유연성 박막 서미스터 제조방법 및 온도 센서

    公开(公告)号:KR101768168B1

    公开(公告)日:2017-08-17

    申请号:KR1020150076098

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 본발명은유기재료로이루어진유연성기판을플레이팅(Plating) 챔버내에제공하는과정, 금속을포함하는염화물을탈이온수에용해하여반응물질용액을준비하는과정, 상기금속을산화시키는산화용액을준비하는과정, 상기반응물질용액과상기산화용액을상기플레이팅(Plating) 챔버내로공급하는과정, 및상기유연성기판상에상기금속의산화물박막을플레이팅하는과정을포함하여, 산화물박막의증착특성및 전기적특성을향상시킬수 있다.

    유연성 박막 서미스터 제조방법 및 온도 센서
    5.
    发明公开
    유연성 박막 서미스터 제조방법 및 온도 센서 有权
    形成柔性薄膜热敏电阻和温度传感器的方法

    公开(公告)号:KR1020160140029A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:KR1020150076098

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 본발명은유기재료로이루어진유연성기판을플레이팅(Plating) 챔버내에제공하는과정, 금속을포함하는염화물을탈이온수에용해하여반응물질용액을준비하는과정, 상기금속을산화시키는산화용액을준비하는과정, 상기반응물질용액과상기산화용액을상기플레이팅(Plating) 챔버내로공급하는과정, 및상기유연성기판상에상기금속의산화물박막을플레이팅하는과정을포함하여, 산화물박막의증착특성및 전기적특성을향상시킬수 있다.

    스피넬 구조를 갖는 금속 산화물 박막의 제조 방법
    6.
    发明公开
    스피넬 구조를 갖는 금속 산화물 박막의 제조 방법 有权
    制造具有螺旋结构的金属氧化物薄层的方法

    公开(公告)号:KR1020150113392A

    公开(公告)日:2015-10-08

    申请号:KR1020140036684

    申请日:2014-03-28

    CPC classification number: C23C14/08 C23C14/16

    Abstract: 스피넬구조를갖는금속산화물박막의제조방법에서, 산화니켈과산화망간을포함하는전구체용액과유기용매를혼합하여혼합용액을제조하고, 혼합용액을기판에코팅하여코팅층을형성한후, 코팅층을베이킹하여시드층을형성하고시드층을 400℃초과 800℃이하의온도에서결정화시켜금속산화물박막을형성한다.

    Abstract translation: 在制造具有尖晶石结构的金属氧化物薄膜的方法中,通过将包含氧化镍和氧化锰的前体溶液与有机溶剂混合来制造金属氧化物薄层,制造混合溶液; 用混合溶液涂覆基材以形成涂层; 烘烤涂层以形成种子层; 并在大于400℃且等于或低于800℃的温度下使晶种层结晶。

    압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자 및 그 제조방법
    7.
    发明授权
    압전 세라믹 파이버 적층형 복합소자 및 그 제조방법 有权
    压电陶瓷纤维多层复合器件及其制造方法相同

    公开(公告)号:KR101537939B1

    公开(公告)日:2015-07-20

    申请号:KR1020130149595

    申请日:2013-12-04

    Abstract: 본발명은, 복수의내부전극이형성된압전세라믹파이버가복수개의층으로적층되어적층체를이루고, 상기압전세라믹파이버의한 개층에구비된복수의내부전극은제1 방향으로배향되어있고상기제1 방향에수직한제2 방향을따라서로이격되어있으며, 상기압전세라믹파이버는상기제1 방향및 상기제2 방향에수직한제3 방향을따라적층되어있으며, 상기제2 방향및 상기제3 방향이이루는상기적층체의일면과이와마주보는면에제1 및제2 외부전극이접촉되게구비되며, 상기제1 및제2 외부전극을보호하기위한보호필름이상기제1 및제2 외부전극의외측에구비되어있는압전세라믹파이버적층형복합소자및 그제조방법에관한것이다. 본발명에의하면, 액추에이터(actuator) 등에사용되는압전세라믹파이버적층형복합소자의전체영역에걸쳐고르게균일한전계가인가될수 있으므로효율이높아질수 있다.

    볼로미터용 저항 박막 제조방법 및 볼로미터 제조방법

    公开(公告)号:KR101802504B1

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:KR1020160059671

    申请日:2016-05-16

    Abstract: 본발명에따른볼로미터용저항박막제조방법은니켈, 망간, 구리중 적어도어느하나의금속을포함하는유기금속화합물전구체용액을유기용매에혼합하여혼합용액을준비하는단계; 상기혼합용액을이용하여액상공정으로기판상에유기금속화합물층을형성하는단계; 상기유기금속화합물층을플라즈마처리하는단계; 및플라즈마처리를수행하고, 상기유기금속화합물층을산화분위기에서후속열처리하여산화물저항박막으로변화하는단계를포함할수 있다. 또한본 발명에따른볼로미터용저항박막제조방법에의하면낮은비저항과높은온도계수를갖는볼로미터용저항박막과서미스터볼로미터가가능하게된다.

    볼로미터용 저항 박막 제조방법 및 볼로미터 제조방법
    10.
    发明公开
    볼로미터용 저항 박막 제조방법 및 볼로미터 제조방법 有权
    制造辐射热测量计用电阻薄膜的方法和制造辐射热测量计的方法

    公开(公告)号:KR1020170128945A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:KR1020160059671

    申请日:2016-05-16

    Abstract: 본발명에따른볼로미터용저항박막제조방법은니켈, 망간, 구리중 적어도어느하나의금속을포함하는유기금속화합물전구체용액을유기용매에혼합하여혼합용액을준비하는단계; 상기혼합용액을이용하여액상공정으로기판상에유기금속화합물층을형성하는단계; 상기유기금속화합물층을플라즈마처리하는단계; 및플라즈마처리를수행하고, 상기유기금속화합물층을산화분위기에서후속열처리하여산화물저항박막으로변화하는단계를포함할수 있다. 또한본 발명에따른볼로미터용저항박막제조방법에의하면낮은비저항과높은온도계수를갖는볼로미터용저항박막과서미스터볼로미터가가능하게된다.

    Abstract translation: 电阻测辐射热计根据本发明薄膜的制造方法是通过将有机金属化合物前体溶液包括镍,锰,铜的金属中的至少一个,在有机溶剂中制备的混合溶液的步骤; 使用混合溶液通过液相法在基板上形成有机金属化合物层; 对有机金属化合物层进行等离子体处理; 以及在氧化气氛中进行等离子体处理和随后的有机金属化合物层的热处理以变成氧化物电阻薄膜的步骤。 此外,根据测辐射热计电阻薄膜的制造方法根据本发明,一个低电阻率和热辐射计薄膜电阻器和具有高的温度系数是可能的热敏电阻测辐射热计。

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