公开(公告)号：KR101825461B1

公开(公告)日：2018-02-06

申请号：KR1020160136445

申请日：2016-10-20

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김태완 ,  강상우 ,  김용규 ,  권수용

IPC: H01L21/66 ,  H01L35/02 ,  H01L35/32 ,  H01L35/12 ,  H01L21/683 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L22/14 ,  H01L21/02 ,  H01L21/6835 ,  H01L22/30 ,  H01L35/02 ,  H01L35/12 ,  H01L35/32 ,  H02N11/002

Abstract: 본발명은웨이퍼(10) 상에열전부(20)가설치되어웨이퍼(10)의가장자리와중심의온도차에의해열전부(20)를통하여전력을얻는온-웨이퍼전력공급장치(1)에관한것으로서, 열전부(20)는다른열전특성을갖는제1물질층(21)과제2물질층(22)이옆으로교번하여배치되면서서로직렬적으로연결되어이루어지고, 제1물질층(21)과제2물질층(22)의연결접점들(23)이웨이퍼(10) 내에서안쪽과바깥쪽에교번해가면서위치하도록배치되어열전부(20)가구불구불한형상을하는것을특징으로한다. 본발명에의하면, 웨이퍼(10) 상에서로다른열전특성을갖는물질을설치하여전력을얻기때문에배터리없이도동력원(예컨대무선통신동력원)을얻을수 있을뿐만아니라높은온도환경에서도이러한동력원의획득이가능하다는장점이있다.

Abstract translation: 本发明开放部（20），设定值被接通，以获得通过所述边缘的断开部分（20）和功率晶片10的在晶片电源晶片（10）上的中心温度（1） 如，开口部（20）具有第一材料层（21）挑战第二材料层22，如交替布置到yiyeop由串联连接到彼此时，第一材料层21，具有不同的热特性的问题 第二材料层22，23的连接触点，晶片10被布置成在柱部将交替的向内和向外的位置（20）的特征在于，所述缠绕形状甚至家具。 根据本发明，可以以这样的电源中，不仅能够获得的优点得到动力源（例如，无线通信的电源）不带电池，而且高温环境通过安装在晶片10上具有不同的热特性，以获得功率材料 有。

公开(公告)号：KR1020160094133A

公开(公告)日：2016-08-09

申请号：KR1020150015340

申请日：2015-01-30

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 정욱철 ,  김용규

IPC: G01K15/00 ,  G01K13/02 ,  G01P5/10 ,  B64D43/02

CPC classification number: G01K15/007 ,  B64D43/02 ,  G01K13/028 ,  G01K15/005 ,  G01K2013/024 ,  G01P5/10

Abstract: 본발명은전온도센서교정장치및 이를이용한전온도센서교정방법에관한것으로, 더욱상세하게는전온도센서를비행체의속도로이동시켜전온도를측정하고, 주변대기의정온도를교정된온도계로측정함으로써, 회복계수의도출및 불확도추정이가능한전온도센서교정장치및 이를이용한전온도센서교정방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种总空气温度传感器的校准装置和使用该校准装置的总空气温度传感器的校准方法，更具体地涉及一种总空气温度传感器的校准装置和总空气温度传感器的校准方法 使用该温度传感器，通过以飞行车辆的速度移动总的空气温度传感器来测量总空气温度，并使用校准的温度计测量周围空气的恒定温度; 从而能够绘制恢复因子和估计不确定性。

公开(公告)号：KR1020150043588A

公开(公告)日：2015-04-23

申请号：KR1020130121217

申请日：2013-10-11

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김용규 ,  정욱철 ,  양인석 ,  감기술

IPC: G01K11/20 ,  G01K11/12 ,  G01J5/08 ,  F27B1/28 ,  C04B33/32

CPC classification number: G01K11/32 ,  F27B1/28 ,  G01J5/08

Abstract: 본발명은형광온도측정을이용한실시간내부온도측정방법, 측정시스템, 내부온도제어방법및 내부온도제어가가능한소성로에대한것이다. 보다상세하게는, 세라믹제품을제조하기위한소성로몸체; 상기소성로몸체에설치되며세라믹제품이적재되는적재대; 상기적재대에서로특정간격이격되어배치되며, 표면에형광체가도포된다수의트레이; 및형광체가도포된상기트레이에여기광을조사하고, 여기광조사에따라발생되는형광을수광하는광섬유를포함하여, 상기광섬유에서수광된형광의강도변화에따라소성로의내부온도를측정하는것을특징으로하는형광온도측정을이용한실시간내부온도측정장치에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种使用荧光温度测量，测量系统，内部温度控制方法和能够控制内部温度的垂直窑测量实时内部温度的方法，更具体地说，涉及一种装置 用于使用荧光温度测量来测量实时内部温度，包括：用于制造陶瓷产品的窑体; 安装在窑体中的装载平台，其中加载陶瓷产品; 多个托盘，其布置成与所述装载平台隔开预定距离，其中荧光物质涂覆在表面上; 以及在其上涂布荧光物质的托盘上照射激发光并接收根据激发光照射产生的荧光的光纤。 根据光纤中接收到的荧光的荧光强度的变化来测量窑的内部温度。

公开(公告)号：KR101508558B1

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：KR1020140090972

申请日：2014-07-18

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김용규 ,  이상욱 ,  최병일 ,  김종철 ,  우상봉 ,  김대호

IPC: G01W1/08 ,  G01W1/11

CPC classification number: G01W1/11 ,  G01W1/08 ,  H04B7/24 ,  H04W12/06

Abstract: 본발명은라디오존데의습도센서를보호하는이중캡에관한것이다. 본발명의일예와관련된라디오존데의습도센서를감싸는이중캡은고층기상관측장비인라디오존데의센서부의습도센서가위치하는부위에고정되어상기습도센서를감싸는이중캡에있어서, 상기이중캡은, 외부캡; 및상기외부캡의내부에위치하고, 상기외부캡에고정되는내부캡;을포함하고, 상기외부캡은, 상부에제 1 통기구멍; 및측면부에공기가통하도록뚫린제 1 공기순환문; 및상기공기가통하지않도록막힌제 1 벽;을포함하며, 상기내부캡은측면부에상기공기가통하도록뚫린제 2 공기순환문;을포함하고, 상기제 2 공기순환문은상기제 1 벽에대향하여위치할수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于保护无线电探空仪（高空气象设备）的湿度传感器的双盖。 根据本发明的实施例，安装在无线电探空仪传感器单元中的湿度传感器位于并包围湿度传感器的部分上的双盖包括：外盖：固定在外盖内的内盖; 其中所述外盖还包括在所述外盖的顶部上的第一通风孔，在所述外盖的一侧上的第一空气通风门和防止通风的第一壁; 并且内盖包括对应于第一壁的第二空气通风门。

公开(公告)号：KR101051348B1

公开(公告)日：2011-07-22

申请号：KR1020090063362

申请日：2009-07-13

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 최인묵 ,  우삼용 ,  김용규

IPC: G01L9/12 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/205

Abstract: 본 발명은 제 1 실리콘 웨이퍼 및 제 2 실리콘 웨이퍼 상부에 각각 제 1 실리콘카바이드 및 제 2 실리콘카바이드를 증착하는 제 1-1 단계; 제 1 실리콘카바이드 상부에 저온 실리콘 산화막을 증착하는 제 1-2 단계; 제 2 실리콘카바이드와 저온 실리콘 산화막의 접착력을 향상시키기 위해 저온 실리콘 산화막 및 제 2 실리콘카바이드의 상부에 각각 PSG를 증착하여 제 1 PSG막 및 제 2 PSG막을 형성하는 제 1-3 단계; 제 1 PSG막 및 저온 실리콘 산화막의 상부면 일측에 소정 깊이의 홈을 식각하는 제 1-4 단계; 제 1 PSG막과 제 2 PSG막이 서로 대면하도록 하여 접합하는 제 1-5 단계; 및 제 2 실리콘 웨이퍼를 식각하는 제 1-6 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전용량형 고온압력센서의 제조방법 및 이에 의해 제조된 정전용량형 고온압력센서를 구현한다.
정전용량형, 고온압력센서, 실리콘카바이드, 저온 실리콘 산화막, 복수의 홈, 식각

Abstract translation: 本发明提供了一种制造半导体器件的方法，包括：1-1阶段，分别在第一硅晶片和第二硅晶片上沉积第一碳化硅和第二碳化硅; 在第一碳化硅上沉积低温氧化硅膜的第一步骤; 为了提高第二碳化硅和低温氧化硅膜的密合性，分别在低温氧化硅膜和第二碳化硅上堆积PSG，形成第一PSG膜和第二PSG膜; 步骤1-4，在第一PSG膜和低温氧化硅膜的上表面的一侧蚀刻具有预定深度的沟槽; （1-5），将所述第一PSG膜和所述第二PSG膜接合以便彼此面对; 然后刻蚀第二硅晶片，可以实现制造电容式高温压力传感器的方法和由此制造的电容式高温压力传感器。

公开(公告)号：KR1020090052592A

公开(公告)日：2009-05-26

申请号：KR1020070119184

申请日：2007-11-21

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김용태 ,  김호철 ,  정성수 ,  김용규

IPC: G01H11/00

CPC classification number: G01H17/00 ,  B06B1/02 ,  G06F17/10

Abstract: 본 발명은 잠열을 이용한 초음파 파워 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 초음파의 파워를 측정함에 있어서 얼음이 융해되어 물로 변화되는 과정에서 생성되는 물의 질량을 측정함으로써 측정된 물의 질량 및 단위 질량당 잠열을 이용하여 초음파의 파워를 간단하게 측정할 수 있도록 하기 위한 것이다.
이를 위하여 본 발명은 전기신호를 공급받아 초음파로 변환하는 초음파 변환기; 상기 초음파 변환기에 전기신호를 공급하는 전기신호 발생부; 상승 및 하강이 가능하며, 상기 초음파 변환기가 고정되는 마운트; 상면이 개방되어 상기 초음파 변환기를 내부로 수용하면서 상기 마운트에 탈착 가능하도록 체결되며, 복수의 배수공이 형성되어 있는 혼합용기; 상기 혼합용기를 수용할 수 있는 상면에 개방된 통 형태의 단열챔버; 및 상기 단열챔버에 담긴 물의 질량을 측정하기 위한 전자저울;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
초음파, 잠열, 얼음, 물, 방사 힘 측정법

公开(公告)号：KR100874698B1

公开(公告)日：2008-12-18

申请号：KR1020070058755

申请日：2007-06-15

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 김용규 ,  양인석 ,  감기술

IPC: G01K1/12 ,  G01K1/08 ,  G01K13/00

CPC classification number: G01K1/12 ,  G01K1/143 ,  H04B7/24

Abstract: A temperature sensing apparatus is provided to protect a temperature sensing unit from thermal shock due to a abrupt temperature variation by using temperature maintaining ability of a phase change part located outside the temperature sensing apparatus. A temperature sensing apparatus includes a temperature sensing unit(10), a protective layer(20) having a phase change part(21) enveloping the temperature sensing unit and an adiabatic part(22) enveloping the phase change part, and a temperature sensor(11) connected to the temperature sensing unit and placed outside the protective layer.

Abstract translation: 提供了一种温度检测装置，通过使用位于温度检测装置外部的相变部件的温度保持能力，来保护温度感测单元免受因温度变化而引起的热冲击。 一种温度检测装置，包括温度检测单元（10），保护层（20），其具有包围温度检测单元的相变部件（21）和包围相变部件的绝热部件（22），以及温度传感器 11）连接到温度检测单元并放置在保护层外部。

公开(公告)号：KR100786626B1

公开(公告)日：2007-12-21

申请号：KR1020060098781

申请日：2006-10-11

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 양인석 ,  김용규

IPC: C01B4/00 ,  B01D59/26

CPC classification number: C01B4/00 ,  B01D59/26 ,  G01K11/00

Abstract: A hydrogen isotope removing equipment is provided to reduce the working hour substantially and reduce the cost by increasing the purity of hydrogen stored in a hydrogen cell of a thermometer correcting system and reducing the content of isotope of hydrogen, and a low temperature correction system using the same is provided to increase the correction accuracy and the correction operating efficiency. A hydrogen isotope removing equipment(100) includes: a hydrogen supply part(110) for supplying hydrogen; an isotope removing part(130) comprising a glass tube(131) and at least one hydrogen isotope removing film(132) provided within the glass tube and installed on a moving path of hydrogen supplied from the hydrogen supply part; a heating unit(140); a hydrogen collecting part(120) for collecting hydrogen gas that has passed through the isotope removing part; a connecting pipe(150) for connecting the hydrogen supply part, the isotope removing part and the hydrogen collecting part; and a plurality of control valves(151) installed on the connecting pipe.

Abstract translation: 提供氢同位素去除设备以通过提高储存在温度计校正系统的氢气池中的氢的纯度并降低氢同位素的含量来降低工作时间并降低成本，并且使用低温校正系统 提供相同的校正精度和校正操作效率。 氢同位素去除设备（100）包括：用于供应氢的氢气供应部分（110）; 包括玻璃管（131）和设置在所述玻璃管内的至少一个氢同位素去除膜（132）的同位素去除部分（130），并安装在从所述氢供应部分提供的氢的移动路径上; 加热单元（140）; 用于收集已经通过同位素去除部分的氢气的氢气收集部分（120）; 用于连接氢气供应部分，同位素去除部分和氢气收集部分的连接管道（150） 和安装在连接管上的多个控制阀（151）。

公开(公告)号：KR100572050B1

公开(公告)日：2006-04-18

申请号：KR1020040035335

申请日：2004-05-18

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 강기훈 ,  송창호 ,  김용규 ,  감기술 ,  이영희

IPC: G01K11/06

Abstract: 본 발명은 온도눈금의 기준인 물의 삼중점을 실현할 수 있는 물의 삼중점 셀에 관한 것으로, 보다 상세하게는 물의 삼중점이 실현된 셀을 보관함에 있어서, 상기 셀을 삼중점에 가장 근접한 온도로 보관할 수 있도록 한 삼중점 셀 보관방법 및 그 방법에 사용되는 보관장치에 관한 것이다.
이에 상기 삼중점 셀 보관방법은, 내부에 고순도의 물과 수증기가 충진되고 상부의 중앙에 삼중점 셀이 수납되는 우물이 형성된 보관용기를 냉각하여 결빙시킨 다음, 상기 보관용기 내부의 얼음을 일부 융화시켜 얼음기둥을 생성시키는 보관용기의 삼중점 실현단계와; 상기 삼중점 실현단계 후, 상기 보관용기 우물의 내부에 삼중점 셀을 수납하고 상기 우물의 입구를 밀폐하는 보관단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 보관방법을 제공함으로써, 셀이 사용시 정확한 측정값을 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 셀의 사용전에 추가적인 융화과정을 거칠 필요가 없으므로 신속하고 간편하게 사용할 수 있는 효과를 가진다.
삼중점, 셀, 보관용기, 단열용기, 온도계

公开(公告)号：KR1019990086110A

公开(公告)日：1999-12-15

申请号：KR1019980018905

申请日：1998-05-25

Applicant: 한국표준과학연구원

Inventor： 강기훈 ,  송창호 ,  김용규 ,  감기술

IPC: G01N31/00

Abstract: 본 발명은 기존의 화학분석 방법으로 측정시료에 함유된 아르곤 불순물을 제외한 불순물의 함량을 분석한 다음, 이 고순도 측정시료를 응고 온도 이하로 감온하였다가 다시 증온하여 녹이는 과정에서 녹은 비율에 대한 온도변화에 따른 삼중점 온도를 측정하고, 다시 고순도 측정시료의 온도를 계속 하강시켜 액체가 고체로 변하면서 일어나는 γ-β상변화에 따른 온도를 측정하여, 모든 불순물 함량을 알고 있는 기준시료와 측정시료의 온도차를 이용하여 불순물의 함량을 상대적으로 측정할 수 있는 산소삼중점 및 고체산소 γ-β 상변화를 이용한 고순도 산소에 함유된 아르곤 불순물 측정방법을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명은 이러한 측정방법을 달성하기 위하여, 진공펌프(11)를 갖는 개폐가능한 밀폐형 진공용기(10)와, 이 용기의 내부에 이중으로 장착된 제 1 및 제 2복사열 차단용기(20a,20b)와, 제 1복사열 차단용기(20a) 내부에 밀폐된 상태로 설치되어 상기 진공용기(10)의 외부로부터 시료를 공급받을 수 있도록 이루어진 시료용기(30)와, 온도측정과 가열을 할 수 있도록 상기 시료용기(30)의 주변에 설치된 온도측정수단(31) 및 가열수단(32)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 산소삼중점 및 고체산소 γ-β 상변화를 이용한 고순도 산소에 함유된 아르곤 불순물 측정방법을 이용한 저온항온조를 제공하고자 하는 것이다.