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公开(公告)号：KR100915440B1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：KR1020070125948
申请日：2007-12-06
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L21/203
Abstract: 챔버 안에서 기판 상에 타겟 물질을 스퍼터링 증착법으로 박막 코팅하는 스퍼터링 증착 장치에 있어서, 상기 챔버 안의 산소 가스의 분압을 측정하는 잔류가스 분석기; 및 상기 잔류가스 분석기에서 측정한 상기 산소 가스의 분압이 미리 설정된 범위안에 있도록 상기 챔버 안에 주입되는 상기 산소 가스의 양을 조절하는 가스 주입 제어기를 포함하는 스퍼터링 증착 장치가 제시된다. 본 발명에 따른 자성 반도체 제조 방법 및 그 장치는 스퍼터링 증착 방법으로 제작되는 다결정 자성 반도체 제조공정에서 잔류가스 분석기를 통해 자성 반도체 내의 산소 결손량을 정밀조절하여 후열처리나 추가 도펀트(Dopant)의 주입없이 전하농도를 제어할 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR1020090059218A
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：KR1020070125948
申请日：2007-12-06
Applicant: 한양대학교 산학협력단
IPC: H01L21/203
CPC classification number: C23C14/0042 , C23C14/086 , H01L29/66984
Abstract: A method and an apparatus for manufacturing a magnetic semiconductor are provided to control carrier concentration without injecting a dopant additionally or post-heating by controlling oxygen deficiency quantity in the magnetic semiconductor through a residual gas analyzer. A sputtering device is comprised to thinly coat a target material on a substrate inside a chamber(115) through a sputtering deposition method. A sputtering deposition device includes a residual gas analyzer(170) and a gas injection controller(180). The residual gas analyzer measures the partial pressure of the oxygen gas in the chamber. The gas injection controller controls an amount of the oxygen gas injected in the chamber to range the partial pressure of the oxygen gas within the predetermined value.
Abstract translation: 提供一种用于制造磁性半导体的方法和装置，以通过残留气体分析器控制磁性半导体中的氧缺乏量来控制载流子浓度，而不通过另外或后加热来注入掺杂剂。 溅射装置包括通过溅射沉积方法在室（115）内部的基板上薄涂目标材料。 溅射沉积装置包括残留气体分析器（170）和气体注入控制器（180）。 残留气体分析仪测量室内氧气的分压。 气体注入控制器控制在室中注入的氧气的量以使氧气的分压在预定值内。
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公开(公告)号：KR101138649B1
公开(公告)日：2012-04-24
申请号：KR1020090104038
申请日：2009-10-30
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: A hybrid type driving apparatus with multiple degrees of freedom is provided to improve the accuracy of operation by accurately controlling the rotating or tilting angle of a rotating-tilting shaft core according to electric current. CONSTITUTION: A hybrid type driving apparatus with multiple degrees of freedom comprises a rotating-tilting shaft core(110), a rotating drive unit(130), and a tilting drive unit(150). The rotating-tilting shaft core is rotated or tilted in a housing. The rotating drive unit and the tilting drive unit are installed in the housing to respectively rotate and tilt the rotating-tilting shaft core using electromagnetic interaction.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110047417A
公开(公告)日：2011-05-09
申请号：KR1020090104038
申请日：2009-10-30
Applicant: 한양대학교 산학협력단
Abstract: PURPOSE: A hybrid type driving apparatus with multiple degrees of freedom is provided to improve the accuracy of operation by accurately controlling the rotating or tilting angle of a rotating-tilting shaft core according to electric current. CONSTITUTION: A hybrid type driving apparatus with multiple degrees of freedom comprises a rotating-tilting shaft core(110), a rotating drive unit(130), and a tilting drive unit(150). The rotating-tilting shaft core is rotated or tilted in a housing. The rotating drive unit and the tilting drive unit are installed in the housing to respectively rotate and tilt the rotating-tilting shaft core using electromagnetic interaction.
Abstract translation: 目的：提供具有多个自由度的混合动力驱动装置，通过根据电流精确地控制旋转轴芯的旋转或倾斜角度来提高操作的精度。 构成：具有多个自由度的混合动力驱动装置包括旋转倾斜轴芯（110），旋转驱动单元（130）和倾斜驱动单元（150）。 旋转轴芯在壳体中旋转或倾斜。 旋转驱动单元和倾斜驱动单元安装在壳体中以分别使用电磁相互作用来旋转和倾斜旋转倾斜轴芯。
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公开(公告)号：KR102256827B1
公开(公告)日：2021-05-26
申请号：KR1020190146427
申请日：2019-11-15
Applicant: 한국교통대학교산학협력단
Abstract: 본발명은본 발명은폴피스비틀림강성확보를위한링이적용된이중회전자구조동기전동기에관한것으로, 보다상세하게는영구자석을포함하는고속회전자인내측회전부; 및저속회전자이며원주방향을따라서로특정간격이격되어배치되고, 축길이방향으로분할된복수의폴피스로구성된외측회전부;를포함하고, 상기폴피스에는축 길이방향으로관통되는관통홀이형성되고, 상기축 길이방향으로분할된폴피스사이에구비되며상기관통홀과대응되는위치에체결홀이형성된비틀림강성확보용링; 및상기관통홀과상기비틀림강성확보용링의체결홀에삽입되어상기폴피스를축 길이방향에대해고정시키는막대구조물;을포함하는것을특징으로하는폴피스비틀림강성확보를위한링이적용된이중회전자구조동기전동기에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020210059235A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：KR1020190146427
申请日：2019-11-15
Applicant: 한국교통대학교산학협력단
Abstract: 본발명은본 발명은폴피스비틀림강성확보를위한링이적용된이중회전자구조동기전동기에관한것으로, 보다상세하게는영구자석을포함하는고속회전자인내측회전부; 및저속회전자이며원주방향을따라서로특정간격이격되어배치되고, 축길이방향으로분할된복수의폴피스로구성된외측회전부;를포함하고, 상기폴피스에는축 길이방향으로관통되는관통홀이형성되고, 상기축 길이방향으로분할된폴피스사이에구비되며상기관통홀과대응되는위치에체결홀이형성된비틀림강성확보용링; 및상기관통홀과상기비틀림강성확보용링의체결홀에삽입되어상기폴피스를축 길이방향에대해고정시키는막대구조물;을포함하는것을특징으로하는폴피스비틀림강성확보를위한링이적용된이중회전자구조동기전동기에관한것이다.
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公开(公告)号：KR102081519B1
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：KR1020180143685
申请日：2018-11-20
Applicant: 한국교통대학교산학협력단
IPC: H02K1/12 , H02K41/025 , H02K17/02
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