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公开(公告)号：KR1020110000103A
公开(公告)日：2011-01-03
申请号：KR1020090057474
申请日：2009-06-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L27/02
Abstract: PURPOSE: A variable passive unit and a method for manufacturing the same are provided to improve the flexibility of circuit design and circuit optimization by matching a capacitive load and an inductive load. CONSTITUTION: Bottom electrode parts(110a, 110b) are formed on an insulating substrate(100). A metal layer(120) and the bottom electrode parts form a capacitor. A spiral inductor(130) is oppositely spaced apart from the metal layer. A driving part(140a) moves the metal layer to the vertical direction of the insulating substrate according to the change of temperature. A supporting part(131) supports the spiral inductor from the insulating substrate.
Abstract translation: 目的：提供可变无源单元及其制造方法，以通过匹配容性负载和电感负载来提高电路设计和电路优化的灵活性。 构成：底部电极部分（110a，110b）形成在绝缘基板（100）上。 金属层（120）和底部电极部分形成电容器。 螺旋电感器（130）与金属层相对地间隔开。 驱动部件（140a）根据温度变化使金属层向绝缘基板的垂直方向移动。 支撑部件（131）支撑来自绝缘基板的螺旋电感器。
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公开(公告)号：KR1020150124889A
公开(公告)日：2015-11-06
申请号：KR1020150051789
申请日：2015-04-13
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 다중차로검출및 차로변경감지기반의차로인식방법은주행중인자동차에미리설치된비전센서로부터전방이미지를획득하는단계; 상기획득된전방이미지를기초로상기주행중인자동차의차로를추정하기위하여, 다중차로검출(multi-lane detection) 기법을적용하는단계; 상기적용결과, 추정된차로에기초하여스코어히스토그램을업데이트하는단계; 및상기업데이트된스코어히스토그램에기초하여상기주행중인자동차의차로를결정하는단계를포함한다.
Abstract translation: 使用多车道检测和车道变换检测的车道识别方法包括以下步骤：从预先安装在被驱动的车辆中的视觉传感器获取前方图像; 应用多车道检测方法，以便基于所获取的前方图像估计正在被驱动的车辆的车道; 作为应用的结果，基于估计的车道更新分数直方图; 以及基于更新的分数直方图确定正在被驱动的车辆的车道。
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公开(公告)号：KR1020110066395A
公开(公告)日：2011-06-17
申请号：KR1020090123031
申请日：2009-12-11
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A variable capacitor and variable inductor are provided to efficiently couple a variable element of a continuously variable range with a variable element of a discontinuously variable range, thereby expanding a continuously variable range. CONSTITUTION: A variable capacitor consecutively varies capacitance using a MEMS(Micro Electro Mechanical System) electrostatic driving method. A unit capacitor is made of an MIM(Metal-Insulator-Metal) capacitor. The MIM capacitor comprises a first metal layer formed on an insulating substrate, an insulating layer formed on the first metal layer, and a second metal layer formed on the insulating layer.
Abstract translation: 目的：提供可变电容器和可变电感器，以将连续可变范围的可变元件与不连续变化范围的可变元件进行有效耦合，从而扩展连续可变范围。 构成：可变电容器使用MEMS（微机电系统）静电驱动方法连续改变电容。 单位电容器由MIM（金属 - 绝缘体 - 金属）电容器制成。 MIM电容器包括形成在绝缘基板上的第一金属层，形成在第一金属层上的绝缘层和形成在绝缘层上的第二金属层。
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公开(公告)号：KR101029240B1
公开(公告)日：2011-04-18
申请号：KR1020110009427
申请日：2011-01-31
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L27/02
Abstract: 본 발명은 가변 수동 소자에 관한 것이다.
본 발명에 따른 가변 수동 소자는 절연기판, 절연기판상에 형성된 바닥전극부, 바닥전극부상에서 바닥전극부와 대향 이격되도록 형성되고, 바닥전극부와 함께 커패시터를 구성하는 금속층, 금속층상에서 금속층과 대향 이격되도록 형성된 나선형 인덕터 및, 절연기판 및 금속층 사이에 형성되어 금속층이 바닥전극부 및 나선형 인덕터와 이격되도록 지지하고, 온도 변화에 따라 금속층을 절연기판에 대하여 수직방향으로 위치 이동시키는 열 구동부를 포함하며, 금속층이 위치 이동함에 따라 인덕턴스 및 커패시턴스가 동시에 가변된다.
본 발명에 따르면, 단일 소자로서 인덕턴스와 커패시턴스를 동시에 변화시킬 수 있기 때문에 가변 인덕터와 가변 커패시터를 각각 따로 제작하는 방법에 비해 소요면적을 최소화 할 수 있으므로 제작비용을 절감할 수 있다. 또한, 가변 커패시터와 가변 인덕터가 하나의 구동 회로로서 동작하기 때문에 구동 회로를 집적화할 수 있다.-
公开(公告)号：KR101029239B1
公开(公告)日：2011-04-18
申请号：KR1020090057474
申请日：2009-06-26
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L27/02
Abstract: 본 발명은 가변 수동 소자에 관한 것이다.
본 발명에 따른 가변 수동 소자는 절연기판, 절연기판상에 형성된 바닥전극부, 바닥전극부상에서 바닥전극부와 대향 이격되도록 형성되고, 바닥전극부와 함께 커패시터를 구성하는 금속층, 금속층상에서 금속층과 대향 이격되도록 형성된 나선형 인덕터 및, 절연기판 및 금속층 사이에 형성되어 금속층이 바닥전극부 및 나선형 인덕터와 이격되도록 지지하고, 온도 변화에 따라 금속층을 절연기판에 대하여 수직방향으로 위치 이동시키는 열 구동부를 포함하며, 금속층이 위치 이동함에 따라 인덕턴스 및 커패시턴스가 동시에 가변되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 단일 소자로서 인덕턴스와 커패시턴스를 동시에 변화시킬 수 있기 때문에 가변 인덕터와 가변 커패시터를 각각 따로 제작하는 방법에 비해 소요면적을 최소화 할 수 있으므로 제작비용을 절감할 수 있다. 또한, 가변 커패시터와 가변 인덕터가 하나의 구동 회로로서 동작하기 때문에 구동 회로를 집적화 할 수 있다.
MEMS, 가변 수동 소자,가변 인덕터, 가변 커패시터-
Patent Agency Ranking6.发明公开폴리머 패턴 형성방법 및 이를 이용한 금속 박막 패턴,금속 패턴, 플라스틱 몰드 구조 및 이들의 형성방법 有权形成聚合物图案和金属膜图案的方法，金属图案，使用其的塑料模具结构及其形成方法
公开(公告)号：KR1020060100340A
公开(公告)日：2006-09-20
申请号：KR1020060082969
申请日：2006-08-30
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/027 , G03F7/00
CPC classification number: H01L21/0272 , B81B2203/0118 , B81B2203/019 , B81B2203/04 , B81C1/0015 , B81C1/00166 , G02B3/0012 , G02B3/0056 , G03F7/0005 , G03F7/201 , G03F7/2014 , H01L21/0274 , H01L21/76885 , H01L23/5222 , H01L2924/0002 , Y10T428/24479 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 종래 리소그래피 공정에 따른 수단 및 방법을 달리하여 다양한 형상을 갖는 폴리머 패턴, 이를 이용한 금속 박막 패턴, 금속 패턴 및 플라스틱 몰드구조 및 그 형성방법 등에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 폴리머 패턴 형성방법은 기판 위에 폴리머 패턴을 형성하는 방법에 있어서, (a) 상기 기판 위에 감광성 폴리머를 도포하여 폴리머 막을 형성하는 단계와, (b) 상기 폴리머 막 상에 포토마스크를 배치하는 단계 및 (c) 상기 포토마스크를 통하여 임의의 방향으로 진행하는 광을 상기 폴리머 막에 조사하여, 상기 폴리머 패턴의 표면으로부터 상기 기판과 수직방향으로 오목한 패턴을 형성하고 상기 기판과 수평방향으로 연장되도록 하나 이상의 패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 오목한 패턴의 수직 단면은 하나 이상의 곡면을 갖는 원 또는 타원의 형상이고, 상기 원 또는 타원의 중심 위쪽의 상부가 일직선상으로 절단되어 있다.
둥근 단면, 커브드(curved), 폴리머 패턴, 금속 박막 패턴, 금속 패턴, 플라스틱 몰드, 디퓨저, 칸틸레버 빔(cantilever beam), 마이크로렌즈(microlens), 마이크로 플루이틱 채널(micro fluidic channel)-
公开(公告)号：KR101653491B1
公开(公告)日：2016-09-12
申请号：KR1020150051789
申请日：2015-04-13
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 다중차로검출및 차로변경감지기반의차로인식방법은주행중인자동차에미리설치된비전센서로부터전방이미지를획득하는단계; 상기획득된전방이미지를기초로상기주행중인자동차의차로를추정하기위하여, 다중차로검출(multi-lane detection) 기법을적용하는단계; 상기적용결과, 추정된차로에기초하여스코어히스토그램을업데이트하는단계; 및상기업데이트된스코어히스토그램에기초하여상기주행중인자동차의차로를결정하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR100977685B1
公开(公告)日：2010-08-24
申请号：KR1020080014682
申请日：2008-02-19
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01F21/00
Abstract: 본 발명은 마이크로 전자기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEMS)을 이용한 가변 인덕터 및 이를 이용한 응용 소자 등에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 마이크로 전자기계 시스템을 이용한 가변 인덕터, 가변 수동소자, 가변 변압기 및 응력측정장치 등에 관한 것이다.
본 발명에 따른 마이크로 전자기계 시스템을 이용한 가변 인덕터는 절연기판 및 절연기판상에 형성되고, 이격거리가 변화되도록 위치 이동되는 평행한 유동도선이 반복적으로 형성된 유동도선부를 포함한다.
본 발명에 따른 마이크로 전자기계 시스템을 이용한 가변 인덕터는 서로 인접한 유동도선들이 평면적인 미앤더 형태에서 입체적인 솔레노이드 형태 사이에서 자유롭게 변형됨으로서, 인덕턴스의 변화률을 증가시킬 수 있다.
마이크로 전자기계 시스템(Micro Electro Mechanical System: MEMS), 가변 인덕터(Variable Inductor), 가변 변압기(Variable Transformer), 응력 센서-
公开(公告)号：KR1020090089494A
公开(公告)日：2009-08-24
申请号：KR1020080014682
申请日：2008-02-19
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01F21/00
Abstract: A variable inductor and an application device using the same are provided to increase a change rate of the inductance by freely changing adjacent movable wires. A variable inductor includes an insulating substrate(100) and a movable conductor(110). The movable conductor is formed on the insulating substrate. A driving current is applied to both sides of the movable conductor. The movable conductor includes a first movable conductor(113), a second movable conductor(115), and a connection conductor(117). The first movable conductor and the second movable conductor are arranged in parallel. The first movable conductor and the second movable conductor include bimetal with different thermal expansion coefficient. The connection conductor electrically connects the first movable conductor and the second movable conductor.
Abstract translation: 提供可变电感器和使用其的施加装置，以通过自由地改变相邻的可动导线来增加电感的变化率。 可变电感器包括绝缘基板（100）和可动导体（110）。 可动导体形成在绝缘基板上。 驱动电流施加到可动导体的两侧。 可动导体包括第一可动导体（113），第二可动导体（115）和连接导体（117）。 第一可动导体和第二可动导体平行配置。 第一可动导体和第二可动导体包括具有不同热膨胀系数的双金属。 连接导体将第一可动导体与第二可动导体电连接。
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公开(公告)号：KR1020080093766A
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：KR1020070037957
申请日：2007-04-18
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B81B7/02 , B81B3/0018 , B81B7/008 , H01H2001/0052
Abstract: A MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) actuator and an application device using the same are provided to reduce resistance compositions due to the arrangement of electric wiring by driving third conductive layers using electric field distribution. A MEMS actuator comprises insulation substrates(210), first conductive layers(220) formed on the insulation substrates, second conductive layers(230) separated from the first conductive layers, third conductive layers(240), and power units(260). The third conductive layers are separated from the first and second conductive layers. The power units apply a voltage to the first and second conductive layers. The first and second conductive layers have different areas.
Abstract translation: 提供了一种MEMS（微电子机械系统）致动器及其应用装置，以通过使用电场分布驱动第三导电层来减少由于布线而导致的电阻成分。 MEMS致动器包括绝缘基板（210），形成在绝缘基板上的第一导电层（220），与第一导电层分离的第二导电层（230），第三导电层（240）和功率单元（260）。 第三导电层与第一和第二导电层分离。 功率单元向第一和第二导电层施加电压。 第一和第二导电层具有不同的区域。
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