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公开(公告)号:WO2015130123A1
公开(公告)日:2015-09-03
申请号:PCT/KR2015/001917
申请日:2015-02-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J5/10 , G01J5/024 , G01J5/20 , G01J2005/068
Abstract: 본 발명의 적외선 검출기는 적외선을 감지하여 전류 신호를 출력하는 마이크로 볼로미터 액티브 셀; 및 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀과 구조 및 전기적 특성이 동일한 웜 셀을 복수 개 연결 포함하여, 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀의 전기적 저항값 및 평균 자기 발열양과 동일한 전기적 저항값 및 평균 자기 발열양을 가지며, 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀에 대한 기준 전류 신호를 생성하는 기준 셀을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的红外检测器可以包括:微测热计活性单元,用于通过感测红外光来输出电流信号; 以及包括多个连接的暖电池的参考电池,其具有与微测热器有源电池相同的结构和电特性,使得电阻值和平均自热量与电热值和平均自热量相同, 加热微热辐射计活性单元,并产生用于微测热计活性单元的参考电流信号。
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公开(公告)号:KR1020150060271A
公开(公告)日:2015-06-03
申请号:KR1020130144488
申请日:2013-11-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J1/44
CPC classification number: G01J1/44 , G01J5/0853 , G01J5/20
Abstract: 본발명의적외선검출기는적외선을감지하여전류신호를출력하는마이크로볼로미터셀이 N개의로우및 M개의컬럼형태로배열된셀 어레이; 적외선에반응하지않고기준신호를출력하는기준마이크로볼로미터셀이 N개의로우및 1개의컬럼형태로배열된기준셀 어레이; 및상기 M개의컬럼각각에대해서적분기를포함하며, 상기적분기에는, 해당컬럼에포함되는상기마이크로볼로미터셀에서출력되는상기전류신호와상기마이크로볼로미터셀과동일한로우에해당하는상기기준마이크로볼로미터셀에서출력되는상기기준신호의차동전류신호가입력된다.
Abstract translation: 本发明的红外检测器包括:电池阵列,其中检测红外线和输出电流信号的微热辐射计单元以N列和M列的形式排列; 标准单元阵列,其中不响应红外线并输出标准信号的标准微测辐射计单元排列成N行和一列; 和每个M列的积分器。 在积分器中,输入从包括在相应列中的微热电池单元输出的电流信号和从与微测热单元相同的行对应的标准微测热单元输出的标准信号的差分电流信号。
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3.자기가열 상쇄 가능한 마이크로 볼로미터 어레이 센서 및 이를 포함하는 적외선 검출기 有权
Title translation: 能够自加热和消除的微型辐射热测量计阵列传感器以及包括其的红外线检测器公开(公告)号:KR101780299B1
公开(公告)日:2017-10-10
申请号:KR1020150108609
申请日:2015-07-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J5/20
Abstract: 본발명에따른마이크로볼로미터어레이센서는, 볼로미터어레이센서로서, 단위웜셀은, 서미스터를포함하는바디부, 바디부의모서리로부터연장된 2개의레그, 레그의종단으로부터각각연장되는 2개의앵커및 자기가열또는원격적외선신호에의해생성된열을, 자기혹은인접하는웜셀의앵커로배출시키는열전달경로를포함하고, 단위웜셀은, 감지셀과동일한바디부, 레그및 앵커구조를갖는다. 이에의하여, 고정패턴잡음을월등히감소시킴으로써, 하드웨어/소프트웨어적요소, 열전냉각기, 셔터등의추가설비를제거하거나줄일수 있다. 또한, 자기가열(self-heating)을상쇄할수 있는웜셀어레이를스키밍회로에이용하기때문에, 적외선검출기의반응도와동적범위를월등히향상시킬수 있다.
Abstract translation: 根据本发明,辐射热测量计阵列传感器单元womsel,第二从主体部分延伸的微辐射阵列传感器,所述主体部分的边缘包括所述腿的一个热敏电阻,所述两个锚和自产生的热量或其中每个从腿端延伸 包括用于排出由所述远程红外信号所产生的热量,或者磁锚womsel相邻和单元womsel是传热路径,它具有相同的主体部,腿和锚定结构和所述感测单元。 因此,通过显着减少固定模式噪声,可以消除或减少诸如硬件/软件元件,热电冷却器,百叶窗等附加设备。 另外,由于在撇除电路中使用可以抵消自加热的蜗杆单元阵列,因此可以大大提高红外检测器的响应和动态范围。
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公开(公告)号:KR101732346B1
公开(公告)日:2017-05-04
申请号:KR1020150135675
申请日:2015-09-24
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J5/20
CPC classification number: G01J5/34 , G01J5/061 , G01J5/22 , G01J2005/0048 , G01J2005/106
Abstract: 본발명에따른다중기준상관이중표본화감지방법은, 복수의단위기준셀이기준신호를생성하는단계, 적외선신호를흡수한복수의단위감지셀이감지신호를수신하는단계, 및감지신호및 상기기준신호를이용하여처리된감지셀값에기초하여순수적외선신호만을검출하는단계를포함하며, 단위기준셀은, 상기적외선신호에는반응하지않되, 상기단위감지셀과동일한전기적및 열적특성을가지는암맹셀로구성된다. 이에의하여, 감지셀의자기가열효과를정확하게상쇄시킬수 있으며, 전원잡음등 공통잡음에강인하고, 스키밍셀간의부정합을포함한검출회로에서생기는고정패턴잡음을제거시킬수 있다. 나아가, 아날로그및 디지털보정의복잡도를매우줄이는동시에효율성을향상시킬수 있고, 열전냉각기와셔터를제거할수 있다.
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公开(公告)号:KR1020170014756A
公开(公告)日:2017-02-08
申请号:KR1020150108609
申请日:2015-07-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J5/20
Abstract: 본발명에따른마이크로볼로미터어레이센서는, 볼로미터어레이센서로서, 단위웜셀은, 서미스터를포함하는바디부, 바디부의모서리로부터연장된 2개의레그, 레그의종단으로부터각각연장되는 2개의앵커및 자기가열또는원격적외선신호에의해생성된열을, 자기혹은인접하는웜셀의앵커로배출시키는열전달경로를포함하고, 단위웜셀은, 감지셀과동일한바디부, 레그및 앵커구조를갖는다. 이에의하여, 고정패턴잡음을월등히감소시킴으로써, 하드웨어/소프트웨어적요소, 열전냉각기, 셔터등의추가설비를제거하거나줄일수 있다. 또한, 자기가열(self-heating)을상쇄할수 있는웜셀어레이를스키밍회로에이용하기때문에, 적외선검출기의반응도와동적범위를월등히향상시킬수 있다.
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公开(公告)号:KR101529543B1
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:KR1020130129779
申请日:2013-10-30
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 본발명의멤즈소자의진공패키징방법은윈도우리드상에게터및 본딩물질을형성하는단계를포함하여상기윈도우리드를준비하는단계; 패키지기판상에멤즈소자를실장하는단계를포함하여상기패키지기판을준비하는단계; 및상기멤즈소자가상기윈도우리드를마주하도록, 상기윈도우리드를상기멤즈소자가실장된상기패키지기판에접착하는단계를포함한다.
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公开(公告)号:KR1020150039394A
公开(公告)日:2015-04-10
申请号:KR1020130117912
申请日:2013-10-02
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01J1/44 , G01J1/0295 , G01J5/0853 , H04N5/2258
Abstract: 본발명의적외선검출기는적외선을감지하여전류신호를출력하는마이크로볼로미터셀이 N개의열 및 M개의행 (N X M, 여기서 N 및 M은 2 이상의정수) 형태로배열된셀 어레이; 및상기 N개의열 각각에대해서적분기를포함하는, 적분회로를포함하며, 상기 M개의행 중두 개이상의행에포함된상기마이크로볼로미터셀로부터의전류신호가각각의적분기를통해서동시에읽기될수 있다.
Abstract translation: 本发明的红外检测器包括: 以通过感测红外线输出电流信号的微热辐射计单元布置的单元阵列具有N列和M行(N X M,N和M是2或更大的整数); 以及包括用于N列中的每一列的积分器的积分电路。 M行中包含在两行以上的微热电池单元的当前信号可以同时通过各积分器读取。
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公开(公告)号:KR101833365B1
公开(公告)日:2018-04-13
申请号:KR1020160104707
申请日:2016-08-18
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01J5/0853 , G01J5/061 , G01J5/0834 , G01J5/20 , G01J5/48 , H04N5/33
Abstract: 본발명에따른 MBA는, 적외선신호를흡수하여감지신호를출력하는복수의감지셀, 상기적외선신호에반응하지않고기준신호를출력하는복수의암맹셀및 상기감지신호및 상기기준신호의직류성분을공통적으로제거하는스키밍셀을포함하고, 상기감지신호및 상기기준신호에기초하여, 적외선신호를감지하기위한감지셀값을생성한다. 이에의하여, 감지셀의자기가열효과를정확하게상쇄시킬수 있으며, 전원잡음등 공통잡음에강인하고, 스키밍셀간의부정합을포함한검출회로에서생기는고정패턴잡음을제거시킬수 있다. 나아가, 아날로그및 디지털보정의복잡도를매우줄이는동시에효율성을향상시킬수 있고, 열전냉각기와셔터를제거할수 있다.
Abstract translation: MBA根据本发明,多个感测单元,所述多个臂maengsel的和感测信号与参考信号,并输出一个基准信号,而不响应于吸收该红外信号的感测输出信号的红外线信号的直流分量 以及用于基于感测信号和参考信号感测红外信号的感测单元值。 以这种方式,和sikilsu正好抵消所述感测单元的自加热效应,并sikilsu更强,并除去在所述检测电路包括飞掠细胞到公共噪声,如电源噪声之间的失配所产生的固定模式噪声。 此外,它可以大大降低模拟和数字校准的复杂性,提高效率,并消除热电冷却器和百叶窗。
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公开(公告)号:KR101563475B1
公开(公告)日:2015-10-26
申请号:KR1020130117912
申请日:2013-10-02
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명의적외선검출기는적외선을감지하여전류신호를출력하는마이크로볼로미터셀이 N개의열 및 M개의행 (N X M, 여기서 N 및 M은 2 이상의정수) 형태로배열된셀 어레이; 및상기전류신호를입력받아적분하는적분기를포함하는, 적분회로를포함하며, 상기 N개의열 중하나의열에포함된적어도 2개의마이크로볼로미터셀로부터상기전류신호가동시에읽기될수 있고, 상기동시에읽기되는상기전류신호는서로다른적분기를통해서읽기될수 있다.
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公开(公告)号:KR1020150101713A
公开(公告)日:2015-09-04
申请号:KR1020140023336
申请日:2014-02-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G01J1/02
CPC classification number: G01J5/10 , G01J5/024 , G01J5/20 , G01J2005/068
Abstract: 본 발명의 적외선 검출기는 적외선을 감지하여 전류 신호를 출력하는 마이크로 볼로미터 액티브 셀; 및 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀과 구조 및 전기적 특성이 동일한 웜 셀을 복수 개 연결 포함하여, 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀의 전기적 저항값 및 평균 자기 발열양과 동일한 전기적 저항값 및 평균 자기 발열양을 가지며, 상기 마이크로 볼로미터 액티브 셀에 대한 기준 전류 신호를 생성하는 기준 셀을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的红外检测器包括:用于检测红外线并输出电流信号的微测热计活性单元; 以及包括多个暖电池的参考电池,其彼此连接并且具有与微测热器活性单元相同的结构和电特性,具有与电阻值和平均自热值相同的电阻值和平均自热值, 微辐射热计活性单元,并且相对于微测热计活性单元产生参考电流。
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