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公开(公告)号:KR1020160063977A
公开(公告)日:2016-06-07
申请号:KR1020150153791
申请日:2015-11-03
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은펄스폭 확장기및 그를포함하는처프펄스증폭장치를개시한다. 그의확장기는제 1 및제 2 다중반사미러들과, 상기제 1 및제 2 다중반사미러들사이에배치되고, 펄스레이저빔을굴절시켜펄스레이저빔의펄스폭을확장시키는군지연분산블록을포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明公开了一种脉宽展宽器和包括该脉宽拉伸器的啁啾脉冲放大器。 脉宽拉伸器可以包括第一和第二多反射镜以及布置在第一和第二多反射镜之间的脉冲群延迟色散块,并且折射脉冲激光束以延伸脉冲激光束的脉冲宽度。 因此,空间效率可以最大化。
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公开(公告)号:KR1020130125155A
公开(公告)日:2013-11-18
申请号:KR1020120048691
申请日:2012-05-08
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01J27/24 , G02B27/286
Abstract: A device for generating a proton beam is disclosed. The device for generating the proton beam includes a laser system providing a laser pulse; a target generating the proton beam with the laser pulse; and a phased conversion plate polarizing the laser pulse between the target and a light source with a spiral circle. [Reference numerals] (100) Laser system;(200) Phase conversion plate;(300) Target
Abstract translation: 公开了一种用于产生质子束的装置。 用于产生质子束的装置包括提供激光脉冲的激光系统; 用激光脉冲产生质子束的目标; 以及相位转换板,使靶与光源之间的激光脉冲以螺旋圆偏振。 (附图标记)(100)激光系统;(200)相变板;(300)靶
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公开(公告)号:KR1020150107573A
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:KR1020140153477
申请日:2014-11-06
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: H05H13/00
CPC classification number: H05H7/06 , H05H9/00 , H05H13/04 , H05H2007/082 , H05H2277/10 , H05H2277/12
Abstract: 본 발명은 이온 소오스를 개시한다. 본 발명의 이온 소오스는 하전 입자들을 생성하는 이온 발생부와, 상기 이온 소스에서 생성된 상기 하전 입자들을 가속하는 싱크로트론과, 상기 싱크로트론과 상기 이온 소스 사이에 배치된 선형 가속기를 포함한다. 여기서, 상기 이온 소스는 상기 선형 가속기의 방향으로 레이저 빔을 제공하는 레이저 장치와, 상기 레이저 장치와 상기 선형 가속기 사이에 배치되고, 상기 레이저 빔으로부터 상기 하전 입자들을 생성하여 상기 하전 입자들을 상기 레이저 빔과 동일한 방향으로 제공하는 타겟을 포함할 수 있다.
Abstract translation: 公开了一种离子源。 根据本发明的离子源包括产生带电粒子的离子发生器,加速在离子源中产生的带电粒子的同步加速器和布置在同步加速器和离子源之间的直线加速器。 离子源包括向激光束提供激光束的激光装置和布置在激光装置和线性加速器之间的靶,从激光束产生带电粒子,并将带电粒子以与 激光束。
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公开(公告)号:KR1020150085639A
公开(公告)日:2015-07-24
申请号:KR1020140005528
申请日:2014-01-16
Applicant: 한국전자통신연구원
IPC: G03F1/26 , H01L21/027
CPC classification number: C23C14/044 , C23C14/30
Abstract: 본발명은위상변환마스크의제조장치에관한것으로, 전자빔을소스에집속시켜이온들을형성한후, 이온들이위상변환조절부를통과하여웨이퍼상에증착되는장치로써, 웨이퍼상에증착된위상변환마스크는회전방향에따라점진적으로두께가증가하며, 위상변환마스크에레이저빔을공급하면위상이변환된광 보텍스빔을생성할수 있는위상변환마스크의제조장치를제공한다. 본발명의실시예에따른위상변환마스크의제조장치는전자빔을소스에집속시켜이온들을발생시키는전자빔발생부및 상기이온들이통과하되, 웨이퍼의회전방향에따라상기이온들의증착정도를조절하는위상변환마스크조절부를포함할수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造相移掩模的装置,更具体地说,涉及一种用于制造相移掩模的装置,其将电子束聚集到源上,从而形成离子,并使离子沉积在晶片上后 离子通过相移控制部分,其中允许所提供的用于制造相移掩模的装置基于旋转方向增加沉积在晶片上的相移掩模的厚度,并且当激光束被提供给 相移掩模,其中本发明的装置包括在源极处聚集电子束以产生离子的电子束产生部分; 以及相移掩模控制部,其在通过离子的同时基于晶片的旋转方向来控制离子沉积的水平。
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公开(公告)号:KR1020140115587A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:KR1020130030282
申请日:2013-03-21
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: G01M11/0207 , G01B11/0608
Abstract: Disclosed is a laser beam height aligning device aligning laser beams at a desirable height to be accurate and parallel. The laser beam height aligning device includes a supporter; a measuring ruler body formed on the supporter and including markings marked in the vertical direction on the supporter and guide rails vertically extended along the markings; an adjuster connector formed to be vertically moved along the guide rails; and an adjuster connected to the adjuster connector and including an opening where laser beams can penetrate through.
Abstract translation: 公开了一种激光束高度对准装置,将激光束以期望的高度对准以准确和平行。 激光束高度对准装置包括支撑件; 形成在支架上的测量尺体,包括在支架上沿垂直方向标记的标记和沿着标记垂直延伸的导轨; 调节器连接器,其被形成为沿着导轨垂直移动; 以及调节器,其连接到调节器连接器并且包括激光束可以穿透的开口。
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公开(公告)号:KR1020140044601A
公开(公告)日:2014-04-15
申请号:KR1020120110764
申请日:2012-10-05
Applicant: 한국전자통신연구원
CPC classification number: H01S3/08004 , H01S3/06737 , H01S3/08009 , H01S5/041
Abstract: The present invention relates to a high power pulsed laser device. The high power pulsed laser device of the present invention generates a pump beam for collecting dust, includes at least two pump lasers and at least two gain mediums corresponding to the pump beam, and includes a resonator which outputs a laser pulse which passes through the two gain mediums. [Reference numerals] (212,211) Pump laser
Abstract translation: 本发明涉及一种高功率脉冲激光装置。 本发明的大功率脉冲激光装置产生用于收集灰尘的泵浦光束,包括至少两个泵激光器和对应于泵浦光束的至少两个增益介质,并且包括输出激光脉冲的谐振器,该激光脉冲穿过两个 获得媒体。 (参考号)(212,211)泵浦激光
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公开(公告)号:KR101829298B1
公开(公告)日:2018-02-19
申请号:KR1020160148243
申请日:2016-11-08
IPC: A61N5/10
CPC classification number: A61N5/1077 , A61N5/1001 , A61N5/1042 , A61N5/1048 , A61N5/1079 , A61N5/1084 , A61N2005/1022 , A61N2005/105 , A61N2005/1088 , A61N2005/1089
Abstract: 본발명은레이저기반양성자빔과전자빔을집속하고조사하여인체내부암세포와주변조직을이중으로치료하는암치료장치에관한것으로, 하나의타겟으로변수를조절하면서양성자빔과전자빔을발생시킬수도있고, 혹은각각의타겟을이용한이중타겟기술을사용할수도있으며, 브래그피크(Bragg peak) 특성이뛰어난양상자를이용하여깊은위치에존재하는암의중심부를치료하고전자빔을이용하여주변부를치료하는복합치료가가능하다.
Abstract translation: 本发明可产生的质子束,并且,通过调节变量作为用于双治疗与人体癌细胞内部,并通过聚焦基于激光的质子束周围组织和电子束的癌症治疗设备的目标照射的电子束, 或者,可以使用使用单个靶标的双靶点,联合治疗可用于治疗深部癌症的中心部位,并用电子束治疗外周,使用优良的布拉格峰 我会的。
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公开(公告)号:KR1020160139726A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:KR1020150075117
申请日:2015-05-28
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 본발명은 X-선출력장치를제공한다. X-선출력장치는레이저를출력하는레이저장치및 상기레이저가집속되는매질이제공되는집속부를포함하고, 상기레이저의집속에의해상기매질은이온화되고, 상기레이저가집속및 확산되는레이저필라멘테이션현상에의해상기매질의전자들이가속운동을하여서로평행한복수개의 X-선들이출력된다.
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公开(公告)号:KR1020160108811A
公开(公告)日:2016-09-20
申请号:KR1020160005586
申请日:2016-01-15
Applicant: 한국전자통신연구원
Abstract: 하전입자발생장치는집광부를통하여타겟에레이저빔을조사하는광원부, 타겟의변형을감지하는감지부, 타겟상에타겟의물질과동일한물질을적층하는타겟복원부, 및감지부가감지한타겟의변형에대한정보를이용하여, 타겟복원부가타겟의변형부분을복구하도록제어하는제어부를포함한다.
Abstract translation: 一种用于产生带电粒子的装置包括:用于通过冷凝单元用激光束照射靶的光源单元; 感测单元,用于感测目标的变形; 目标恢复单元,用于在目标上层压与目标材料相同的材料; 以及控制单元,用于通过使用由感测单元感测的目标的变形信息来控制目标恢复单元来恢复目标的变形部分。
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