公开(公告)号：KR102132861B1

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：KR1020180143157

申请日：2018-11-20

Applicant: 한국생산기술연구원

Inventor： 이동혁 ,  배지훈 ,  박재한 ,  박현준

IPC: B25J15/00 ,  B25J15/02

公开(公告)号：KR101354433B1

公开(公告)日：2014-01-27

申请号：KR1020120026308

申请日：2012-03-14

Applicant: 한국생산기술연구원 ,  조영상

Inventor： 문경일 ,  김준형 ,  박현준 ,  최윤 ,  이재승

IPC: C23C28/00 ,  C01B7/20 ,  B01J19/12

Abstract: 본 발명은 플루오린화물을 사용하여 박막의 물성을 제어하여, 제품의 사용 환경에 맞추어 내식성 및 내마모성 등의 물성의 향상시킬 수 있도록 한 플루오린이 함유된 박막 제조방법 및 그 박막에 관한 것이다.
이를 위해, 기재의 표면에 DLC층을 코팅한 후, 상기 DLC층의 표면에 플루오린화물의 가스를 이용하여 플루오린층을 코팅하는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성에 따라, 플루오린의 함유에 의해 다공성 조직이 형성되어 박막의 표면이 소수성화되면서 표면에 대한 젖음성이 적어지게 되어 내식성이 증가하며, 특히 오일의 포켓 역할을 하는 표면층에 의해 마찰계수를 향상시켜 내구성을 요하는 자동차 부품의 적용이 가능한 효과가 있다.