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公开(公告)号：KR1020100130016A
公开(公告)日：2010-12-10
申请号：KR1020090048662
申请日：2009-06-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81C1/00333 , B81C2203/0145
Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of 3-dimensional structures using thin film with columnar nano pores and a corresponding product are provided to enable a process of forming a nano size of mold to be removed since the thin film with columnar nano pores is used as a mold for forming a nano wire or a nano structure. CONSTITUTION: A manufacturing method of 3-dimensional structures using thin film with columnar nano pores is as follows. A sacrificial layer is formed on a substrate, on which elements are formed, to cover them. The thin film(140) with columnar nano pores is formed by depositing one of a metal, an oxide, a nitride and fluorine on the sacrificial layer using a physical vapor deposition and a chemical vapor deposition. A support layer(50) is formed on the thin film and is patterned so that a part of the thin film is exposed. A cavity is formed in the thin film and the support layer by removing the sacrificial layer through the nano pores on the exposed thin film. A shielding layer(170) is formed on the thin film and the support layer.
Abstract translation: 目的：提供使用具有柱状纳米孔的薄膜和相应的产品的三维结构的制造方法，以使得能够形成纳米尺寸的模具被去除的过程，因为具有柱状纳米孔的薄膜用作模具 用于形成纳米线或纳米结构。 构成：使用具有柱状纳米孔的薄膜的三维结构的制造方法如下。 牺牲层形成在其上形成有元件的基板上以覆盖它们。 具有柱状纳米孔的薄膜（140）通过使用物理气相沉积和化学气相沉积在牺牲层上沉积金属，氧化物，氮化物和氟中的一种而形成。 支撑层（50）形成在薄膜上并被图案化以使得薄膜的一部分被暴露。 通过在暴露的薄膜上的纳米孔去除牺牲层，在薄膜和支撑层中形成空腔。 在薄膜和支撑层上形成屏蔽层（170）。
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公开(公告)号：KR101626964B1
公开(公告)日：2016-06-02
申请号：KR1020140162356
申请日：2014-11-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/02 , H01L41/047 , H01L41/22
Abstract: 실시형태에따른날숨을이용하는에너지수확소자는, 기판; 상기기판상 일부분에배치된하부전극; 상기기판과상기하부전극상에배치된절연층; 상기절연층상에배치되고, 상기하부전극상에위치하지않는상부전극; 및상기상부전극상 및상기하부전극상에배치된댐;을포함하고, 상기하부전극은일부가노출된다.
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公开(公告)号：KR1020160060302A
公开(公告)日：2016-05-30
申请号：KR1020140162356
申请日：2014-11-20
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L41/02 , H01L41/047 , H01L41/22
CPC classification number: H01L41/02 , H01L41/047 , H01L41/22
Abstract: 실시형태에따른날숨을이용하는에너지수확소자는, 기판; 상기기판상 일부분에배치된하부전극; 상기기판과상기하부전극상에배치된절연층; 및상기절연층상에배치되고, 상기하부전극상에위치하지않는상부전극; 을포함하고, 상기하부전극은일부가노출된다.
Abstract translation: 本发明提供了一种使用呼气的能量收集装置及其制造方法，其能够从非常弱的呼吸中获取能量。 根据本发明的一个实施例，使用呼出气体的能量收集装置包括：基底; 设置在所述基板的一部分上的下电极; 绝缘层，设置在所述基板上和所述下电极上; 以及设置在所述绝缘层上但未设置在所述下电极上的上电极，其中所述下电极的一部分露出。
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公开(公告)号：KR1020140001398A
公开(公告)日：2014-01-07
申请号：KR1020120068856
申请日：2012-06-27
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01G5/16
Abstract: The present invention relates to a micro electro mechanical system (MEMS) variable capacitor includes a first electrode; a second electrode separated from the first electrode; a third electrode floating on the upper part of the first electrode; a forth electrode facing the second electrode; a connection unit connecting the third electrode and the forth electrode; and an actuator including a support unit supporting a part of the connection unit. The third electrode and the connection unit are formed in one unit. A voltage is applied to the second electrode, and a gap between the first electrode and the third electrode is controlled so that the capacitor can be varied.
Abstract translation: 本发明涉及一种微机电系统（MEMS）可变电容器，其包括第一电极; 与所述第一电极分离的第二电极; 漂浮在所述第一电极的上部的第三电极; 面向所述第二电极的第四电极; 连接第三电极和第四电极的连接单元; 以及致动器，其包括支撑所述连接单元的一部分的支撑单元。 第三电极和连接单元形成在一个单元中。 对第二电极施加电压，并且控制第一电极和第三电极之间的间隙，使得可以改变电容器。
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公开(公告)号：KR101298114B1
公开(公告)日：2013-08-20
申请号：KR1020090048662
申请日：2009-06-02
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B81B7/02
CPC classification number: B81C1/00333 , B81C2203/0145
Abstract: 본 발명은 MEMS 또는 MEMS 소자의 패키지 및 패키징 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 원주상 구조체 및 상기 원주상 구조체 사이에 형성된 나노 기공을 포함하는 박막을 이용한 MEMS 또는 MEMS 소자 및 이를 패키징하는 방법에 관한 것이다.
본 발명에 따른 MEMS 또는 MEMS 소자의 패키징 방법은 소자가 형성된 기판상에 소자가 덮이도록 희생층을 형성하는 단계, 희생층상에 원주상 구조체 및 상기 원주상 구조체 사이에 형성된 나노 기공을 포함하는 박막을 형성하는 단계, 박막상에 지지층을 형성하고, 박막의 일부분이 드러나도록 지지층을 패터닝하는 단계, 일부분이 드러난 박막에 형성된 나노 기공을 통해 희생층을 제거하여 박막 및 지지층 내부에 공동을 형성하는 단계, 및 박막과 지지층상에 차폐층을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 MEMS 또는 MEMS 소자의 패키징 방법에 따르면, 희생층 제거를 위한 별도의 에칭 홀 생성 과정 없이, 박막 증착 시 생성되는 원주상 구조체 사이의 나노 기공을 이용함으로써 MEMS 또는 MEMS 소자의 패키징 과정 시 희생층 제거시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 희생층 제거 과정에서 발생하는 MEMS 또는 MEMS 소자의 물리적 및 화학적 손상을 최소화 시킬 수 있다.
패키징, 물리적 기상 증착법, 나노 기공, 나노 와이어, 소수성-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101104603B1
公开(公告)日：2012-01-12
申请号：KR1020100050592
申请日：2010-05-28
Applicant: 엘지이노텍 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: H01G5/16
CPC classification number: H01G5/16
Abstract: 본 발명은 멤즈 가변 캐패시터 및 그의 구동 방법에 관한 것이다.
즉, 본 발명의 멤즈 가변 캐패시터는 제 1 전극과; 상기 제 1 전극 상부로 부상(浮上)되어 있는 제 2 전극과; 상기 제 2 전극 측면에 이격되어 있는 고정 전극과; 상기 제 2 전극과 상기 고정 전극 사이에 위치되어 있고, 상기 제 2 전극에 연결되어 있으며, 상기 고정 전극에 인가된 전압에 의해 상기 고정 전극과 물리적으로 접촉되는 유동 전극을 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020110132120A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：KR1020100051958
申请日：2010-06-01
Applicant: 엘지이노텍 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: H01G5/16
Abstract: PURPOSE: An MEMS variable capacitor is provided to control capacitance by applying a radio frequency signal from a first electrode to a third electrode and transferring the radio frequency signal from the third electrode to a second electrode. CONSTITUTION: A second electrode(102) is floated at the upper part of a first electrode(101). A radio frequency signal is applied to the second electrode from the first electrode. A third electrode(103) controls an interval between the second electrode and the first electrode and varies a capacitance value. A fourth electrode is connected to the third electrode in a spring structure. A supporting structure fixes the partial area of the spring structure.
Abstract translation: 目的：提供一种MEMS可变电容器，通过施加从第一电极到第三电极的射频信号并将射频信号从第三电极传送到第二电极来控制电容。 构成：第二电极（102）浮在第一电极（101）的上部。 从第一电极向第二电极施加射频信号。 第三电极（103）控制第二电极和第一电极之间的间隔，并且改变电容值。 第四电极以弹簧结构连接到第三电极。 支撑结构固定弹簧结构的局部区域。
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公开(公告)号：KR1020110130999A
公开(公告)日：2011-12-06
申请号：KR1020100050592
申请日：2010-05-28
Applicant: 엘지이노텍 주식회사 , 한국과학기술원
IPC: H01G5/16
CPC classification number: H01G5/16
Abstract: PURPOSE: A micro electro mechanical system variable capacitor and a driving method thereof are provided to offer various capacitance values and to prevent the self actuation of a variable capacitor by the power of a high radio frequency signal. CONSTITUTION: An MEMS(Micro Electro Mechanical System) variable capacitor comprises a first electrode(101), a fixed electrode(201), a second electrode(102), and a flowing electrode(111). The second electrode is floated on the upper side of the first electrode. The fixed electrode is separated in the side of the second electrode. The flowing electrode is located between the second electrode and the fixed electrode and is connected to the second electrode. The flowing electrode is physically touched with the fixed electrode by voltage which is applied in the fixed electrode. A first insulating film is formed on the first electrode in order to prevent electric short with the second electrode. A second insulating film is formed on the fixed electrode in order to prevent electric short with the flowing electrode.
Abstract translation: 目的：提供微机电系统可变电容器及其驱动方法，以提供各种电容值，并且通过高射频信号的功率来防止可变电容器的自动致动。 构成：MEMS（微机电系统）可变电容器包括第一电极（101），固定电极（201），第二电极（102）和流动电极（111）。 第二电极浮在第一电极的上侧。 固定电极在第二电极侧分离。 流动电极位于第二电极和固定电极之间，并连接到第二电极。 流动的电极通过施加在固定电极中的电压与固定电极物理接触。 为了防止与第二电极的电短路，在第一电极上形成第一绝缘膜。 为了防止电流短路，在固定电极上形成第二绝缘膜。
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公开(公告)号：KR1020110066395A
公开(公告)日：2011-06-17
申请号：KR1020090123031
申请日：2009-12-11
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A variable capacitor and variable inductor are provided to efficiently couple a variable element of a continuously variable range with a variable element of a discontinuously variable range, thereby expanding a continuously variable range. CONSTITUTION: A variable capacitor consecutively varies capacitance using a MEMS(Micro Electro Mechanical System) electrostatic driving method. A unit capacitor is made of an MIM(Metal-Insulator-Metal) capacitor. The MIM capacitor comprises a first metal layer formed on an insulating substrate, an insulating layer formed on the first metal layer, and a second metal layer formed on the insulating layer.
Abstract translation: 目的：提供可变电容器和可变电感器，以将连续可变范围的可变元件与不连续变化范围的可变元件进行有效耦合，从而扩展连续可变范围。 构成：可变电容器使用MEMS（微机电系统）静电驱动方法连续改变电容。 单位电容器由MIM（金属 - 绝缘体 - 金属）电容器制成。 MIM电容器包括形成在绝缘基板上的第一金属层，形成在第一金属层上的绝缘层和形成在绝缘层上的第二金属层。
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公开(公告)号：KR1020160047290A
公开(公告)日：2016-05-02
申请号：KR1020140143544
申请日：2014-10-22
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 나노와이어압전소자의제조방법에있어서, 오목부가형성된나노와이어어레이템플릿상에자외선경화수지를주입하여상기오목부에대응하는볼록부를갖는폴리머기판을생성하는폴리머기판생성단계; 상기폴리머기판을상기나노와이어어레이템플릿으로부터분리하는분리단계; 상기폴리머기판상에압전물질을증착하는증착단계; 및상기압전물질상에전극을생성하고, 상기전극을패터닝하는패터닝단계; 를포함한다.
Abstract translation: 公开了纳米线阵列压电元件的制造方法，其与电极接触时防止能量损失。 纳米线阵列压电元件的制造方法包括：通过在具有凹部的纳米线阵列模板上注入紫外线固化树脂来生成具有与纳米线阵列模板的凹部对应的凸部的聚合物基板的聚合物基板的生成工序; 从所述纳米线阵列模板分离所述聚合物基材的分离步骤; 沉积步骤，在所述聚合物基材上沉积压电物质; 以及在压电体上产生电极并图案化电极的图形化步骤。
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