Abstract:
본 발명의 일 실시예에 따른 영구자석 동기 전동기의 인덕턴스 추정방법은, 영구자석 동기 전동기의 인덕턴스를 추정하는 방법에 있어서, 상기 동기 전동기의 3상 전압 방정식으로부터 선간 전압을 계산하는 단계; 상기 선간 전압으로부터 각 선간 전압에 대한 무부하 역기전력을 구하는 단계; 각각의 3상 전압 또는 전류에 대해서 상기 무부하 역기전력의 비를 구하는 단계; 및 d축-q축 인덕턴스를 추정하는 단계;를 포함할 수 있다. 상기와 같이 구성함으로써, 회전자에 의해 쇄교되는 자속 성분과 무관하게 d, q축 인덕턴스를 추정하기 때문에 보다 정확한 인덕턴스를 추정할 수 있다.
Abstract:
챔버 안에서 기판 상에 타겟 물질을 스퍼터링 증착법으로 박막 코팅하는 스퍼터링 증착 장치에 있어서, 상기 챔버 안의 산소 가스의 분압을 측정하는 잔류가스 분석기; 및 상기 잔류가스 분석기에서 측정한 상기 산소 가스의 분압이 미리 설정된 범위안에 있도록 상기 챔버 안에 주입되는 상기 산소 가스의 양을 조절하는 가스 주입 제어기를 포함하는 스퍼터링 증착 장치가 제시된다. 본 발명에 따른 자성 반도체 제조 방법 및 그 장치는 스퍼터링 증착 방법으로 제작되는 다결정 자성 반도체 제조공정에서 잔류가스 분석기를 통해 자성 반도체 내의 산소 결손량을 정밀조절하여 후열처리나 추가 도펀트(Dopant)의 주입없이 전하농도를 제어할 수 있는 효과가 있다.
Abstract:
A method and an apparatus for manufacturing a magnetic semiconductor are provided to control carrier concentration without injecting a dopant additionally or post-heating by controlling oxygen deficiency quantity in the magnetic semiconductor through a residual gas analyzer. A sputtering device is comprised to thinly coat a target material on a substrate inside a chamber(115) through a sputtering deposition method. A sputtering deposition device includes a residual gas analyzer(170) and a gas injection controller(180). The residual gas analyzer measures the partial pressure of the oxygen gas in the chamber. The gas injection controller controls an amount of the oxygen gas injected in the chamber to range the partial pressure of the oxygen gas within the predetermined value.
Abstract:
PURPOSE: A hybrid type driving apparatus with multiple degrees of freedom is provided to improve the accuracy of operation by accurately controlling the rotating or tilting angle of a rotating-tilting shaft core according to electric current. CONSTITUTION: A hybrid type driving apparatus with multiple degrees of freedom comprises a rotating-tilting shaft core(110), a rotating drive unit(130), and a tilting drive unit(150). The rotating-tilting shaft core is rotated or tilted in a housing. The rotating drive unit and the tilting drive unit are installed in the housing to respectively rotate and tilt the rotating-tilting shaft core using electromagnetic interaction.
Abstract:
본발명의일 실시예에따른영구자석동기전동기의인덕턴스추정방법은, 영구자석동기전동기의인덕턴스를추정하는방법에있어서, 상기동기전동기의 3상전압방정식으로부터선간전압을계산하는단계; 상기선간전압으로부터각 선간전압에대한무부하역기전력을구하는단계; 각각의 3상전압또는전류에대해서상기무부하역기전력의비를구하는단계; 및 d축-q축인덕턴스를추정하는단계;를포함할수 있다. 상기와같이구성함으로써, 회전자에의해쇄교되는자속성분과무관하게 d, q축인덕턴스를추정하기때문에보다정확한인덕턴스를추정할수 있다.
Abstract:
PURPOSE: A hybrid type driving apparatus with multiple degrees of freedom is provided to improve the accuracy of operation by accurately controlling the rotating or tilting angle of a rotating-tilting shaft core according to electric current. CONSTITUTION: A hybrid type driving apparatus with multiple degrees of freedom comprises a rotating-tilting shaft core(110), a rotating drive unit(130), and a tilting drive unit(150). The rotating-tilting shaft core is rotated or tilted in a housing. The rotating drive unit and the tilting drive unit are installed in the housing to respectively rotate and tilt the rotating-tilting shaft core using electromagnetic interaction.