公开(公告)号：NL1036544A1

公开(公告)日：2009-08-24

申请号：NL1036544

申请日：2009-02-10

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HEMPENIUS PETER PAUL ,  BIJVOET DIRK-JAN ,  VOS YOUSSEF KAREL MARIA DE ,  KAMIDI RAMIDIN IZAIR

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68

公开(公告)号：NL1036433A1

公开(公告)日：2009-08-03

申请号：NL1036433

申请日：2009-01-19

Applicant: ASML NETHERLANDS BV

Inventor： HEMPENIUS PETER PAUL ,  GEERKE JOHAN HENDRIK ,  VOS YOUSSEF KAREL MARIA DE ,  ROOZEN NICOLAAS BERNARDUS ,  N BOOGAERT ERWIN ANTONIUS HENRICUS FRANSISCUS VAN DE ,  GEERLINGS ALEXANDER CORNELIS

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/68