Abstract:
본 발명은 고 성능 유기박막트랜지스터를 제조하기 위한 유기 증기상 젯 프링팅 장치와 이를 이용하여 유기박막트랜지스터를 제조하는 방법 및 이를 이용하여 제조된 고성능 유기박막트랜지스터로서, 유기박막트랜지스터의 제조방법에 있어서, (A) 각각의 저장 챔버내에 존재하는 증기상태의 유기반도체 물질 및 도판트 물질을 각각의 유입량을 조절하여 혼합 챔버로 유입시키는 단계 및 (B) 상기 혼합 챔버내의 증기상태의 유기반도체 물질, 도판트 물질 또는 이들의 혼합 물질을 상기 혼합 챔버의 노즐이 이동하며 도핑 농도를 조절하여 젯(jet)상태로 분사하는 단계를 포함하며, 상기 (A) 및 (B) 단계에 의해 유기반도체층과 소스 전극 사이 및 유기반도체층과 드레인 전극 사이에 국소 도핑된 유기반도체층인 주입층이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 증기상 젯 프린팅 장치를 이용하여 유기박막트랜지스터를 제조하는 방법과 이에 사용되는 유기 증기상 젯 프린팅 장치 및 이들을 통해 제작된 유기박막트랜지스터이며, 이와 같은 본 발명에 의하면, 소스 전극과 유기반도체층 사이와 드레인 전극과 유기반도체층 사이의 접합에서 접촉 저항 및 주입 에너지 장벽을 최소화시키고 구동 전압을 효과적으로 줄일 수 있으며 전력효율을 크게 향상시킨 유기박막트랜지스터를 제조할 수 있게 된다.
Abstract:
본 발명에 따른 유기 드라이 젯 프린팅 헤드 및 이를 이용한 프린팅 장치 및 방법은, 개폐 밸브 및 이를 제어하는 제어 유닛을 이용하여, 패턴을 형성하는 구간에서, 밸브를 규칙적으로 반복 개폐시키면서, 짧은 고속 젯의 반복 분사 방식으로 유기 박막을 구성하여 패턴을 형성할 수 있도록 구성됨으로써 상압 조건에서 패턴 인쇄 공정이 가능하고, 기판의 대면적화 및 고정세 패턴의 인쇄가 가능하여, 유기 전자 디바이스의 제조의 생산성 및 경제성을 높일 수 있는 효과가 있다. 밸브, 패턴, 증착, 프린팅, 캐리어, OLED, OPV, OTFT
Abstract:
PURPOSE: An organic vapor phase jet printing device for manufacturing a high performance organic thin film transistor, a manufacturing method of the high performance organic thin film transistor, and the high performance organic thin film transistor manufactured using the same are provided to greatly improve power efficiency while minimizing constant resistance and an injection energy barrier. CONSTITUTION: A first storage chamber(210) and a second storage chamber(230) store an organic semiconductor material and a dopant material. A mixing chamber(200) selectively stores an organic semiconductor material and a dopant material of a vapor phase. A nozzle(205) is included in the end of the mixing chamber to spray a stored organic material in a jet state. Passages(215,235) for carrying an organic material are formed between a first storage chamber and a second storage chamber and the mixing chamber. A plurality of on and off valves(300) individually controls the flow of carrier gas for carrying each organic material.
Abstract:
PURPOSE: An organic vapor-jet printing device is provided to simultaneously turn off a solenoid valve and stop the injection of an organic vapor jet. CONSTITUTION: An organic vapor-jet printing device(100) comprises a nozzle block(20), a solenoid valve(30), and a suction unit(40). A supply path(211), a storage path(212), and a discharge path(213) are formed inside the nozzle block. The nozzle block forms an organic vapor jet by receiving organic materials transferred by carrier gas. The solenoid valve comprises a nozzle body(32) and a controller(34). The nozzle body is inserted into the storage path and has a stopper unit(31). The controller opens and closes the discharge path by moving the nozzle body. The suction unit is installed in the nozzle body and inhales the organic materials remained in the discharge path.