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公开(公告)号：KR1020150046601A
公开(公告)日：2015-04-30
申请号：KR1020130126038
申请日：2013-10-22
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: C23C26/02
Abstract: 본발명은내부에미세유체채널이형성된기판부를가열하는단계, 미세유체채널로금속전구체용액을주입하는단계및 미세유체채널의내부면에금속박막을패터닝하는단계를포함하는금속박막패터닝방법을제공한다. 또한, 본발명은금속박막패터닝방법에의해제조된검출기판을이용한물질검출방법에있어서검출채널로생물화학대상물질을주입하는단계및 라만분광계를이용하여생물화학대상물질을검출하는단계를포함하는물질검출방법을제공한다.
Abstract translation: 本发明提供一种图案化金属薄膜的方法，包括：加热其中形成有微流体通道的基板单元的步骤; 将金属前体溶液注入微流体通道的步骤; 以及将薄金属膜图案化到微流体通道的内表面的步骤。 另外，本发明提供一种使用由该金属薄膜图案化方法制造的检测基板来检测材料的方法，其特征在于，包括：将生物化学靶材注入检测通道的步骤; 以及使用拉曼光谱仪检测生物化学靶材的步骤。
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公开(公告)号：KR101458074B1
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：KR1020130020717
申请日：2013-02-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
Abstract: 본 기재의 진공배기를 이용한 미세접촉 인쇄방법은, 임의의 인쇄 패턴이 형성된 인쇄부와 상기 인쇄부의 외곽을 따라 형성되며 상기 인쇄부보다 더 높게 돌출된 외곽부를 포함하는 가요성 스탬프를 준비하는 단계와, 상기 인쇄 패턴이 상기 기판과 대향하도록 상기 가요성 스탬프를 위치시키고, 상기 인쇄부는 상기 기판으로부터 이격되고 상기 외곽부는 상기 기판에 접촉하도록 안착시키는 단계와, 상기 가요성 스탬프의 일측으로부터 상기 인쇄부 내부의 공기를 배출시켜 상기 인쇄부를 상기 기판 상에 접촉시키는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020140066014A
公开(公告)日：2014-05-30
申请号：KR1020120133193
申请日：2012-11-22
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: Provided are a transparent electrode including a metal nanowire and a conductive polymer and a manufacturing method thereof. The transparent electrode includes a transparent substrate, a metal nanoline mesh which is located on the transparent substrate and includes metal nanolines, and a conductive polymer which covers the metal nanolines and touches the transparent substrate in a space between the metal nanolines.
Abstract translation: 提供一种包括金属纳米线和导电聚合物的透明电极及其制造方法。 透明电极包括透明基材，位于透明基材上并包含金属纳米线的金属纳米网，以及在金属纳米线之间的空间中覆盖金属纳米线并接触透明基板的导电聚合物。
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公开(公告)号：KR101101916B1
公开(公告)日：2012-01-02
申请号：KR1020100041004
申请日：2010-04-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유기막의 패턴 정밀도를 높일 수 있는 유기 증기젯 인쇄 장치를 제공한다. 유기 증기젯 인쇄 장치는 노즐 블록과, 솔레노이드 밸브, 및 흡입부를 포함한다. 노즐 블록은 내부에 공급 유로와 저장 유로 및 배출 유로를 형성하며, 케리어 가스에 의해 이송된 유기 물질을 공급받아 유기 증기젯을 형성한다. 솔레노이드 밸브는 공급 유로와 저장 유로에 삽입되며 배출 유로보다 큰 직경의 마개부를 구비하는 노즐 본체와, 전기 신호에 따라 노즐 본체를 이동시켜 배출 유로를 개폐시키는 제어부를 포함한다. 흡입부는 노즐 블록에 설치되며, 솔레노이드 밸브의 턴-오프와 동시에 작동하여 배출 유로에 남은 유기 물질을 흡입한다.
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公开(公告)号：KR1020140106318A
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：KR1020130020717
申请日：2013-02-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0274 , B41F15/34 , B41F15/40 , H01L21/56
Abstract: A microcontact printing method using vacuum exhausting of the present invention comprises a step for preparing a flexible stamp formed along a printing part where unselective printing pattern is formed and the edge of the printing part, including the peripheral part projected higher than the printing part; a step for placing the flexible stamp in order for the printing pattern to face a substrate and mounting the printing part to be separated from the substrate in order for the edge of the printing part to be in contact with the substrate; and a step for enabling the printing part to be in contact with on the surface of the substrate by discharging air inside the printing part from one side of the flexible stamp.
Abstract translation: 使用本发明的真空排气的微接触印刷方法包括制备沿着形成非选择性印刷图案的印刷部分形成的柔性印模的步骤，以及包括突出高于印刷部分的周边部分的印刷部分的边缘; 为了使印刷部件的边缘与基板接触，放置柔性印模以使印刷图案面对基板并安装要从基板分离的印刷部件的步骤; 以及通过从柔性印模的一侧排出印刷部件内的空气，使印刷部件能够与基板的表面接触的步骤。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101435367B1
公开(公告)日：2014-08-28
申请号：KR1020130007777
申请日：2013-01-24
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/60 , H01L23/488
Abstract: 본 발명은 용융 챔버에 기계적인 진동을 가하지 않고 전기장에 의해서 생성된 테일러 콘 형태의 액주에 교류 전압을 가해서 노즐 파이프 크기보다 작은 균일한 액적을 생성하되, 전압의 세기와 주파수를 이용해서 생성되는 액적의 크기를 조절하는 방식을 통해서 수율을 향상시키고 제조 공정을 단순화하여 저비용으로 연속적으로 생산하는 솔더볼의 제조방법 및 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020130007145A
公开(公告)日：2013-01-18
申请号：KR1020110063970
申请日：2011-06-29
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01G9/204 , B82Y30/00 , H01L51/4233 , Y02E10/542 , Y02E10/549 , Y02P70/521 , Y10T428/24074
Abstract: PURPOSE: A nano structure, a manufacturing method thereof, and a solar cell including the same are provided to improve a light absorption rate by forming the nano structure including a plurality of nano branches. CONSTITUTION: A plurality of nanowires(310) are separately formed on a substrate. A plurality of nano branches(320) surround the side of the nanowire. A plurality of sub nano branches(330) surround the side of the nano branch. The nano wire, the nano branch, the sub nano branch include zinc oxide. The nano wire is vertically formed on the surface of the substrate.
Abstract translation: 目的：提供纳米结构及其制造方法以及包含该纳米结构的太阳能电池，以通过形成包括多个纳米分支的纳米结构来提高光吸收率。 构成：在衬底上分别形成多个纳米线（310）。 多个纳米分支（320）围绕纳米线的一侧。 多个纳米分支（330）围绕纳米分支的一侧。 纳米线，纳米分支，亚纳米分支包括氧化锌。 纳米线垂直地形成在基板的表面上。
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公开(公告)号：KR1020110121416A
公开(公告)日：2011-11-07
申请号：KR1020100041004
申请日：2010-04-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: An organic vapor-jet printing device is provided to simultaneously turn off a solenoid valve and stop the injection of an organic vapor jet. CONSTITUTION: An organic vapor-jet printing device(100) comprises a nozzle block(20), a solenoid valve(30), and a suction unit(40). A supply path(211), a storage path(212), and a discharge path(213) are formed inside the nozzle block. The nozzle block forms an organic vapor jet by receiving organic materials transferred by carrier gas. The solenoid valve comprises a nozzle body(32) and a controller(34). The nozzle body is inserted into the storage path and has a stopper unit(31). The controller opens and closes the discharge path by moving the nozzle body. The suction unit is installed in the nozzle body and inhales the organic materials remained in the discharge path.
Abstract translation: 目的：提供一种有机蒸气喷射打印装置，以同时关闭电磁阀并停止注入有机蒸气喷射。 构成：有机喷气印刷装置（100）包括喷嘴块（20），电磁阀（30）和抽吸单元（40）。 在喷嘴块内部形成有供给路径211，存储路径212以及排出路213。 喷嘴块通过接收由载气转移的有机材料形成有机蒸汽射流。 电磁阀包括喷嘴体（32）和控制器（34）。 喷嘴体插入存储路径中并具有止动单元（31）。 控制器通过移动喷嘴体来打开和关闭排放路径。 抽吸单元安装在喷嘴体中并吸入留在排放路径中的有机材料。
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公开(公告)号：KR1020120124284A
公开(公告)日：2012-11-13
申请号：KR1020110042095
申请日：2011-05-03
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B82B3/0038 , B82B1/008 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of nano-structure is provided to manufacture the various shaped nano-structures by simple processes. CONSTITUTION: A manufacturing method of nano-structure comprises the following steps: coating a plurality of nano-particles(41) on nano-patterned frames(20) which have convex parts(21) and recesses(22); forming a nano-seed layer pattern by transcribing the nano-particles on a substrate(100); and forming a nano-structure by growing the nano-seed layer pattern on the substrate. The first step comprises the following steps: adhering the nano-particles on the convex parts and recess parts of the nano-patterns by locating the nano-patterns inside a seed vessel; washing the nano-pattern frame; and drying the nano-pattern frame.
Abstract translation: 目的：提供纳米结构的制造方法，通过简单的工艺制造各种成形的纳米结构。 构成：纳米结构的制造方法包括以下步骤：在具有凸部（21）和凹部（22）的纳米图案化框架（20）上涂覆多个纳米颗粒（41）; 通过将纳米颗粒转印到基底（100）上形成纳米种子层图案; 并通过在衬底上生长纳米种子层图案形成纳米结构。 第一步包括以下步骤：通过将纳米图案定位在种子容器内，将纳米颗粒粘附在纳米图案的凸部和凹部上; 洗涤纳米图案框架; 并干燥纳米图案框架。
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公开(公告)号：KR1020120086599A
公开(公告)日：2012-08-03
申请号：KR1020110007934
申请日：2011-01-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0275 , G03F1/60
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a microsphere array substrate, a nano processing system, and a method thereof are provided to reduce process time by reducing several steps of processes since a liquid nano-particle layer is used. CONSTITUTION: An optical modulation device(200) includes a supporting plate(210) and a micro mirror(220) which modulates light radiated from a light source(100). A microsphere array substrate(300) includes a microsphere imaging the light reflected from the optical modulation device. A target substrate(400) is located to be parallelly spaced from the microsphere array substrate. A substrate position regulator(500) is attached to the microsphere array substrate and the target substrate. The substrate position regulator includes a first substrate position regulator(510) and a second substrate position regulator(520).
Abstract translation: 目的：提供一种微球阵列基板的制造方法，纳米加工系统及其制造方法，通过使用液态纳米粒子层，通过减少多个工序来缩短加工时间。 构成：光调制装置（200）包括调制从光源（100）辐射的光的支撑板（210）和微镜（220）。 微球阵列基板（300）包括对从光调制装置反射的光进行成像的微球。 目标基板（400）被定位成与微球阵列基板平行间隔开。 衬底位置调节器（500）附着到微球阵列衬底和目标衬底上。 衬底位置调节器包括第一衬底位置调节器（510）和第二衬底位置调节器（520）。
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