전자 빔 생성기, 그를 포함하는 이미지 장치, 및 광학 장치
    1.
    发明公开
    전자 빔 생성기, 그를 포함하는 이미지 장치, 및 광학 장치 审中-实审
    电子束发生器,包括其的图像装置和光学装置

    公开(公告)号:KR1020160108810A

    公开(公告)日:2016-09-20

    申请号:KR1020160004357

    申请日:2016-01-13

    Abstract: 본발명은전자빔 생성기, 그를포함하는이미지장치및 광학장치를포함할수 있다. 광학장치는기판에제 1 및제 2 레이저빔들을제공하는제 1 및제 2 레이저장치들과, 상기제 1 및제 2 레이저장치들과상기기판사이에제공되고, 상기제 1 및제 2 레이저빔들을포커스하는제 1 광학계를포함한다. 제 1 및제 2 레이저빔들은서로중첩되어간섭빔을생성하여, 초점에서간섭빔의스팟사이즈를제 1 및제 2 레이저빔들각각의파장보다작게감소시킨다.

    Abstract translation: 本发明可以包括电子束发生器,包括该电子束发生器的图像装置和光学装置。 该光学装置包括向衬底提供第一和第二激光束的第一和第二激光器件,以及设置在衬底与第一和第二激光器件之间并且聚焦第一和第二激光束的第一光学系统。 第一和第二激光束彼此重叠以产生干涉光束,并且减小干涉光束在焦点上的光斑尺寸,使得干涉光束的光点尺寸可以小于第一和第二激光束的波长 第二梁。

    하전 입자 발생 장치
    3.
    发明公开
    하전 입자 발생 장치 审中-实审
    用于产生充电颗粒的装置

    公开(公告)号:KR1020160108811A

    公开(公告)日:2016-09-20

    申请号:KR1020160005586

    申请日:2016-01-15

    Abstract: 하전입자발생장치는집광부를통하여타겟에레이저빔을조사하는광원부, 타겟의변형을감지하는감지부, 타겟상에타겟의물질과동일한물질을적층하는타겟복원부, 및감지부가감지한타겟의변형에대한정보를이용하여, 타겟복원부가타겟의변형부분을복구하도록제어하는제어부를포함한다.

    Abstract translation: 一种用于产生带电粒子的装置包括:用于通过冷凝单元用激光束照射靶的光源单元; 感测单元,用于感测目标的变形; 目标恢复单元,用于在目标上层压与目标材料相同的材料; 以及控制单元,用于通过使用由感测单元感测的目标的变形信息来控制目标恢复单元来恢复目标的变形部分。

    하전 입자 검출 장치
    4.
    发明公开
    하전 입자 검출 장치 审中-实审
    带电粒子检测器

    公开(公告)号:KR1020170124687A

    公开(公告)日:2017-11-13

    申请号:KR1020160054260

    申请日:2016-05-02

    Abstract: 본발명은하전입자검출장치에관한것이다. 본발명의입사된하전입자빔을분광하기위한분광기; 상기분광된하전입자빔에포함된하전입자를검출하기위한복수의하전입자검출기들; 상기복수의하전입자검출기들을이동시키기위한구동유닛; 상기분광기로입사되는상기하전입자빔의감지하기위한전하감지유닛; 및상기전하감지유닛에서감지한상기하전입자빔의정보를이용하여, 상기복수의하전입자검출기들의각각이상기분광된하전입자빔의경로상에배치되도록상기구동유닛을제어하는컨트롤러를포함한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种电流颗粒检测器。 本发明的入射带电粒子束的分光镜分光镜; 多个带电粒子检测器,用于检测包括在分光带电粒子束中的带电粒子; 驱动单元,用于移动所述多个带电粒子检测器; 电荷感测单元,用于感测入射在分光器上的带电粒子束; 和使用检测到的带电粒子束Hansang几何在读出放大器单元,以及用于控制所述驱动单元,以便被布置在每个所述多个带电粒子检测器的带电粒子束分光移相器的路径上的控制器的信息。

    레이저를 이용한 X선 발생 방법
    5.
    发明公开
    레이저를 이용한 X선 발생 방법 审中-实审
    使用激光产生X射线的方法

    公开(公告)号:KR1020160101659A

    公开(公告)日:2016-08-25

    申请号:KR1020160005574

    申请日:2016-01-15

    Inventor: 정문연 김진선

    Abstract: 레이저를이용한 X선발생방법은챔버내에양성자들을제공하는것, 양성자들에레이저를조사하여, 양성자들을밀집시키는것, 및밀집된양성자들을향해전자빔을방출하는것을포함하되, 레이저는수 펨토초(fs) 내지수백피코초(ps) 펄스(pulse) 레이저이다.

    Abstract translation: 使用激光的X射线产生方法包括以下步骤:将质子提供到腔室中; 向质子照射激光使质子密集; 并向致密质子发射电子束。 激光器是几毫秒(fs)到几百微微秒(ps)脉冲激光器。 因此,X射线产生方法提供具有高能量的X射线。

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