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公开(公告)号：KR102224170B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190038553A
申请日：2019-04-02
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: G01N23/2251 , G01B15/02 , G01B15/04 , G01B15/08
CPC classification number: G01N23/2251 , G01B15/02 , G01B15/04 , G01B15/08 , G01N21/17 , G01N2223/418 , G01N2223/611
Abstract: 본 발명은 그래핀의 물리적 형상 분석방법에 관한 것이다.
본 발명의 그래핀의 물리적 형상 분석방법은 다수의 미세 홈을 가지는 실리콘기판을 준비하고, 상기 실리콘기판상에 그래핀 및 금속코팅막이 올려진 시편으로 제작한 후 주사형 전자현미경(SEM) 장비를 이용하여 관찰하되, 상기 실리콘기판이 판판한 바닥과 다양한 경사각을 가지므로, 그래핀 형상에 관련된 두께, 넓이, 직경, 구겨짐, 평탄도 등의 물리적 성질을 SEM 장비를 이용하여 분석할 수 있다.-
公开(公告)号：KR1020170117256A
公开(公告)日：2017-10-23
申请号：KR1020160044658
申请日：2016-04-12
Applicant: 한국세라믹기술원
CPC classification number: H01J37/32009 , C23C14/0005 , H05H1/24
Abstract: 본발명은에너지원의조사방향등의조작없이도식각면을독특한불규칙패턴구조로형성시킬수 있으며, 그과정에서파티클오염이나식각부위주변에크랙이발생하지않도록하는수중플라즈마유도에의한비정형식각계면형성방법에관한것이다. 본발명은『(a) 일면에코팅막이형성된기판을물에넣는단계; (b) 상기기판의코팅막부분에플라즈마유도에너지원을조사하는단계; 및 (c) 상기에너지원의출력을높여플라즈마와함께직경 1㎜이상의기포가발생하도록하여, 비정형식각계면이형성되도록하는단계;를포함하는수중플라즈마유도에의한비정형식각계면형성방법』을제공한다.
Abstract translation: 本发明是如何形成的，并且在操作蚀刻表面上形成，而不在能量源，感应，以防止在过程中出现的裂纹，向周围的颗粒污染和腐蚀区域表面水下等离子体的不规则蚀刻的这种照射方向鲜明不规则图案结构sikilsu Lt。 （A）将其一个表面上具有涂膜的基板置于水中; （b）用等离子体诱导能量源照射衬底涂层膜的一部分; 和（c），以确保气泡比直径1㎜与等离子体增加能量源的输出发生时，非晶蚀刻界面处形成;可以通过诱导含有水下等离子提供非晶蚀刻界面的形成方法” 。
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公开(公告)号：KR1020170020603A
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：KR1020150113954
申请日：2015-08-12
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은「(a) 기판의일면에투명전도막이코팅된전기전도성기판을준비하는단계; (b) 상기전기전도성기판의표면을식각하는단계; (c) 식각된전기전도성기판의표면에경화형전구체를코팅하여경화형코팅막을형성시키는단계; (d) 상기경화형코팅막을건조시키는단계; (e) 상기경화형코팅막을경화시키는단계; 및 (f) 상기경화형코팅막중 경화가덜 된부분을제거하는단계;를포함하여이루어지는원적외선히터소자제조방법」을제공한다.
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公开(公告)号：KR1020170074283A
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：KR1020150182974
申请日：2015-12-21
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은플라즈마를이용한그래핀패밀리의유기원소성분분석장치를이용한그래핀패밀리유기원소성분정량·정성분석방법에관한것이다. 본발명은『(1) 유기원소성분분석장치를준비하는단계; (2) 상기그래핀패밀리원소성분분석장치를이용하여기준물질의원소성분레퍼런스를도출하는단계; (3) 상기그래핀패밀리원소성분분석장치를이용하여분석대상물질의원소성분을분석하는단계; 및 (4) 상기레퍼런스를기준으로분석대상물질의원소성분을정성분석하는단계; 를포함하는그래핀패밀리유기원소성분정량·정성분석방법』을제공한다.
Abstract translation: 本发明涉及石墨烯族有机元素成分的定量，采用使用等离子体销家庭分析设备的有机是元素成分的定性分析方法。 （1）制备用于分析有机元素组分的设备; （2）使用石墨烯族元素分析设备导出参考材料的元素组分参考; （3）使用石墨烯族元素分析仪分析分析物的元素组分; （4）根据参考文献定性分析分析物的元素组分; 定量和定性分析石墨烯家族有机元素组分的方法“
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR101798382B1
公开(公告)日：2017-11-20
申请号：KR1020160044658
申请日：2016-04-12
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은에너지원의조사방향등의조작없이도식각면을독특한불규칙패턴구조로형성시킬수 있으며, 그과정에서파티클오염이나식각부위주변에크랙이발생하지않도록하는수중플라즈마유도에의한비정형식각계면형성방법에관한것이다. 본발명은『(a) 일면에코팅막이형성된기판을물에넣는단계; (b) 상기기판의코팅막부분에플라즈마유도에너지원을조사하는단계; 및 (c) 상기에너지원의출력을높여플라즈마와함께직경 1㎜이상의기포가발생하도록하여, 비정형식각계면이형성되도록하는단계;를포함하는수중플라즈마유도에의한비정형식각계면형성방법』을제공한다.
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公开(公告)号：KR102224170B1
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：KR1020190038553
申请日：2019-04-02
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: G01N23/2251 , G01B15/02 , G01B15/04 , G01B15/08
Abstract: 본발명은그래핀의물리적형상분석방법에관한것이다. 본발명의그래핀의물리적형상분석방법은다수의미세홈을가지는실리콘기판을준비하고, 상기실리콘기판상에그래핀및 금속코팅막이올려진시편으로제작한후 주사형전자현미경(SEM) 장비를이용하여관찰하되, 상기실리콘기판이판판한바닥과다양한경사각을가지므로, 그래핀형상에관련된두께, 넓이, 직경, 구겨짐, 평탄도등의물리적성질을 SEM 장비를이용하여분석할수 있다.
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公开(公告)号：KR101734371B1
公开(公告)日：2017-05-15
申请号：KR1020150113954
申请日：2015-08-12
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명은「(a) 기판의일면에투명전도막이코팅된전기전도성기판을준비하는단계; (b) 상기전기전도성기판의표면을식각하는단계; (c) 식각된전기전도성기판의표면에경화형전구체를코팅하여경화형코팅막을형성시키는단계; (d) 상기경화형코팅막을건조시키는단계; (e) 상기경화형코팅막을경화시키는단계; 및 (f) 상기경화형코팅막중 경화가덜 된부분을제거하는단계;를포함하여이루어지는원적외선히터소자제조방법」을제공한다.
Abstract translation: （A）在基板的一个表面上制备涂覆有透明导电膜的导电基板; （b）蚀刻导电衬底的表面; （c）将可固化前体涂布在经蚀刻的导电基底的表面上以形成可固化涂布膜; （d）干燥可固化涂膜; （e）固化可固化涂膜; （f）除去固化型涂膜的硬化部分。
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