公开(公告)号：KR100586175B1

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：KR1020040015072

申请日：2004-03-05

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 류호준 ,  서동우 ,  박용우 ,  표현봉 ,  백문철

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 나노임프린트용 스탬퍼 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 나노임프린트용 스탬퍼로 사용될 기판과 그 상부에 도포되는 레지스트와의 사이에 접착력을 증대시키 위한 접착력 증대층을 형성하고, 전자선 묘화법의 직접쓰기법에 의해 나노크기의 레지스트 패턴을 형성함으로써, 나노크기를 갖는 소자들의 제작에 사용될 수 있으며 저가의 공정을 통해 대량생산이 가능하도록 한 나노임프린트용 스탬퍼 및 그 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 나노임프린트용 스탬퍼는, 스탬퍼용 기판; 상기 기판의 전체 상부면에 형성된 접착력 증대층; 전자선 묘화법의 직접쓰기법에 의해 형성된 나노크기의 레지스트 패턴을 포함하여 이루어진다.
나노임프린트(Nanoimprint), 스탬퍼(Stamper), 전자선 묘화법(e-beam lithography), 직접쓰기법(Direct Writing)

公开(公告)号：KR1020050007989A

公开(公告)日：2005-01-21

申请号：KR1020030047637

申请日：2003-07-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  손영준 ,  백문철 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉

IPC: G02B6/12

Abstract: PURPOSE: A focusing waveguide grating coupler and an optical pickup head using the same are provided to relatively simplify the design of grating by independently manufacturing the grating for outputting the output beam from the waveguide mode. CONSTITUTION: A focusing waveguide grating coupler includes a waveguide, a grating coupler(113) and a Fresnel grating lens(128). The waveguide is provided with a substrate(111) and a core layer(112). The grating coupler couples the light beam inputted through the waveguide to the substrate. And, the Fresnel grating lens diffracts the light beam coupled from the grating coupler to one focusing point.

Abstract translation: 目的：提供聚焦波导光栅耦合器和使用其的光学拾取头，以通过独立地制造用于从波导模式输出输出光束的光栅来相对简化光栅的设计。 构成：聚焦波导光栅耦合器包括波导，光栅耦合器（113）和菲涅尔光栅透镜（128）。 波导设置有基板（111）和芯层（112）。 光栅耦合器将通过波导输入的光束耦合到衬底。 并且，菲涅耳光栅透镜将从光栅耦合器耦合的光束衍射到一个聚焦点。

公开(公告)号：KR1020040053564A

公开(公告)日：2004-06-24

申请号：KR1020020080550

申请日：2002-12-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 서동우 ,  류호준 ,  손영준 ,  박용우 ,  백문철

IPC: G11B11/10

CPC classification number: G11B11/10582 ,  G11B11/10584 ,  G11B11/10591

Abstract: PURPOSE: A record layer of a magneto optical record media and its producing method are provided to increase a coercive force of a record layer by inducing an exchange coupling effect between the record layer and an adjacent sub layer so that it enhances a stability of a magnetic domain and a record density. CONSTITUTION: The media comprises a base plate(300), the first dielectric layer(310), a regeneration layer(320), the second dielectric layer(330), a sub layer(340), a record layer(350) and the third dielectric layer(360). The sub layer(340) is made of transition metal alloy. The sub layer(340) increases a coercive force of a magnetic domain of a record layer(320), storing data, by inducing an exchange coupling effect between the two layers(340, 320).

Abstract translation: 目的：提供磁光记录介质的记录层及其制造方法，以通过在记录层和相邻子层之间引起交换耦合效应来提高记录层的矫顽力，从而提高磁性记录介质的磁性 领域和记录密度。 构成：介质包括基板（300），第一介电层（310），再生层（320），第二介电层（330），子层（340），记录层（350）和 第三电介质层（360）。 子层（340）由过渡金属合金制成。 通过在两层（340,320）之间引起交换耦合效应，子层（340）增加记录层（320）的磁畴的矫顽力，从而存储数据。

公开(公告)号：KR100701122B1

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：KR1020050053053

申请日：2005-06-20

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 서동우 ,  박용우 ,  백문철 ,  류호준 ,  정희숙 ,  강광용

IPC: G11B7/124

Abstract: 본 발명의 광 헤드는 빔을 내보내는 송광 소자와, 기판 상에 형성되어 있고, 상기 송광 소자에서 발진된 빔이 전파되는 평면 도파로를 포함한다. 본 발명은 상기 평면 도파로의 일부 표면 상에 박막 형태로 집적되어 있고, 상기 평면 도파로를 통하여 전달된 빔을 받아 상기 평면 도파로 상부에 위치하는 디스크를 향하여 수직으로 보내거나, 상기 디스크에서 반사되는 빔을 다시 평면 도파로를 통하여 보내는 빔 입출사 커플러와, 상기 빔 입출사 커플러를 통하여 상기 평면 도파로로 전파하는 빔을 받는 수광소자를 포함한다. 상기 빔 입출사 커플러는 누설 모드 방향 커플러, 홀로그램 빔 회절기 및 편광 빔 스플리터를 포함하여 구성된다. 본 발명의 상기 빔 입출사 커플러는 평면 도파로 상에 박막 형태로 집적되어 상기 광헤드의 두께를 대폭적으로 줄일 수 있다.

公开(公告)号：KR100593690B1

公开(公告)日：2006-06-30

申请号：KR1020030097062

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉 ,  백문철 ,  손영준 ,  김남 ,  안준원

IPC: G01J4/04

Abstract: 본 발명은 집적 광 픽업 헤드(integrated optical pickup head, IOPH)를 광 자기 헤드로 구현하기 위해 필요한 Kerr 각도 측정 모듈에 관한 것이다. 본 발명의 Kerr 측정 모듈은 포토 다이오드, 홀로그래픽(holographic) 입력 커플러, 홀로그래픽 편광빔 분리기, 프리즘 등으로 구성되며, 실리카 기판으로 만들어진 광 도파로 격자렌즈(Focusing waveguide grating coupler)와 결합되어 광 자기 디스크로부터 반사되는 빔의 회전된 편광각을 검출하는 기능을 갖는다. 디스크에 반사된 빔은 격자렌즈에 의해 도파로를 따라 커플링되지만, 그 중 일부는 커플링되지 않고 실리카 기판을 투과하여 입력 커플러로 입사한다. 홀로그래픽 격자로 이루어진 입력 커플러는 홀로그래픽 편광빔 분리기의 빔 입사각을 만든다. 입력 커플러에 의해 회절된 빔 중 p 파는 편광빔 분리기를 투과하고(0차 회절), s 파는 브래그(Bragg) 조건을 만족하는 각도로 회절(1차 회절)한다. 편광 분리된 두 빔은 프리즘을 투과하여 분리되고, 공간적으로 분리된 빔은 포토 다이오드에 의해 각각의 파워가 검출된다.
격자렌즈, 입력 커플러, 편광빔 분리기, 회절격자, 홀로그래픽

Abstract translation: 本发明涉及实现具有磁光头的集成光学拾取头（IOPH）所需的克尔角测量模块。 本发明的克尔测量装置是一个光电二极管，全息（全息）输入耦合器，全息偏振光束分离器，由棱镜或类似的，在与光学波导光栅透镜组合（聚焦波导光栅耦合器）制成的二氧化硅基体磁光盘的 以及检测从光束反射的光束的旋转偏振角的功能。 光盘上的反射光束通过光栅透镜沿波导耦合，但其中一些透过硅衬底而不耦合并进入输入耦合器。 由全息光栅组成的输入耦合器产生全息偏振分束器的光束入射角。 通过在满足布拉格（布拉格）条件（第一衍射）的角度通过偏振分束器传输的输入耦合器P波，和（零阶衍射）中，s波衍射光束的衍射。 由偏振光分开的两个光束被棱镜透射并分开，并且由光电二极管检测空间分离的光束。

公开(公告)号：KR100598571B1

公开(公告)日：2006-07-13

申请号：KR1020040015074

申请日：2004-03-05

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 류호준 ,  서동우 ,  박용우 ,  백문철 ,  표현봉

IPC: G11B7/22

Abstract: 본 발명은 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것으로, 특히 광도파로인 코아를 형성한 후, 형성된 코아의 일측면에 기판과 평행하게 입사된 광이 코아와 수직방향으로 전환되도록 그 내부에 일정크기의 결함을 갖는 광자결정을 형성함으로써, 모바일 기기등에 사용되도록 초경량, 초박형 광픽업헤드를 용이하게 구성할 수 있는 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 광자결정을 이용한 광픽업헤드의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부 클래드층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부 클래드층의 상부에 코아를 형성하는 단계; 및 (c) 상기 코아의 일측면에 나노 크기를 갖는 다수의 격자로 구성된 광자결정을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
광픽업헤드(Optical pick-up head), 기판, 코아(Core), 광자결정(Photonic Crystal)

公开(公告)号：KR100516919B1

公开(公告)日：2005-09-27

申请号：KR1020030047637

申请日：2003-07-12

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  손영준 ,  백문철 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉

IPC: G02B6/12

Abstract: 본 발명은 광 커플링 효율(coupling efficiency)을 향상시킬 수 있는 광 도파로 격자 렌즈(Focusing waveguide grating coupler, FWGC) 및 이를 이용한 광 픽업 헤드(optical pickup head)에 관한 것으로, 평면 도파로(planar waveguide), 단일 빔 출력 도파로 격자 커플러(waveguide grating for one-beam coupling), 프레넬(Fresnel) 격자 렌즈로 구성된다. 평면 도파로를 통해 도파되는 단일 모드(single mode)가 단일 빔 출력 도파로 격자 커플러에 의해 기판 클래딩(substrate cladding) 쪽으로 커플링된다. 모드로부터 빠져 나온 빔은 모드 진행 방향의 반대쪽과 기판을 향하여 전파하다가 반사형 프레넬 렌즈에 의해 회절되어 상부 클래딩(over cladding) 밖으로 빠져 나오면서 초점으로 모인다. 기존의 광 도파로 격자 렌즈가 클래딩 쪽과 기판 쪽으로 각각 50%의 커플링 효율을 갖는 반면, 본 발명의 광 도파로 격자 렌즈는 단일 출력빔을 만들어내므로 50% 이상의 커플링 효율을 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR1020050065901A

公开(公告)日：2005-06-30

申请号：KR1020030097063

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 백문철 ,  손영준 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉 ,  박용우

IPC: G02B6/34

CPC classification number: G11B7/1353 ,  G02B6/124

Abstract: 본 발명은 평면 격자렌즈에 관한 것으로, 기판 위에 형성된 클래드층 및 코어층을 포함하여 구성되며 입사되는 레이저 광을 단일모드로 유지하는 광도파로와, 코어층 상부의 일정영역에 소정 길이의 격자 간격을 갖도록 형성되는 격자렌즈를 구비하되, 광도파로로 입사된 광은 격자렌즈의 수직방향으로 초점을 형성하도록 구성한다. 본 평면 격자렌즈를 이용하면, 모바일 광디스크 용 초소형 픽업 헤드에 사용할 수 있도록 한다.

公开(公告)号：KR1020050063641A

公开(公告)日：2005-06-28

申请号：KR1020040015075

申请日：2004-03-05

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 류호준 ,  서동우 ,  백문철 ,  표현봉 ,  박용우

IPC: G11B11/105

Abstract: 본 발명은 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법에 관한 것으로, 특히 광자기 매체를 성형하기 위한 평활한 기판과 그의 상부에 일정하고 규칙적인 블록 코폴리머로 형성된 나노 패턴을 마스크로 하여 광자기 기록층을 형성함으로써, 광자기 매체의 기록밀도가 향상됨과 더불어 재생신호의 품질을 더욱 향상시킬 수 있는 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법에 대한 것이다.
본 발명의 블록 코폴리머를 이용한 광자기 매체의 제조방법은, (a) 기판의 상부에 하부층을 형성하는 단계; (b) 상기 하부층의 상부에 광자기 기록층을 형성하는 단계; (c) 상기 광자기 기록층의 상부에 일정한 두께로 블록 코폴리머층을 형성하는 단계; 및 (d) 식각공정을 통하여 나노 크기를 갖는 일정하고 규칙적인 패턴을 갖도록 패턴닝된 광자기 기록층을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.

公开(公告)号：KR1020050055206A

公开(公告)日：2005-06-13

申请号：KR1020030088261

申请日：2003-12-05

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 백문철 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉 ,  박용우

IPC: G02B3/00

CPC classification number: G11B7/263 ,  B29C59/022 ,  B29C2059/023 ,  B29D17/005 ,  B29L2011/00 ,  G02B5/1809 ,  G11B7/261

Abstract: 본 발명은 모바일 광 디스크용 초소형 픽업 헤드에 사용할 수 있는 마이크로 격자렌즈의 제작 방법에 관한 것으로, 전자선 묘화법으로 금형 마스터를 제작하고, 금형 마스터를 이용하여 반전 복제물인 스탬퍼를 가공한다. 그리고 상기 스탬퍼를 이용한 압착 및 이방성 식각 공정으로 실리콘 질화막 등에 격자렌즈를 가공한다. 따라서 본 발명을 적용하면 간단한 공정과 적은 비용으로 픽업 헤드의 무게와 부피를 크게 줄일 수 있으며, 대량 생산이 가능하고, 반도체 칩 크기의 격자렌즈 제작이 가능해진다.