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公开(公告)号：KR101790507B1
公开(公告)日：2017-11-21
申请号：KR1020150182974
申请日：2015-12-21
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은플라즈마를이용한그래핀패밀리의유기원소성분분석장치를이용한그래핀패밀리유기원소성분정량·정성분석방법에관한것이다. 본발명은『(1) 유기원소성분분석장치를준비하는단계; (2) 상기그래핀패밀리원소성분분석장치를이용하여기준물질의원소성분레퍼런스를도출하는단계; (3) 상기그래핀패밀리원소성분분석장치를이용하여분석대상물질의원소성분을분석하는단계; 및 (4) 상기레퍼런스를기준으로분석대상물질의원소성분을정성분석하는단계; 를포함하는그래핀패밀리유기원소성분정량·정성분석방법』을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及一种使用等离子体分析石墨烯族的有机元素组分的装置来定量分析石墨烯族的有机组分的方法。
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公开(公告)号：KR101790506B1
公开(公告)日：2017-10-30
申请号：KR1020150182919
申请日：2015-12-21
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은플라즈마를이용한그래핀패밀리의유기원소성분분석방법및 장치에관한것이다. 본발명은『(a) 물에그래핀패밀리를녹인그래핀수용액제조단계; (b) 상기물 및물에녹은그래핀패밀리를플라즈마상태로유도하여상기그래핀패밀리를완전해리시키는단계; 및 (c) 상기플라즈마내 유기원소들을검출기로보내성분을분석하는단계; 를포함하는그래핀패밀리유기원소성분분석방법』을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用等离子体分析石墨烯族的有机元素组分的方法和设备。 本发明涉及：（a）制备其中石墨烯族溶于水的石墨烯水溶液的步骤; （b）诱导溶解在水中的石墨烯族和物质进入等离子态以完全溶解石墨烯族; 并且（c）通过将等离子体中的有机元素发送到检测器来分析组分; 一种分析石墨烯家族有机元素组分的方法，包括以下步骤：
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公开(公告)号：KR1020170117255A
公开(公告)日：2017-10-23
申请号：KR1020160044657
申请日：2016-04-12
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01L21/3065 , H01L21/67 , H01J37/32 , H05H1/46 , H01L21/3213
Abstract: 본발명은수중에서기판에코팅된전기전도막(투명전도막포함) 내부에플라즈마를유도시킴으로써기판의손상없이기판에코팅된전기전도막을식각하여패턴을형성시키는수중플라즈마유도에의한기판전기전도막식각방법에관한것이다. 본발명은『(a) 상면에전기전도막이코팅된기판을물에넣는단계; 및 (b) 상기기판의하면에플라즈마유도에너지원을조사하는단계;를포함하여이루어지는수중플라즈마유도에의한전기전도막식각방법』을제공한다.
Abstract translation: 本发明可以在导电涂层的基板（包括透明导电膜）衬底电力通过诱导形成涂布在基材上的导电蚀刻膜的图案水下等离子体上的薄膜，而不通过在内部导体层诱导的等离子体损坏基板 和一种蚀刻方法。 （A）将涂覆有导电膜的基底放置在其上表面上的水中; （b）用等离子体诱发能量源照射衬底本发明还提供了通过水下等离子体诱导蚀刻导电膜的方法。
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公开(公告)号：KR1020170074280A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：KR1020150182919
申请日：2015-12-21
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은플라즈마를이용한그래핀패밀리의유기원소성분분석방법및 장치에관한것이다. 본발명은『(a) 물에그래핀패밀리를녹인그래핀수용액제조단계; (b) 상기물 및물에녹은그래핀패밀리를플라즈마상태로유도하여상기그래핀패밀리를완전해리시키는단계; 및 (c) 상기플라즈마내 유기원소들을검출기로보내성분을분석하는단계; 를포함하는그래핀패밀리유기원소성분분석방법』을제공한다.
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