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公开(公告)号：KR101930421B1
公开(公告)日：2018-12-19
申请号：KR1020170059454
申请日：2017-05-12
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 대면적 제작 및 롤 스탬프를 이용한 연속 공정이 가능하며, 굴절광학소자에서 구현할 수 없는 여러가지 종류의 광학기능을 구현할 수 있는 나노마이크로기반 회절광학소자 및 이의 형성방법에 관한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 투명기판과, 형성하고자 하는 홀로그램 패턴에 대응되도록 상기 투명기판 상부에 형성되어 있는 기능층과, 상기 투명기판과 상기 기능층 사이에 배치되는 산화물층을 포함하며, 상기 기능층 하면은 원형 또는 모서리가 곡면을 가지는 다각형 또는 이들의 집합체 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 나노마이크로기반 회절광학소자를 제공한다.-
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公开(公告)号：KR101858945B1
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：KR1020160117881
申请日：2016-09-13
Applicant: 한국기계연구원 , 한양대학교 산학협력단
IPC: G03F7/00 , H01L21/027 , B82Y40/00
Abstract: 고종횡비금속구조제조방법은제1 베이스기판상에씨드층을형성한다. 상기씨드층상면에상기씨드층을외부로노출하는홀(hole)을포함하도록나노마스크를형성한다. 상기씨드층으로부터상기홀을관통하여나노로드(nano rod)들을성장시킨다. 상기나노로드들사이의이격공간을금속으로채운다. 상기씨드층으로부터상기나노로드들을제거하여홀을포함하는금속구조를형성한다.
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公开(公告)号：KR101803523B1
公开(公告)日：2017-11-30
申请号：KR1020150111795
申请日：2015-08-07
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G02F1/01 , G02F1/017 , G02F1/1333
Abstract: 본발명은같은색깔을지니는양자점들을하나의집합체로형성하여간섭을최소화시킨디스플레이에사용되는양자점집합체의집합방법에관한것으로, 내측튜브와외측튜브로구성된이중튜브를제조하는단계; 콜로이드분산액에양자점이분산된양자점잉크를상기내측튜브에수용시키는단계; 상기외측튜브에계면활성제를포함하는물 수용액을수용시키는단계; 상기내측튜브및 외측튜브에압력을가하여각각수용된양자점잉크및 물을분사하여상기양자점잉크를액적으로생성하는단계; 및상기액적형태의양자점잉크를자외선영역을통과시켜경화시키는단계;를포함하여구성되어, 같은색깔을지니는양자점들을하나의집합체로형성하여간섭을최소화시킴으로서양자점들의에너지가색의간섭에의해분산되지않아에너지효율이향상되며간섭을최소화시킴으로서양자점들의색이간섭에의해발생하는깜박거림현상을감소시키는효과가있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170125245A
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：KR1020160055480
申请日：2016-05-04
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/311 , H01L29/06 , H01L21/033 , H01L21/308 , H01L21/768 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/31144 , H01L21/0337 , H01L21/3065 , H01L21/308 , H01L21/76811 , H01L29/0665
Abstract: 고세장비나노패턴제조방법에서몰드패턴이형성된전사기판상에에치마스크를증착한다. 상기몰드패턴에대하여측벽식각을수행한다. 상기몰드패턴의상면에금속을증착한다. 타겟기판상에전사용접착층을도포한다. 상기몰드패턴에증착된금속을상기전사용접착층으로전사한다.
Abstract translation: 在高科技设备纳米图案制造方法中，蚀刻掩模沉积在其上形成模型图案的转印基板上。 在模具图案上执行侧壁蚀刻。 金属沉积在模具图案的上表面上。 可转印的粘合剂层被涂覆在目标基板上。 沉积在模具图案上的金属被转移到可转印的粘合剂层。
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公开(公告)号：KR1020170017615A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：KR1020150111795
申请日：2015-08-07
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G02F1/01 , G02F1/017 , G02F1/1333
Abstract: 본발명은같은색깔을지니는양자점들을하나의집합체로형성하여간섭을최소화시킨디스플레이에사용되는양자점집합체의집합방법에관한것으로, 내측튜브와외측튜브로구성된이중튜브를제조하는단계; 콜로이드분산액에양자점이분산된양자점잉크를상기내측튜브에수용시키는단계; 상기외측튜브에계면활성제를포함하는물 수용액을수용시키는단계; 상기내측튜브및 외측튜브에압력을가하여각각수용된양자점잉크및 물을분사하여상기양자점잉크를액적으로생성하는단계; 및상기액적형태의양자점잉크를자외선영역을통과시켜경화시키는단계;를포함하여구성되어, 같은색깔을지니는양자점들을하나의집합체로형성하여간섭을최소화시킴으로서양자점들의에너지가색의간섭에의해분산되지않아에너지효율이향상되며간섭을최소화시킴으로서양자점들의색이간섭에의해발생하는깜박거림현상을감소시키는효과가있다.
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公开(公告)号：KR101673147B1
公开(公告)日：2016-11-07
申请号：KR1020150065238
申请日：2015-05-11
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L31/0392 , H01L31/0236 , H01L51/50 , H01L51/56
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 하이브리드태양전지제조방법에서, 기판부상에실리콘마스터의제1 패턴부가전사된제2 패턴부를포함하는레진이형성된복제몰드를제작한다. 상기복제몰드상에금속을증착하여상기제2 패턴부상에금속박막을형성한다. 실리콘기판상에정공수송층을형성한다. 상기복제몰드의상기제2 패턴부상에형성된금속박막을상기정공수송층의상면으로직접전사하여상기정공수송층상에제3 패턴부를형성한다.
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公开(公告)号：KR1020160118820A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：KR1020150047589
申请日：2015-04-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의실시예에따른 RF MEMS 스위치는서로마주하는제1 기판및 제2 기판, 제1 기판과상기제2 기판사이에위치하며상기제1 기판과상기제2 기판사이에밀봉된공간을형성하는절연부재, 공간내의상기제1 기판위에위치하는제1 전극, 공간내의상기제2 기판위에위치하며상기제1 전극과마주하는제2 고체전극, 제1 전극위에위치하는액체금속층, 제2 전극위에위치하는나노전극을포함하고, 액체금속층과상기나노전극은이격되어위치한다.
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公开(公告)号：KR101486890B1
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：KR1020130005007
申请日：2013-01-16
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본 발명은 이종접합을 이용한 구조물 제조방법 및 이를 이용한 에너지 소자에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 이종접합을 이용한 구조물 제조방법은 제1기판에 구조물을 형성하는 구조물형성단계; 접합매개층을 상기 구조물과 이종재료의 물질로 이루어지는 제2기판에 도포하는 접합매개층도포단계; 상기 구조물과 상기 접합매개층을 접합시키는 접합단계; 상기 구조물이 상기 제2기판에 남겨지도록 상기 제1기판을 분리하는 분리단계; 및 상기 구조물 형성단계와 상기 분리단계 사이에는 상기 분리단계에서 상기 구조물이 상기 제1기판으로부터 용이하게 분리되도록 상기 제1기판을 습식식각용액에 침지시켜 상기 구조물의 표면에 크랙(crack)을 형성하는 크랙형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 구조물과 접합매개층의 접촉면 또는 접합증진층과 접합매개층의 접촉면에서 원소가 확산되어 합금을 이룬 뒤 접합매개층을 고화시킴으로써 구조물과 제2기판 간의 접합강도가 향상되는 이종접합을 이용한 구조물 제조방법이 제공된다.
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