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公开(公告)号：KR101583055B1
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：KR1020140054867
申请日：2014-05-08
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01L21/316 , H01L21/205 , C23C26/00
Abstract: 본발명은금속원소를포함하는염화물을탈이온수에용해하여반응용액을제조하는제1단계, 상기금속을산화시키는산화제와 pH를조정하는 pH 조절제를포함하는산화용액을준비하는제2단계, 기판상에상기반응용액과산화용액을각각분무하는제3단계및 상기제3단계분무를통해기판상에산화물박막을증착시키는제4단계를포함하고상기제4단계이후에상기산화물박막을산화분위기또는불활성분위기에서후속열처리하는단계를더 포함하는용액공정(solution process)으로저항박막을제조하여, 저항박막이낮은비저항, 높은 TCR값, 낮은 1/f 노이즈특성을갖게하는것을특징으로하는볼로미터용저항박막제조방법및 이제조방법으로만든볼로미터용저항박막을사용하여작동온도범위에서저항박막의상(Phase)이안정적으로존재하므로우수한정밀도와향상된온도안정성을갖는볼로미터에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101843116B1
公开(公告)日：2018-03-28
申请号：KR1020170036556
申请日：2017-03-23
Applicant: 한국세라믹기술원
CPC classification number: C23C18/1225 , B81B2201/0207 , C23C14/024 , C23C14/08 , C23C14/5806 , C23C18/04 , C23C18/1216 , C23C18/1295
Abstract: 본발명에따른저항박막은기판상에제공되고, 니켈, 망간, 구리및 크롬중 적어도어느하나의금속의산화물로이루어진산화물시드층; 및상기산화물시드층상에제공되고, 니켈, 망간및 구리를함유하는 (Ni,Mn,Cu)O계모체에크롬이첨가된 [(Ni,Mn,Cr)Cu]O조성을가지는산화물메인층을포함하고, 상기산화물시드층과산화물메인층은서로교번적층될수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的电阻薄膜设置在衬底上并且包括由镍，锰，铜和铬中的至少一种的氧化物制成的氧化物种子层; 并且，在氧化物种子层上设置氧化物主层，该氧化物主层具有[（Ni，Mn，Cr）Cu] O的组成，在含有镍，锰和铜的（Ni，Mn，Cu） 并且氧化物种子层过氧化物主层可以彼此交替堆叠。
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公开(公告)号：KR1020150128079A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：KR1020140054867
申请日：2014-05-08
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01L21/316 , H01L21/205 , C23C26/00
Abstract: 본발명은금속원소를포함하는염화물을탈이온수에용해하여반응용액을제조하는제1단계, 상기금속을산화시키는산화제와 pH를조정하는 pH 조절제를포함하는산화용액을준비하는제2단계, 기판상에상기반응용액과산화용액을각각분무하는제3단계및 상기제3단계분무를통해기판상에산화물박막을증착시키는제4단계를포함하고상기제4단계이후에상기산화물박막을산화분위기또는불활성분위기에서후속열처리하는단계를더 포함하여저항박막이낮은비저항, 높은 TCR값, 낮은 1/f 노이즈특성을갖게하는것을특징으로하는볼로미터용저항박막제조방법및 이제조방법으로만든볼로미터용저항박막을사용하여작동온도범위에서저항박막의상(Phase)이안정적으로존재하므로우수한정밀도와향상된온도안정성을갖는볼로미터에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造辐射热度计和测辐射热计的辐射热计和电阻薄膜的方法。 该方法包括：通过将包含金属元素的氯化物溶解在去离子水中来生产反应溶液的第一步骤; 制备包含氧化金属的氧化剂和控制pH的pH控制剂的氧化溶液的第二步骤; 将反应溶液和氧化溶液喷射到基材上的第三步骤; 以及通过第三步骤的喷涂在基板上沉积氧化物薄膜的第四步骤，并且还包括在第四步骤之后的氧化气氛或惰性气氛中对氧化物薄膜进行随后的热处理的步骤。 因此，电阻薄膜具有低电阻率，高TCR值和低1 / f噪声特性。 测辐射热计具有优异的精度和改善的温度稳定性，因为通过使用通过上述制造方法制造的测辐射热计的电阻薄膜，电阻薄膜的相位在工作温度范围内是稳定的。
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公开(公告)号：KR1020150064816A
公开(公告)日：2015-06-12
申请号：KR1020130149595
申请日：2013-12-04
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01L41/18 , H01L41/083 , H01L41/047
CPC classification number: H01L41/083 , H01L41/0471 , H01L41/0472 , H01L41/187 , H01L41/193 , H01L41/22
Abstract: 본 발명은, 복수의 내부전극이 형성된 압전 세라믹 파이버가 복수 개의 층으로 적층되어 적층체를 이루고, 상기 압전 세라믹 파이버의 한 개 층에 구비된 복수의 내부전극은 제1 방향으로 배향되어 있고 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향을 따라 서로 이격되어 있으며, 상기 압전 세라믹 파이버는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향을 따라 적층되어 있으며, 상기 제2 방향 및 상기 제3 방향이 이루는 상기 적층체의 일면과 이와 마주보는 면에 제1 및 제2 외부전극이 접촉되게 구비되며, 상기 제1 및 제2 외부전극을 보호하기 위한 보호필름이 상기 제1 및 제2 외부전극의 외측에 구비되어 있는 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자의 전체 영역에 걸쳐 고르게 균일한 전계가 인가될 수 있으므로 효율이 높아질 수 있다.
Abstract translation: 压电陶瓷纤维层叠复合器件及其制造方法技术领域本发明涉及压电陶瓷纤维层合复合器件及其制造方法。 多个具有多个内部电极的压电陶瓷纤维被层压以形成层压体。 内部电极沿第一方向排列并且在与第一方向垂直的第二方向上分离。 压电陶瓷纤维在与第一方向和第二方向垂直的第三方向上层压。 第一外部电极和第二外部电极形成为与由第二方向和第三方向形成的层叠体的面对面的表面接触。 在第一外部电极和第二外部电极的外侧形成用于保护第一和第二外部电极的保护膜。 根据本发明，通过在压电陶瓷纤维层压复合器件的整个区域上均匀地施加均匀的电场来提高效率。
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公开(公告)号：KR101467934B1
公开(公告)日：2014-12-02
申请号：KR1020130148303
申请日：2013-12-02
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01L41/18 , H01L41/187
CPC classification number: H01L41/04 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/193
Abstract: 본 발명은 피에조 파이버 컴포지트 구조체에 관한 것으로서, 특히 이러한 피에조 파이버 컴포지트 구조체에 플렉서블한 성질을 부가하기 위한 구조에 관한 발명이다. 또한, 본 발명은 피에조 파이버 컴포지트 구조체를 이용한 소자에 관한 발명이다. 본 발명의 피에조 파이버 컴포지트 구조체는 액츄에이터 등에 이용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 피에조 파이버 컴포지트 구조체는 복수의 압전 세라믹이 길이 방향으로 사이에 금속층을 두고 연결되어 있는 압전 세라믹 로드를 복수개 포함하고, 상기 복수의 압전 세라믹 로드가 서로 옆으로 나란히 배치되어 길이 방향에 수직한 방향을 따라서 각각 압전 세라믹 및 금속층이 나란히 배치되어 있으며, 나란히 배치된 상기 복수의 압전 세라믹 로드 사이에는 접착제가 배치되어 복수의 압전 세라믹 로드가 서로 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.Abstract translation: 压电纤维复合结构技术领域本发明涉及一种压电纤维复合结构体，更具体地说，涉及一种向压电纤维复合结构体添加挠性的结构。 此外，本发明涉及使用压电纤维复合结构的装置。 本发明的压电纤维复合结构体可用于致动器等。 根据本发明的实施例，压电纤维复合结构包括多个压电陶瓷棒，其中多个压电陶瓷连接在一起，其长度方向上插有金属层，其中压电陶瓷棒彼此平行地排列 使得压电陶瓷和金属层沿着与长度方向垂直的方向分别平行布置，并且在平行布置的压电陶瓷棒之间布置粘合剂，使得压电陶瓷棒可以彼此连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102225126B1
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：KR1020190127589
申请日：2019-10-15
IPC: C09D11/322 , C09D11/101 , B33Y10/00 , B33Y70/00 , B82Y40/00
Abstract: 3차원프린팅잉크조성물의제조방법이제공된다. 상기 3차원프린팅잉크조성물의제조방법은, 수계세라믹졸(sol) 및표면개질제를혼합하여, 상기수계세라믹졸에포함된세라믹입자의표면을개질하는단계, 표면개질된상기세라믹입자를갖는상기수계세라믹졸, 광경화제, 및계면활성제를혼합하여베이스소스를제조하는단계, 및상기베이스소스에광개시제를첨가하여잉크조성물을제조하는단계를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR101832408B1
公开(公告)日：2018-02-26
申请号：KR1020170091508
申请日：2017-07-19
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01L31/08 , H01L31/032 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521 , H01L31/08 , H01L31/032 , H01L31/186
Abstract: 본발명에따른볼로미터용산화물저항박막은기판상에제공되는입방정스피넬(Cubic spinel) 결정구조의산화물층을포함하고, 상기산화물층은, 니켈, 망간및 구리를함유하는 (Ni,Mn,Cu)O계모체; 및상기모체에첨가되며, 온도가변하는경우에도원자가상태를유지하는원소인첨가제를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明提供一种测辐射热计电阻薄膜的薄膜，其包括设置在衬底上的立方尖晶石晶体结构的氧化物层，并且氧化物层由含镍的（Ni，Mn，Cu） 基于O的矩阵; 并且添加剂被添加到基质中并且是即使当温度改变时也维持价态的元素。
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公开(公告)号：KR101812947B1
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：KR1020160059673
申请日：2016-05-16
Applicant: 한국세라믹기술원
Abstract: 본발명에따른볼로미터용저항박막제조방법은니켈, 망간, 구리중 적어도어느하나의금속을포함하는유기금속화합물전구체용액을유기용매에혼합하여혼합용액을준비하는단계; 기판상에상기금속중 적어도어느하나의금속을포함하는금속층을형성하는단계; 상기혼합용액을이용하여액상공정으로상기금속층상에유기금속화합물층을형성하는단계; 상기유기금속화합물층을산화분위기에서후속열처리하여산화물저항박막으로변화하는단계를포함할수 있다. 또한본 발명에따른볼로미터용저항박막제조방법에의하면낮은비저항과높은온도계수를갖는볼로미터용저항박막과서미스터볼로미터가가능하게된다.
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19.发明公开
公开(公告)号：KR1020170128947A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：KR1020160059673
申请日：2016-05-16
Applicant: 한국세라믹기술원
CPC classification number: B05D3/147 , B05D1/005 , B05D7/14 , B05D7/52 , C09D4/00 , C23C14/14 , C23C2222/20 , G01J5/0853
Abstract: 본발명에따른볼로미터용저항박막제조방법은니켈, 망간, 구리중 적어도어느하나의금속을포함하는유기금속화합물전구체용액을유기용매에혼합하여혼합용액을준비하는단계; 기판상에상기금속중 적어도어느하나의금속을포함하는금속층을형성하는단계; 상기혼합용액을이용하여액상공정으로상기금속층상에유기금속화합물층을형성하는단계; 상기유기금속화합물층을산화분위기에서후속열처리하여산화물저항박막으로변화하는단계를포함할수 있다. 또한본 발명에따른볼로미터용저항박막제조방법에의하면낮은비저항과높은온도계수를갖는볼로미터용저항박막과서미스터볼로미터가가능하게된다.
Abstract translation: 电阻测辐射热计根据本发明薄膜的制造方法是通过将有机金属化合物前体溶液包括镍，锰，铜的金属中的至少一个，在有机溶剂中制备的混合溶液的步骤; 在衬底上形成包括至少一种金属的金属层; 使用混合溶液通过液相法在金属层上形成有机金属化合物层; 然后在氧化气氛中进行随后的热处理，以将有机金属化合物层变为氧化物电阻薄膜。 此外，根据测辐射热计电阻薄膜的制造方法根据本发明，一个低电阻率和热辐射计薄膜电阻器和具有高的温度系数是可能的热敏电阻测辐射热计。
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公开(公告)号：KR101635938B1
公开(公告)日：2016-07-04
申请号：KR1020150076097
申请日：2015-05-29
Applicant: 한국세라믹기술원
IPC: H01L31/09 , H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/18
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은염화물을탈이온수에용해하여제조되는반응용액과상기염화물에함유된금속을산화시키는산화용액을준비하는과정, 기판상에상기반응용액과상기산화용액을각각분무하여제1 층을형성하는과정, 유기금속화합물포함하는전구용액과유기용매를도포하여혼합용액을준비하는과정, 및상기혼합용액을상기제1 층상에코팅하여제2 층을형성하는과정을포함하여, 박막의미세구조를균일하게하고낮은온도에서박막을형성할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种制造用于测辐射热计的电阻薄膜的方法，包括以下步骤：制备通过将氯化物溶解在去离子水中产生的反应性溶液和用于氧化氯化物中的金属的氧化溶液; 将反应性溶液和氧化溶液分别喷涂到基材上以形成第一层; 施加有机溶剂和包含有机金属化合物的前体溶液以制备混合溶液; 并在第一层上涂布混合溶液以形成第二层，从而使薄膜的微结构均匀并在低温下形成薄膜。
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