公开(公告)号：KR1020150049344A

公开(公告)日：2015-05-08

申请号：KR1020130129779

申请日：2013-10-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이귀로 ,  김민식 ,  백진혁 ,  박승현

IPC: B81C3/00 ,  B81B7/02 ,  G01J1/02 ,  G01J5/02 ,  H01L23/02

CPC classification number: H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/00014 ,  B81C1/00269 ,  B81B7/0032 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00317 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0181 ,  B81C2203/033 ,  G01J1/0204 ,  G01J5/0853 ,  H01L23/02

Abstract: 본발명의멤즈소자의진공패키징방법은윈도우리드상에게터및 본딩물질을형성하는단계를포함하여상기윈도우리드를준비하는단계; 패키지기판상에멤즈소자를실장하는단계를포함하여상기패키지기판을준비하는단계; 및상기멤즈소자가상기윈도우리드를마주하도록, 상기윈도우리드를상기멤즈소자가실장된상기패키지기판에접착하는단계를포함한다.

Abstract translation: 根据本发明，一种用于真空包装MEMS器件的方法包括以下步骤：制备窗口引线，其包括在窗口引线上形成吸气剂和接合材料的步骤; 制备包括将MEMS器件安装在封装衬底上的步骤的封装衬底; 以及将所述窗口导线接合到所述封装衬底，其中所述MEMS器件被安装以使得所述MEMS器件能够面对所述窗口引线。

公开(公告)号：KR1020170036471A

公开(公告)日：2017-04-03

申请号：KR1020150135675

申请日：2015-09-24

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이귀로 ,  김민식 ,  박승현

IPC: G01J5/20

CPC classification number: G01J5/34 ,  G01J5/061 ,  G01J5/22 ,  G01J2005/0048 ,  G01J2005/106

Abstract: 본발명에따른다중기준상관이중표본화감지방법은, 복수의단위기준셀이기준신호를생성하는단계, 적외선신호를흡수한복수의단위감지셀이감지신호를수신하는단계, 및감지신호및 상기기준신호를이용하여처리된감지셀값에기초하여순수적외선신호만을검출하는단계를포함하며, 단위기준셀은, 상기적외선신호에는반응하지않되, 상기단위감지셀과동일한전기적및 열적특성을가지는암맹셀로구성된다. 이에의하여, 감지셀의자기가열효과를정확하게상쇄시킬수 있으며, 전원잡음등 공통잡음에강인하고, 스키밍셀간의부정합을포함한검출회로에서생기는고정패턴잡음을제거시킬수 있다. 나아가, 아날로그및 디지털보정의복잡도를매우줄이는동시에효율성을향상시킬수 있고, 열전냉각기와셔터를제거할수 있다.

Abstract translation: 该方法包括：生成多个单元参考单元跳动信号;从已经吸收了红外信号的多个单元感测单元接收感测信号; 并将处理后的感测单元的值的基础上，包括检测仅一个纯红外信号，使用可基于细胞中的单元的步骤中，尽可能少不给红外信号作出反应，将具有相同的电特性和热特性和单元检测细胞的癌症maengsel组成 是的。 以这种方式，和sikilsu正好抵消所述感测单元的自加热效应，并sikilsu更强，并除去在所述检测电路包括飞掠细胞到公共噪声，如电源噪声之间的失配所产生的固定模式噪声。 此外，它可以大大降低模拟和数字校准的复杂性，提高效率，并消除热电冷却器和百叶窗。

公开(公告)号：KR101570445B1

公开(公告)日：2015-11-20

申请号：KR1020140023336

申请日：2014-02-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이귀로 ,  김민식 ,  백진혁 ,  박승현

IPC: G01J1/02

CPC classification number: G01J5/10 ,  G01J5/024 ,  G01J5/20 ,  G01J2005/068

Abstract: 본발명의실시형태에따른적외선검출기는적외선을감지하여전류신호를출력하는마이크로볼로미터액티브셀; 및상기마이크로볼로미터액티브셀에대한기준전류신호를생성하는기준셀을포함하고, 상기기준셀은병렬연결된 i개의단위웜 셀의묶음 j개가직렬연결된웜 셀어레이구조를갖는복수개의단위웜 셀로구성되며, 상기기준셀은상기단위웜 셀의전기적저항값의 j/i배의전기적저항값을가지고, 상기기준셀은상기단위웜 셀의열 저항값의 1/(i*j) 배의열 저항값을갖지며, 여기서상기 i 및 j는자연수일수 있다.

Abstract translation: 根据本发明实施例的红外探测器包括：微型测辐射热计有源单元，用于感测红外线并输出电流信号; 和参考单元产生用于所述微测活动单元格的参考电流信号，参考单元由多个具有蜗杆单元阵列结构体束连接Ĵ狗一系列平行的单元蠕虫细胞的，i中的单元虫细胞的连接 参考单元具有j的电阻值/ I倍的单元蠕虫细胞的电阻，参考单元是1 /（I * j）的次数耐热性单元蠕虫电池的耐热性 我和j可能是自然数。