abstract: PURPOSE: An image obtaining system using a microscope and a camera and a method thereof are provided to mount right/left cameras in right/left eyepieces of the microscope respectively and display photographed right/left image data on a monitor screen. CONSTITUTION: Right and left cameras(200a,200b) photograph right and left images which are observed by right and left eyepieces. A first operation module(300) operates a correlation coefficient with another second image data at each rotation angle while rotating first image data in right/left image data. A second operating module(400) operates a conversion matrix by an angle of the highest correlation coefficient. A control module(600) displays the first image data and the second image data on a monitor screen. The first image data and the second image data are obtained from an image alignment module(500). [Reference numerals] (100) Microscope; (200a,200b) Left/right camera; (300) First operation module; (400) Second operation module; (500) Image alignment module; (600) Control module; (650) Monitor; (700) Image rotation module
Abstract translation: 目的：提供使用显微镜和相机的图像获取系统及其方法，以分别将右/左相机安装在显微镜的右/左目镜中，并将监视器屏幕上的右/左图像数据显示。 构成：右和左摄像机（200a，200b）拍摄右和左目镜观察到的左右图像。 第一操作模块（300）在旋转右/左图像数据中的第一图像数据的同时以每个旋转角度操作与另一第二图像数据的相关系数。 第二操作模块（400）以最高相关系数的角度操作转换矩阵。 控制模块（600）在监视器屏幕上显示第一图像数据和第二图像数据。 第一图像数据和第二图像数据从图像对准模块（500）获得。 （附图标记）（100）显微镜; （200a，200b）左/右相机; （300）第一操作模块; （400）第二操作模块; （500）图像对准模块; （600）控制模块; （650）监控; （700）图像旋转模块
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公开(公告)号：KR1020120112987A
公开(公告)日：2012-10-12
申请号：KR1020110030626
申请日：2011-04-04
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A digital holographic microscope system and a 3D image obtaining method using the same are provided to match the optical axis of the digital holographic microscope system with the optical axis of an image and map a microscope image texture on 3D image data which are obtained by a digital hologram. CONSTITUTION: A CCD(Charged Coupled Device)(800) stores digital hologram data using interference light which is outputted from a light combining unit(700) by opening a shutter(400). A control device(900) obtains 3D image information of a target object by Fresnel transform on the stored digital hologram data. The control device maps a 2D image texture of the target object on the obtained 3D image information. [Reference numerals] (900) Control device
Abstract translation: 目的：提供一种数字全息显微镜系统和使用该数字全息显微镜系统的3D图像获取方法，以将数字全息显微镜系统的光轴与图像的光轴相匹配，并将显微镜图像纹理映射在3D图像数据上， 数字全息图。 构成：CCD（电荷耦合器件）（800）使用通过打开快门（400）从光合成单元（700）输出的干涉光来存储数字全息图数据。 控制装置（900）通过对所存储的数字全息图数据的菲涅尔变换获得目标物体的3D图像信息。 控制装置将所获取的3D图像信息的目标对象的2D图像纹理映射。 （附图标记）（900）控制装置
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9.发明公开γ 산화알루미늄을 담체로 하는 질소 산화물 환원용 바나듐촉매, 그의 제조 방법 및 그를 이용한 배연 가스의 탈질 방법 无效用于还原含有γ-氧化铝作为载体的氮氧化物的钒催化剂及其制造方法，以及使用其的废气的脱氮方法
公开(公告)号：KR1019990085023A
公开(公告)日：1999-12-06
申请号：KR1019980017143
申请日：1998-05-13
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 γ 산화알루미늄 (알루미나) 담체에 산화바나듐(V
2 O
5 ) 또는 산화바나듐과 조촉매로서 세륨, 로듐, 백금, 몰리브데늄 및 텅스텐으로 이루어진 군 중에서 선택된 금속의 산화물 또는 이들의 혼합물이 담지된 질소 산화물 환원용 촉매와, 그의 제조 방법 및 그를 이용한 배연 가스의 탈질 방법에 관한 것이다.-
公开(公告)号：KR101216041B1
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：KR1020110031141
申请日：2011-04-05
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은현미경및 카메라를이용한영상획득시스템및 그방법에관한것으로, 관찰대상을육안으로관찰할수 있도록좌/우접안렌즈를구비하는현미경과, 상기현미경의좌/우접안렌즈에각각장착되며, 상기좌/우접안렌즈를통해관찰된좌/우영상을촬영하여전기적인좌/우영상데이터를출력하는좌/우카메라와, 상기좌/우카메라로부터출력된좌/우영상데이터중 어느하나의제1 영상데이터를일정각도마다회전하면서각 회전된각도마다다른하나의제2 영상데이터와의상관계수를연산하는제1 연산모듈과, 상기제1 연산모듈로부터연산된각 회전된각도에대한상관계수중 가장높은상관계수의각도로변환행렬을연산하는제2 연산모듈과, 상기제2 연산모듈로부터연산된변환행렬과상기제1 영상데이터를곱하여상기제2 영상데이터와정렬된제1 영상데이터를획득하는영상정렬모듈과, 상기영상정렬모듈로부터획득된제1 영상데이터와상기제2 영상데이터를제공받아모니터화면에디스플레이하기위한제어모듈을포함함으로써, 저비용으로스테레오현미경시스템을제작할수 있으며, 다수의관찰자가하나의관찰대상을모니터화면을통해간편하고쉽게관찰할수 있는효과가있다.
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