Abstract:
본 발명은 복합 촉감 생성모듈, 복합 촉감 제시방법, 그 복합 촉감 생성모듈이 구비된 마우스 및 복합촉각제시시스템에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 가상 물체의 촉각정보를 제공하기 위한 복합촉감생성모듈에 있어서, 피에조 액추에이터에 의해 고주파 진동판을 진동시켜 재질감에 대한 촉각을 제공하는 고주파 구동부; 및 상기 고주파 진동판 일면에서 전자기력에 의해 돌출 및 출몰하는 다수의 미세돌기에 의해 촉각을 제공하는 저주파 구동부;를 포함하여, 사용자에게 가상표면에 대한 미세형상, 재질감, 온열감 및 강성정도를 복합적으로 제공하여 가상물체에 대한 촉감을 생생하게 느낄 수 있도록 하는 복합촉감생성모듈에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 유연한 집적회로의 제조방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 유연한 집적회로의 제조방법에 있어서, 기판의 상부와 하부면에 증착시켜 LSN박막층을 형성하는 단계; 기판의 상부에 증착된 LSN박막층 상부로 다결정실리콘 박막층을 적어도 하나 증착시켜 단계; 다결정실리콘 박막층을 패터닝 및 식각하여 소자부를 형성하는 단계; 소자부의 경계에 다결정실리콘 박막층 및 기판의 상부에 증착된 LSN박막층을 식각하여 비아 홀을 형성하는 단계; 기판의 하부에 증착된 LSN박막층을 식각하는 단계; 상부로 보호층을 형성하는 단계; 기판 식각용액으로부터 소자부를 보호하기 위해 상부로 감광막을 코팅하는 단계; 기판을 기판식각용액에 담가 기판의 상부에 증착된 LSN박막층의 하부면이 드러날 때까지 기판을 식각하는 단계; 및 감광막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연한 집적회로 제조방법에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 정전기력을 이용한 액추에이터 및 액추에이터 패널에 관한 것으로서, 정전기력을 이용하여 질량체를 진동시킴으로써 사용자에게 간접적으로 진동감을 전달하는 정전기력을 이용한 액추에이터 및 액추에이터 패널에 관한 것이다. 이를 위해 정전기력에 의해 진동하는 질량부, 및 질량부와 대응되는 위치에 일정간격 이격 배치되어 정전기력을 발생하는 정전기력 발생부를 포함하며, 질량부에서 발생된 진동이 기 결정된 진동경로를 따라 전달됨으로써 사용자에게 진동이 간접적으로 전달되는 것을 특징으로 하는 정전기력을 이용한 액추에이터가 개시된다.
Abstract:
본 발명은 고전압 맥놀이 전기장을 이용한 초박형 진동발생모듈, 진동발생방법 및 그 초박형 진동발생모듈이 구비된 플렉서블 디스플레이 장치에 대한 것이다. 보다 상세하게는 초박형 진동발생모듈에 있어서, 맥놀이 전기발생용 전극기판과, 상기 전극기판의 일면에 부착되며 제1주파수를 갖는 제1전압을 인가받는 제1전극과 상기 제1주파수와 다른 제2주파수를 갖는 제2전압을 인가받는 제2전극을 갖고 상기 제1전극과 상기 제2전극이 서로 특정간격 으로 절연 이격 배치된 전극부를 포함하여 맥놀이 전기장을 발생시키는 맥놀이 전기장발생부; 상기 맥놀이 전기장 발생부와 특정간격 이격되어 배치되되, 상기 맥놀이 전기장 발생부에서 발생된 진동을 증폭시키는 진동증폭부재; 및 상기 진동증폭부재와, 상기 맥놀이 전기장발생부 사이에 구비되어, 상기 진동증폭부재와 상기 맥놀이 전기장발생부를 상기 특정간격으로 이격시키는 외측 스페이서를 포함하는 것을 특징으로 하는 고전압 맥놀이 전기장을 이용한 초박형 진동발생모듈 및 그 초박형 진동발생모듈이 구비된 플렉서블 디스플레이 장치에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 맥놀이 전기장을 이용한 촉감제시모듈, 촉감제시장치, 진동마우스패드 및 촉감제시방법에 대한 것이다. 보다 상세하게는, 촉감제시모듈에 있어서, 기판; 상기 기판의 일면에 부착되며, 제1주파수를 갖는 제1전압을 인가받는 제1전극과, 상기 제1주파수와 다른 제2주파수를 갖는 제2전압을 인가받는 제2전극을 갖고, 상기 제1전극과 상기 제2전극이 서로 특정간격 이격 배치되어 맥놀이 전기장을 발생시키는 전극부; 및 상기 제1전극과 상기 제2전극 사이에 연결되며, 상기 전극부에서 발생된 맥놀이 전기장에 의해 진동되는 유전층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 맥놀이 전기장을 이용한 촉감제시모듈에 관한 것이다.