公开(公告)号：WO2020004769A1

公开(公告)日：2020-01-02

申请号：PCT/KR2019/001991

申请日：2019-02-19

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  윤지선 ,  전창준 ,  최용호

IPC: G01N27/30 ,  G01N27/407 ,  G01N33/00

Abstract: 본 발명의 일실시예에 따른 가스센서용 전극 제조방법은 챔버 내에 다공성 고분자막을 제공하는 과정; 상기 챔버 내에 처리가스를 넣으면서 형성된 플라즈마로서 상기 다공성 고분자막의 표면을 플라즈마 전처리하는 과정; 및 상기 플라즈마 전처리된 다공성 고분자막 상에 물리적 증착법으로 금속 박막을 형성하는 과정을 포함할 수 있다.

公开(公告)号：WO2020130316A1

公开(公告)日：2020-06-25

申请号：PCT/KR2019/013932

申请日：2019-10-23

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  윤지선 ,  최용호

IPC: C23C18/12 ,  G01J5/08

Abstract: 본 발명에 따른 볼로미터용 산화물 저항 박막은 기판 상에 제공되는 입방정 스피넬(Cubic spinel) 결정 구조의 산화물층을 포함하고, 상기 산화물층은, 니켈, 망간 및 구리를 함유하는 (Ni,Mn,Cu) 3 O 4 계 모체; 및 상기 모체에 첨가되며, 온도가 변하는 경우에도 원자가 상태를 유지하는 원소인 제1 첨가제와 온도 변화에 따라 원자가가 변하는 원소인 제2 첨가제를 포함할 수 있다.

公开(公告)号：KR101977366B1

公开(公告)日：2019-05-10

申请号：KR1020170060571

申请日：2017-05-16

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  전창준 ,  최용호

IPC: H01L35/34 ,  G01J5/08 ,  H01L35/24 ,  H01L31/09

公开(公告)号：KR102156664B1

公开(公告)日：2020-09-16

申请号：KR1020180164636

申请日：2018-12-18

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  윤지선 ,  최용호

IPC: C23C18/12 ,  G01J5/08

公开(公告)号：KR101843116B1

公开(公告)日：2018-03-28

申请号：KR1020170036556

申请日：2017-03-23

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  전창준 ,  최용호

IPC: C23C18/12 ,  C23C18/04 ,  C23C14/08 ,  C23C14/02 ,  C23C14/58

CPC classification number: C23C18/1225 ,  B81B2201/0207 ,  C23C14/024 ,  C23C14/08 ,  C23C14/5806 ,  C23C18/04 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1295

Abstract: 본발명에따른저항박막은기판상에제공되고, 니켈, 망간, 구리및 크롬중 적어도어느하나의금속의산화물로이루어진산화물시드층; 및상기산화물시드층상에제공되고, 니켈, 망간및 구리를함유하는 (Ni,Mn,Cu)O계모체에크롬이첨가된 [(Ni,Mn,Cr)Cu]O조성을가지는산화물메인층을포함하고, 상기산화물시드층과산화물메인층은서로교번적층될수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的电阻薄膜设置在衬底上并且包括由镍，锰，铜和铬中的至少一种的氧化物制成的氧化物种子层; 并且，在氧化物种子层上设置氧化物主层，该氧化物主层具有[（Ni，Mn，Cr）Cu] O的组成，在含有镍，锰和铜的（Ni，Mn，Cu） 并且氧化物种子层过氧化物主层可以彼此交替堆叠。

公开(公告)号：KR101833481B1

公开(公告)日：2018-03-02

申请号：KR1020170021790

申请日：2017-02-17

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  전창준 ,  최용호

IPC: C23C18/12 ,  C23C18/04 ,  C23C14/14 ,  G01J5/08

CPC classification number: C23C18/1208 ,  C23C14/14 ,  C23C18/04 ,  C23C18/1279 ,  G01J5/0853

Abstract: 본발명에따른저항박막은기판상에제공되고, 니켈, 망간및 구리를함유하는 (Ni,Mn,Cu)O계모체에크롬이첨가된 [(Ni,Mn,Cr)Cu]O조성의산화물층을포함하고, 상기산화물층은입방정스피넬(Cubic spinel) 결정구조를가질수 있다.

公开(公告)号：KR101832408B1

公开(公告)日：2018-02-26

申请号：KR1020170091508

申请日：2017-07-19

Applicant: 한국세라믹기술원

Inventor： 조정호 ,  정영훈 ,  전창준 ,  최용호

IPC: H01L31/08 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/08 ,  H01L31/032 ,  H01L31/186

Abstract: 본발명에따른볼로미터용산화물저항박막은기판상에제공되는입방정스피넬(Cubic spinel) 결정구조의산화물층을포함하고, 상기산화물층은, 니켈, 망간및 구리를함유하는 (Ni,Mn,Cu)O계모체; 및상기모체에첨가되며, 온도가변하는경우에도원자가상태를유지하는원소인첨가제를포함할수 있다.

Abstract translation: 本发明提供一种测辐射热计电阻薄膜的薄膜，其包括设置在衬底上的立方尖晶石晶体结构的氧化物层，并且氧化物层由含镍的（Ni，Mn，Cu） 基于O的矩阵; 并且添加剂被添加到基质中并且是即使当温度改变时也维持价态的元素。