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1.发明申请복수의 온도센서가 구비된 라디오존데와 이를 이용한 온도 측정 방법 및 그 보정 시스템과 보정 방법 审中-公开具有多种温度传感器的无线电设备，使用该温度传感器的温度测量方法和校正系统及其校正方法
公开(公告)号：WO2017002999A1
公开(公告)日：2017-01-05
申请号：PCT/KR2015/007050
申请日：2015-07-08
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01W1/08 , G01W1/04 , G01W1/18 , G01K13/00 , G01K7/02 , G01K7/16 , G01J5/12 , G01J5/20 , G01N27/22 , G01J1/00
CPC classification number: G01W1/08 , G01J1/00 , G01J5/12 , G01J5/20 , G01K7/02 , G01K7/16 , G01K13/00 , G01W1/04 , G01W1/18
Abstract: 본 발명은 복사조도의 영향에 의하여 온도센서에서 측정되는 온도값이 달라지는 것을 효율적으로 보정할 수 있도록 구현된 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일례와 관련된 라데오존데는, 제 1 온도센서; 상기 제 1 온도센서보다 높은 복사율을 갖는 제 2 온도센서; 및 보정된 온도값을 산출하기 위한 계측부;를 포함하되, 라디오존데의 비양 전에 상기 라디오존데 및 제 3 온도센서는 챔버 내부 장착되고, 태양광 모사장치에서 출력된 빛에 의하여 상기 제 1 온도센서에 의하여 감지되는 제 1 온도변화 및 상기 제 2 온도센서에 의하여 감지되는 제 2 온도변화가 유도되며, 상기 제 1 온도변화, 상기 제 2 온도변화 및 상기 제 3 온도센서에 의하여 측정되는 온도값을 이용하여 보상인자가 도출될 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种实现的装置和方法，以便能够通过辐照度的影响有效地校正由温度传感器测量的温度值的变化。 根据本发明的一个实施例的无线电探空仪包括：第一温度传感器; 第二温度传感器，其辐射率高于第一温度传感器的辐射率; 以及用于计算校正温度值的测量单元，其中无线电探空仪和第三温度传感器安装在无线电探空仪飞行前的室内，由第一温度传感器检测到的第一温度变化和由第二温度检测的第二温度变化 传感器由从太阳光模拟装置输出的光感应，并且可以通过使用第一温度变化，第二温度变化和由第三温度传感器测量的温度值来导出校正因子。
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公开(公告)号：WO2019240372A1
公开(公告)日：2019-12-19
申请号：PCT/KR2019/004934
申请日：2019-04-24
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: H01L21/67 , H01L21/687
Abstract: 본 발명에 따른 확장된 검사 영역을 갖는 웨이퍼 센서는, 지지 부재에 그 둘레를 따라 원형을 이루도록 부착되는 복수 개의 확장 패드를 포함하여 이루어지며, 각 확장 패드는 웨이퍼 조각으로서 지지 부재에 부착되어 적어도 12 인치 기본 직경과 확장 직경 사이에 구비되는 확장 영역을 형성한다. 확장 직경은 공정 챔버 내에 12 인치 웨이퍼가 놓이는 곳의 둘레에 배치되는 에지 링의 외곽까지 이르도록 구성될 수 있다. 12 인치보다 큰 확장 영역에 대하여 모니터링이 가능하므로, 에지 링이 배치된 영역의 온도와 플라즈마 상태 등을 모니터링할 수 있다. 일반적으로 사용되고 있는 12 인치 이하의 웨이퍼를 활용하여 구성될 수 있으므로, 큰 비용을 들이지 않고 저렴하게 구현할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2020040381A1
公开(公告)日：2020-02-27
申请号：PCT/KR2019/001240
申请日：2019-01-30
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본 발명에 따른 웨이퍼 센서는 저항식 온도 센서로서 기준온도를 측정하는 복수 개의 기준저항과, 열전식 온도 센서로서 기준저항의 일단으로부터 직렬로 하나 이상 연결되는 열전부를 포함하여 이루어지며, 열전부와 연결배선은 서로 다른 층에 배치된다. 특히, 열전부는 열전쌍(thermocouple)을 형성하는 2 종류의 도선이 서로 교대로 반복하여 100회~1,000회 정도 반복 형성되는 형태로 구성된다. 각 열전부가 연결배선이 형성되는 층과 다른 층에 형성되기 때문에 각 열전부를 배선의 방해를 받지 않고 웨이퍼 센서의 전 면적에 고르게 설치할 수 있다. 특히, 복수 개의 기준저항을 이용하여 기준온도와 열전부의 제백계수에 대한 교정이 이루어짐에 따라 측정되는 온도의 신뢰성을 향상시킬 수 있고, 각 열전부를 통해 측정되는 기전력이 물리적으로 증폭되기 때문에 측정이 더욱 편리해진다. 이에 따라, 웨이퍼의 전 면적에 대한 온도 균일도를 더욱 편리하고 정확하게 파악할 수 있게 된다.
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公开(公告)号：WO2017200267A1
公开(公告)日：2017-11-23
申请号：PCT/KR2017/005058
申请日：2017-05-16
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: G01N21/95 , H01L21/28 , H01L21/67 , H01L21/768 , H01L35/32
Abstract: 본 발명에 따른 온도측정 웨이퍼 센서는, 웨이퍼 상에 온도측정부가 매립되는 매립홈이 형성되어 있고 온도측정부는 상기 매립홈에 매립되어 있는 것을 특징으로 해서, 온도측정부를 충분히 두껍게 형성할 수 있기 때문에 상기 온도측정부가 벌크 성질을 갖도록 제조할 수 있고, 이를 통해서 고온에서도 안정한 효과를 갖는다. 또한, 본 발명에 의하면, 전극부와 저항부가 서로 다른 층에 형성되기 때문에 저항부의 단위저항과 연결배선을 전극부의 방해를 받지 않고 웨이퍼의 전면적에 설치할 수 있다. 따라서 웨이퍼의 전면적에 대해서 온도 균일도를 세밀하게 파악할 수 있게 된다.
Abstract translation:
根据本发明的温度测量晶片传感器，所述埋入沟槽部位温度测定嵌入晶片部分形成，并且温度测量单元，以其特征在于，它被嵌入在嵌入槽，所述温度测量单元 温度测量部件可以具有整体性质，因此温度测量部件即使在高温下也具有稳定的效果。 根据本发明，它是在电极部和不同层的附加的电阻值，而不形成于电极配线也可以在晶片的整个区域内设置不干扰部分的电阻器单元电阻部分的连接。 因此，可以精确地掌握晶圆整个区域的温度均匀性。
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公开(公告)号：WO2014104760A1
公开(公告)日：2014-07-03
申请号：PCT/KR2013/012222
申请日：2013-12-26
Applicant: 한국표준과학연구원
CPC classification number: H01L21/4882 , H01L23/427 , H01L23/467 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 본 발명은 전자기기의 냉각을 위한 열확산장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게 작동유체의 안정적인 일방향 유동이 가능하도록 모세관 압력차를 발생시키는 마이크로 채널을 포함하며, 전자기기의 일측면에 구비되는 열흡수부를 갖는 밀폐형 루프 형태의 열확산구조를 형성함으로써, 액상의 작동유체가 전자기기 내 주요 소자에서 흡수된 열을 통해 기상상태로 열방출부로 이송된 다음, 열방출부를 통과하면서 열을 방출하여 다시 액상 상태로 상변화하는 과정을 통해 전자기기 내 주요 소자에서 발생한 열을 확산시키는 전자기기의 냉각을 위한 열확산장치에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于冷却电子设备的热扩散装置，更具体地，涉及一种用于冷却电子设备的热扩散装置，该热扩散装置包括产生毛细管压力差的微通道，使得工作流体可以沿着一个方向流动 稳定的方式。 根据本发明，形成有在电子设备的一个侧表面上具有吸热部分的闭环型热扩散结构，使得在电子设备中的主元件中产生的热量通过 其中液相工作流体通过电子设备的主要元件吸收的热量被输送到气相状态的放热部分，然后在通过放热部分时排出热量，以便改变相位 回到液相。
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公开(公告)号：KR101917964B1
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：KR1020170173462
申请日：2017-12-15
Applicant: 한국표준과학연구원
Abstract: 본발명은알베도에의해발생하는기상온도측정오차를측정하는장치로서, 장치본체와장치본체의일부분에설치되어지표면의복사온도를측정하는온도측정유닛과장치본체의일부분을이루면서온도측정유닛의상부를덮는형상으로제작되어온도측정유닛을외기로부터보호하는차단유닛및 장치본체의일부분을이루면서온도측정유닛과차단유닛에결합된상태로제작되어, 온도측정유닛과차단유닛을지지하는지지력을제공하여온도측정유닛과차단유닛을지상에고정하는고정유닛을포함하고, 온도측정유닛은, 복수의온도센서를구비하여각각의온도센서를통해지표복사에의한알베도로발생하는기상온도의오차를측정하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101834088B1
公开(公告)日：2018-03-05
申请号：KR1020160132052
申请日：2016-10-12
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01N29/036 , G01N29/24 , G01W1/02
CPC classification number: G01N29/036 , G01N29/022 , G01N29/2443 , G01W1/02
Abstract: 본발명은고층의습도를정확히측정하며, 다른습도측정센서의보정을위한기준을제시하는것이가능한수정진동자를이용한습도측정센서, 고층기상관측시스템과이를이용한고층습도측정방법을제공하는것이다. 이를위해본 발명은판형의지지판, 상기지지판의상부에배치되는판형의수정진동자, 상기수정진동자하면에배치된제 1 전극, 상기수정진동자상면에배치된제 2 전극, 상기제 2 전극상부에배치된절연막, 상기절연막상부에배치되는써모파일(Thermopile) 및상기써모파일상부에배치되며수분을흡착하는감습층을포함하고, 상기수정진동자의공진주파수변화량을측정하여, 상기감습층의질량변화량을연산하는것을특징으로하는습도측정센서를개시한다.
Abstract translation: 本发明是提供一种高层的湿度测量方法，精确地测量在高层段中的湿度，使用相同和湿度传感器，使用可用的晶体振荡器呈现其他湿度传感器的校准的标准高层气象观测系统。 所述第二电极，设置在上布置在所述板状的支撑板，其设置在所述支撑板的顶部的板状石英晶体谐振器，设置在晶体振荡器时，石英振荡器的用于此目的的上表面的下表面上的第一电极的第二电极的本发明 所述绝缘膜设置在上热电堆（热电堆）及热电堆被布置在包括seupcheung吸附湿气意义上的绝缘膜的上部，并且测量石英振荡器的共振频率的变化，所述磁敏感seupcheung的质量变化 还有一个湿度传感器用于测量湿度。
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公开(公告)号：KR101817893B1
公开(公告)日：2018-02-22
申请号：KR1020170035242
申请日：2017-03-21
Applicant: 한국표준과학연구원
IPC: G01W1/08 , G06F17/10 , G01N27/04 , C01B32/182
CPC classification number: G01W1/08 , C01B32/182 , C01B32/23 , G01N27/048 , G01W2201/00 , G06F17/10
Abstract: 본발명은기상관측용습도센서및 이를포함하는라디오존데에관한발명으로서, 본발명의일 실시예에따른기상관측용습도센서는수정진동자; 상기수정진동자의상부및 하부에각각형성되어, 상기수정진동자를진동시키는한쌍의전극; 및상기수정진동자의상부에형성된상부전극의상면에형성되고, 물분자가흡착되는감습물질층을포함하는복수의센서부와, 상기복수의센서부각각의공진주파수에기반하여기상습도를산출하는제어부를포함한다. 이때, 상기복수의센서부중, 제 1 센서부에형성된 1 감습물질층의질량및 상기제 2 센서부에형성된제 2 감습물질층의질량은서로상이하도록형성되고, 상기제어부는포함된제 1 수정진동자의제 1 공진주파수의변화량및 상기제 2 센서부에포함된제 2 수정진동자의제 2 공진주파수의변화량의비에기초하여기상습도를산출하는것을특징으로한다.
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