公开(公告)号：KR100584703B1

公开(公告)日：2006-05-30

申请号：KR1020030097063

申请日：2003-12-26

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 백문철 ,  손영준 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉 ,  박용우

IPC: G02B6/34

CPC classification number: G11B7/1353 ,  G02B6/124

Abstract: 본 발명은 평면 격자렌즈에 관한 것으로, 기판 위에 형성된 클래드층 및 코어층을 포함하여 구성되며 입사되는 레이저 광을 단일모드로 유지하는 광도파로와, 코어층 상부의 일정영역에 소정 길이의 격자 간격을 갖도록 형성되는 격자렌즈를 구비하되, 광도파로로 입사된 광은 격자렌즈의 수직방향으로 초점을 형성하도록 구성한다. 본 평면 격자렌즈를 이용하면, 모바일 광디스크 용 초소형 픽업 헤드에 사용할 수 있도록 한다.
모바일 광디스크, 초소형 격자렌즈, 단파장 레이저, 광픽업 헤드, 광도파로

公开(公告)号：KR100499252B1

公开(公告)日：2005-07-07

申请号：KR1020020080550

申请日：2002-12-17

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 서동우 ,  류호준 ,  손영준 ,  박용우 ,  백문철

IPC: G11B11/10

CPC classification number: G11B11/10582 ,  G11B11/10584 ,  G11B11/10591

Abstract: 본 발명에 따른 서브층을 구비한 광자기 기록매체의 기록층은, 정보가 기록되고 저장되는 기록층; 및 상기 기록층의 상부 또는 하부에 천이금속을 포함한 합금으로 형성된 서브층; 을 포함하되, 상기 서브층의 자기 이방성 에너지가 상기 기록층에 교환 결합됨으로써 상기 기록층의 보자력이 향상되는 것을 특징으로 한다. 상기 서브층은 하나의 층으로 이루어진 단일 박막 구조를 구비할 수도 있으며, 필요에 따라 복수개의 층으로 형성된 다중 박막(multilayer) 구조를 구비할 수 도 있다. 보다 바람직하게는 상기 서브층은 상기 기록층에 사용된 천이 금속을 포함하는 합금으로 이루어진다. 본 발명에 따르면, 기록층과 이에 인접한 서브층 사이의 교환 결합 효과에 의해 기록층의 보자력이 증가됨으로써, 기록층 자구의 안정성이 향상되므로, 자구의 크기를 크게 줄일 수 있어서, 기록밀도의 향상이 가능하다.

公开(公告)号：KR1020050006304A

公开(公告)日：2005-01-17

申请号：KR1020030045987

申请日：2003-07-08

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  손영준 ,  백문철 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉

IPC: G02B6/28

CPC classification number: G02B6/34 ,  G02B6/122 ,  G02B6/124

Abstract: PURPOSE: A high efficiency optical coupler by using a leakage mode is provided to manufacture an optical coupler having a high coupling efficiency by using a relatively simple process. CONSTITUTION: A high efficiency optical coupler by using a leakage mode includes a substrate(61), a first core layer(62a), a second core layer(62b), a first clad layer(63), a second clad layer(64) and a Fresnel lens(69). The substrate has a first refractive index(n1). The first core layer having a second refractive index(n2) is formed on the substrate. The second core layer having a third refractive index(n3) is formed on top of the first core layer with spacing from the first core layer by a distance(d). The first clad layer having a fourth refractive index(n4) is placed on the second core layer. The second clad layer is inserted between the first core layer and the second core layer. And, the Fresnel lens is formed on the second clad layer.

Abstract translation: 目的：通过使用泄漏模式提供高效光耦合器，通过使用相对简单的工艺制造具有高耦合效率的光耦合器。 构成：通过使用泄漏模式的高效率光耦合器包括基板（61），第一芯层（62a），第二芯层（62b），第一覆盖层（63），第二覆盖层（64） 和菲涅尔透镜（69）。 基板具有第一折射率（n1）。 在基板上形成具有第二折射率（n2）的第一芯层。 具有第三折射率（n3）的第二芯层形成在第一芯层的顶部上，与第一芯层间隔距离（d）。 具有第四折射率（n4）的第一覆盖层被放置在第二芯层上。 第二覆层被插入在第一芯层和第二芯层之间。 并且，菲涅尔透镜形成在第二覆盖层上。

公开(公告)号：KR1020030056573A

公开(公告)日：2003-07-04

申请号：KR1020010086835

申请日：2001-12-28

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 손영준 ,  한기평 ,  김약연 ,  김태엽 ,  백문철 ,  조경익

IPC: G01B11/26

CPC classification number: G01B11/26

Abstract: PURPOSE: A measuring apparatus for a slant angle of a SIL(Solid Immersion Lens) is provided to prevent a focal signal from generating error by measuring a slant degree of the SIL quantitatively with a principle of a collimator. CONSTITUTION: A measuring apparatus for a slant angle of a SIL(Solid Immersion Lens,211) comprises a light generating device(201), a first condenser(203) and a position sensing device(210). The light generating device generates light when projecting to the SIL formed like a hemisphere. The first condenser collects light reflected from a specular surface(208) on a lower portion of the SIL. The position sensing device measures a slant of the SIL according to a focus collected by the first condenser. A light divider(202) is included to project light generated from the light generating device to the first condenser and to progress light horizontally inside the SIL. Therefore, the focus of the SIL is formed correctly by measuring the slant of the SIL and compensating the slant with measured value.

Abstract translation: 目的：提供用于SIL（固体浸没透镜）的倾斜角的测量装置，以通过用准直器的原理定量测量SIL的倾斜度来防止焦点信号产生误差。 构造：用于SIL（固体浸没透镜211）的倾斜角度的测量装置包括发光装置（201），第一冷凝器（203）和位置感测装置（210）。 当投射到如半球形状的SIL时，发光装置产生光。 第一冷凝器收集从SIL的下部的镜面（208）反射的光。 位置检测装置根据由第一冷凝器收集的焦点测量SIL的倾斜度。 包括分光器（202）以将从发光装置产生的光投射到第一冷凝器，并在SIL内水平地进行光。 因此，通过测量SIL的斜度并用测量值补偿斜面，SIL的重点正确形成。

公开(公告)号：KR1020010076618A

公开(公告)日：2001-08-16

申请号：KR1020000003869

申请日：2000-01-27

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 한기평 ,  손영준 ,  백문철 ,  조경익

IPC: G11B7/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G11B7/122 ,  G11B7/1387 ,  G11B7/14 ,  G11B15/62 ,  G11B15/64

Abstract: PURPOSE: A multi optical recording device is provided to increase a recording speed and a transferring speed according to number of focuses through recording/reproducing information on multiple tracks. CONSTITUTION: A beam progresses from a multi light source a suspension(120) by passing through a beam splitter and an optical waveguide(160). Then, the beam is transferred to an optical probe. A reflected beam progresses to an optical detector by passing through the optical waveguide and the beam splitter. Herein, the suspension is rotated centering upon a rotating shaft to connect information. A flying head body(171) is attached at an end of the suspension. Herein, the flying head is formed by a reflecting mirror(172), lenses(173,174) for concentrating beam reflected on the reflecting mirror, and an SIL(Solid Immersion Lens)(175) forming focuses of beam passed from the lenses.

Abstract translation: 目的：提供一种多光记录装置，通过在多个轨迹上记录/再现信息，根据焦点的数量增加记录速度和传送速度。 构成：光束通过穿过分束器和光波导（160）从多光源进入悬架（120）。 然后，将光束传送到光学探针。 反射光束通过光波导和分束器前进到光学检测器。 这里，悬架以旋转轴为中心旋转以连接信息。 悬挂头的一端附接有飞头体（171）。 这里，飞头由反射镜（172），用于集中反射在反射镜上的光束的透镜（173,174）和形成从透镜通过的光束的光束（Solid Immersion Lens）（175）形成。

公开(公告)号：KR100268177B1

公开(公告)日：2000-11-01

申请号：KR1019980023758

申请日：1998-06-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 손영준 ,  김도훈 ,  정해빈 ,  박흥옥 ,  김보우

IPC: H01L21/027

Abstract: 본 발명은 반도체 소자용 노광장비에서 레티클 또는 웨이퍼의 정렬마크를 조사하는 정렬광에 대하여 정렬마크를 상대적으로 이동시켜 레티클 또는 웨이퍼를 원하는 위치에 정렬시키는 방법에 있어서, 정렬광이 상대적으로 이동하는 방향의 중심선을 기준으로 위쪽과 아래쪽으로 치우치면서 정렬광 이동 방향으로 일정한 거리를 두고 정렬마크를 배치하여, 정렬마크에 대하여 정렬광이 상대적으로 이동할 때 시간적으로 차이를 갖는 두 개 이상의 정렬신호를 얻고, 정렬신호들의 상대적인 강도와 정렬신호들 사이의 시간 간격을 이용하여 레티클 또는 웨이퍼의 상대적인 위치를 정렬해주는 정렬마크의 형태와 방법을 제안한다. 본 발명의 정렬마크 및 정렬방법을 이용하면 정렬광의 이동 방향의 위치 정렬 뿐만 아니라 정렬광 이동 방향에 수직인 방향의 위치 정렬 및 회전에 대한 위치 정렬도 가능하며 정렬을 위한 방향도 검출할 수 있다.

公开(公告)号：KR100248394B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019970072632

申请日：1997-12-23

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 김도훈 ,  손영준 ,  권진혁 ,  정해빈 ,  김보우

IPC: G03H1/22

Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제작을 위한 스텝퍼나 스캐너의 TTL 정렬 장치에 있어서 내부 전반사형 홀로그래피(total internal reflection holography) 방식에 의한 위상공액파(phase conjugate wave)를 발생시켜 색수차를 보정하는 TTL 정렬을 수행하는 장치에 관한 것이다. 홀로그래피 방법 가운데 특히 내부 전반사형 홀로그래피는 구조가 간단하여 정렬계 구성에 있어서 유리하며 참조광이 광학계에 미치는 영향이 없으므로 반도체 노광장비의 투영광학계에 대한 영향이 적다는 장점이 있다. 이러한 기술을 근거로 하여 ArF 엑시머 레이저의 광을 노광 광원으로 사용하는 웨이퍼 스텝퍼에서 레티클과 웨이퍼의 위치를 직접 정렬하도록 하는 것으로 노광광원에 의한 마스크의 패턴을 굴절되도록 하는 입사 굴절광학계(102)와 반사경(103) 및 편광 빛 분할기(104)와; 상기 패턴을 웨이퍼로 축소 투영시키는 오목 반사경(105)과 출사 광학계(106)와; 아르곤 레이저(110)의 광원으로 부터 파이버를 통해 입사되는 TTL 정렬수단과; 상기 TTL 정렬수단에 의해 반사-굴절 시스템 내로 투영되는 정렬광(111)은 웨이퍼 정렬광(112)과 레티클 정렬광(114)으로 나뉘어져서 각각 레티클(108)과 웨이퍼(107)로 투영되도록 하는 편광 빛 분할기(104)와; 상기 아르곤 레이저(110)로 부터 내부 전반사형 홀로그래픽 TTL 정렬수단까지 정렬광을 전달하도록 하는 단일모드 파이버(202)로 구성되며, 상기 TTL 정렬수단은 내부 전반사형 홀로그램 정렬계(200)를 이용하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100546773B1

公开(公告)日：2006-01-26

申请号：KR1020030064719

申请日：2003-09-18

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  표현봉 ,  서동우 ,  손영준 ,  류호준 ,  백문철

IPC: G02B6/122

CPC classification number: G11B11/10543 ,  B82Y20/00 ,  G02B6/1226 ,  G11B7/124

Abstract: 누설 플라즈몬 모드 커플러 및 이를 이용한 광자기 픽업 헤드용 편광 측정 모듈을 개시한다. 본 발명의 누설 플라즈몬 모드 커플러는 평판 도파로와 누설 플라즈몬 모드 도파로가 클래드층을 사이에 공유하면서 집적된 것이다. 본 발명의 편광 측정 모듈은 상기 누설 플라즈몬 모드 커플러의 상부에 제1 포토 다이오드를, 상기 평판 도파로의 출력단에 제2 포토 다이오드를 마련한 것이다. 평판 도파로를 통해 진행하는 도파 모드 중 TM 모드는 상기 누설 플라즈몬 모드 커플러를 통해 누설 플라즈몬 모드로 커플링되고 상기 누설 플라즈몬 모드 커플러를 따라 진행하면서 지속적으로 상기 제1 포토 다이오드 쪽으로 광 파워를 전달해 준다. 따라서, 모든 TM 모드 파워는 제1 포토 다이오드에 의해 검출되고, 커플링되지 못한 모든 TE 모드 파워는 제2 포토 다이오드에 의해 검출된다. TM 모드와 TE 모드가 효과적으로 분리되고, 파워의 차이로부터 편광 각도를 측정할 수 있다.

公开(公告)号：KR100526679B1

公开(公告)日：2005-11-08

申请号：KR1020030048178

申请日：2003-07-15

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  백문철 ,  서동우 ,  류호준 ,  손영준 ,  표현봉

IPC: G02B6/12

Abstract: 본 발명은 광 커플링 효율(coupling efficiency)을 향상시킬 수 있는 광 도파로 격자 렌즈(Focusing waveguide grating coupler, FWGC)에 관한 것으로, 평면 도파로(planar waveguide), 경사진 격자(slanted grating), 프레넬 격자 렌즈(Fresnel lens)로 구성된다. 평면 도파로를 통해 도파되는 단일 모드(single mode)가 경사진 격자를 만나면서 브래그(Bragg) 조건을 만족하는 전파상수를 갖고 상부 클래딩(over cladding) 쪽으로 출력빔을 발생시킨다. 모드로부터 빠져 나온 빔은 프레넬 격자 렌즈에 의해 회절되어 클래딩 밖으로 빠져 나오면서 초점으로 모인다. 기존의 도파로 격자 렌즈가 클래딩 쪽과 기판 쪽으로 각각 50%의 커플링 효율을 갖는 반면, 본 발명에서 제안하는 광 도파로 격자 렌즈는 광 커플링 방향이 클래딩 쪽으로만 이루어지므로 50% 이상의 커플링 효율을 얻을 수 있다. 본 발명에서는 안정적이고 견고한 광민감성(photosensitivity) 유리에 광 각인(photo-imprinting) 방법으로 경사진 격자를 형성한다.

公开(公告)号：KR100518030B1

公开(公告)日：2005-10-04

申请号：KR1020030045987

申请日：2003-07-08

Applicant: 한국전자통신연구원

Inventor： 박용우 ,  손영준 ,  백문철 ,  서동우 ,  류호준 ,  표현봉

IPC: G02B6/28

CPC classification number: G02B6/34 ,  G02B6/122 ,  G02B6/124

Abstract: 본 발명은 제조 공정의 부담을 줄이면서도 단일 출력빔을 구현할 수 있는 누설모드를 이용한 광 커플러를 제공하기 위한 것으로, 이를 위해 본 발명은, 제1굴절율(n1)을 갖는 기판; 상기 기판 상에 배치된 제2굴절율(n2)의 제1코어층; 상기 제1코어층과 간격(d)를 갖고 이격되어 상기 제1코어층 상부에 배치된 제3굴절율(n3)의 제2코어층; 상기 제2코어층 상에 배치된 제4굴절율(n4)의 제1클래드층; 상기 제1클래드층 상에 배치되고, 상기 제1코어층과 상기 제2코어층 사이에 확장되어 게재된 제5굴절율(n5)의 제2클래드층; 및 상기 제2클래드층 상에 배치된 프레넬 렌즈를 포함하며, 상기 각 굴절율이 n5＞(n2, n3)＞n1 및 n5＞n4의 조건을 만족하고, 상기 제1코어층 및 상기 제2코어층을 통해 입사된 광이 상기 조건에 형성된 누설모드에 의해 상기 프레넬 렌즈에 누설빔으로 입사하며, 상기 누설빔은 상기 프레넬 격자에 의해 반사된 빔에 의해 상기 기판 하부로의 단일 방향 커플링을 이루어 광초점을 형성하는 것을 특징으로 하는 누설모드를 이용한 광 커플러를 제공한다.