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公开(公告)号：WO2015130123A1
公开(公告)日：2015-09-03
申请号：PCT/KR2015/001917
申请日：2015-02-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J5/10 , G01J5/024 , G01J5/20 , G01J2005/068
Abstract: 본 발명의 적외선 검출기는 적외선을 감지하여 전류 신호를 출력하는 마이크로 볼로미터 액티브 셀; 및 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀과 구조 및 전기적 특성이 동일한 웜 셀을 복수 개 연결 포함하여, 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀의 전기적 저항값 및 평균 자기 발열양과 동일한 전기적 저항값 및 평균 자기 발열양을 가지며, 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀에 대한 기준 전류 신호를 생성하는 기준 셀을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的红外检测器可以包括：微测热计活性单元，用于通过感测红外光来输出电流信号; 以及包括多个连接的暖电池的参考电池，其具有与微测热器有源电池相同的结构和电特性，使得电阻值和平均自热量与电热值和平均自热量相同， 加热微热辐射计活性单元，并产生用于微测热计活性单元的参考电流信号。
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公开(公告)号：KR101570445B1
公开(公告)日：2015-11-20
申请号：KR1020140023336
申请日：2014-02-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J5/10 , G01J5/024 , G01J5/20 , G01J2005/068
Abstract: 본발명의실시형태에따른적외선검출기는적외선을감지하여전류신호를출력하는마이크로볼로미터액티브셀; 및상기마이크로볼로미터액티브셀에대한기준전류신호를생성하는기준셀을포함하고, 상기기준셀은병렬연결된 i개의단위웜 셀의묶음 j개가직렬연결된웜 셀어레이구조를갖는복수개의단위웜 셀로구성되며, 상기기준셀은상기단위웜 셀의전기적저항값의 j/i배의전기적저항값을가지고, 상기기준셀은상기단위웜 셀의열 저항값의 1/(i*j) 배의열 저항값을갖지며, 여기서상기 i 및 j는자연수일수 있다.
Abstract translation: 根据本发明实施例的红外探测器包括：微型测辐射热计有源单元，用于感测红外线并输出电流信号; 和参考单元产生用于所述微测活动单元格的参考电流信号，参考单元由多个具有蜗杆单元阵列结构体束连接Ĵ狗一系列平行的单元蠕虫细胞的，i中的单元虫细胞的连接 参考单元具有j的电阻值/ I倍的单元蠕虫细胞的电阻，参考单元是1 /（I * j）的次数耐热性单元蠕虫电池的耐热性 我和j可能是自然数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101529543B1
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：KR1020130129779
申请日：2013-10-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 본발명의멤즈소자의진공패키징방법은윈도우리드상에게터및 본딩물질을형성하는단계를포함하여상기윈도우리드를준비하는단계; 패키지기판상에멤즈소자를실장하는단계를포함하여상기패키지기판을준비하는단계; 및상기멤즈소자가상기윈도우리드를마주하도록, 상기윈도우리드를상기멤즈소자가실장된상기패키지기판에접착하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020150039394A
公开(公告)日：2015-04-10
申请号：KR1020130117912
申请日：2013-10-02
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01J1/44 , G01J1/0295 , G01J5/0853 , H04N5/2258
Abstract: 본발명의적외선검출기는적외선을감지하여전류신호를출력하는마이크로볼로미터셀이 N개의열 및 M개의행 (N X M, 여기서 N 및 M은 2 이상의정수) 형태로배열된셀 어레이; 및상기 N개의열 각각에대해서적분기를포함하는, 적분회로를포함하며, 상기 M개의행 중두 개이상의행에포함된상기마이크로볼로미터셀로부터의전류신호가각각의적분기를통해서동시에읽기될수 있다.
Abstract translation: 本发明的红外检测器包括： 以通过感测红外线输出电流信号的微热辐射计单元布置的单元阵列具有N列和M行（N X M，N和M是2或更大的整数）; 以及包括用于N列中的每一列的积分器的积分电路。 M行中包含在两行以上的微热电池单元的当前信号可以同时通过各积分器读取。
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公开(公告)号：KR101563475B1
公开(公告)日：2015-10-26
申请号：KR1020130117912
申请日：2013-10-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명의적외선검출기는적외선을감지하여전류신호를출력하는마이크로볼로미터셀이 N개의열 및 M개의행 (N X M, 여기서 N 및 M은 2 이상의정수) 형태로배열된셀 어레이; 및상기전류신호를입력받아적분하는적분기를포함하는, 적분회로를포함하며, 상기 N개의열 중하나의열에포함된적어도 2개의마이크로볼로미터셀로부터상기전류신호가동시에읽기될수 있고, 상기동시에읽기되는상기전류신호는서로다른적분기를통해서읽기될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020150101713A
公开(公告)日：2015-09-04
申请号：KR1020140023336
申请日：2014-02-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J5/10 , G01J5/024 , G01J5/20 , G01J2005/068
Abstract: 본 발명의 적외선 검출기는 적외선을 감지하여 전류 신호를 출력하는 마이크로 볼로미터 액티브 셀; 및 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀과 구조 및 전기적 특성이 동일한 웜 셀을 복수 개 연결 포함하여, 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀의 전기적 저항값 및 평균 자기 발열양과 동일한 전기적 저항값 및 평균 자기 발열양을 가지며, 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀에 대한 기준 전류 신호를 생성하는 기준 셀을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的红外检测器包括：用于检测红外线并输出电流信号的微测热计活性单元; 以及包括多个暖电池的参考电池，其彼此连接并且具有与微测热器活性单元相同的结构和电特性，具有与电阻值和平均自热值相同的电阻值和平均自热值， 微辐射热计活性单元，并且相对于微测热计活性单元产生参考电流。
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公开(公告)号：KR1020150049344A
公开(公告)日：2015-05-08
申请号：KR1020130129779
申请日：2013-10-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014 , B81C1/00269 , B81B7/0032 , B81B7/02 , B81C1/00317 , B81C2203/0109 , B81C2203/0181 , B81C2203/033 , G01J1/0204 , G01J5/0853 , H01L23/02
Abstract: 본발명의멤즈소자의진공패키징방법은윈도우리드상에게터및 본딩물질을형성하는단계를포함하여상기윈도우리드를준비하는단계; 패키지기판상에멤즈소자를실장하는단계를포함하여상기패키지기판을준비하는단계; 및상기멤즈소자가상기윈도우리드를마주하도록, 상기윈도우리드를상기멤즈소자가실장된상기패키지기판에접착하는단계를포함한다.
Abstract translation: 根据本发明，一种用于真空包装MEMS器件的方法包括以下步骤：制备窗口引线，其包括在窗口引线上形成吸气剂和接合材料的步骤; 制备包括将MEMS器件安装在封装衬底上的步骤的封装衬底; 以及将所述窗口导线接合到所述封装衬底，其中所述MEMS器件被安装以使得所述MEMS器件能够面对所述窗口引线。
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