公开(公告)号：DE69326630T2

公开(公告)日：2000-04-06

申请号：DE69326630

申请日：1993-03-31

Applicant: CANON KK

Inventor： SHIOZAWA TAKAHISA ,  MURAKI MASATO ,  ISHII HIROYUKI ,  HAYATA SHIGERU

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：AT185429T

公开(公告)日：1999-10-15

申请号：AT93302508

申请日：1993-03-31

Applicant: CANON KK

Inventor： SHIOZAWA TAKAHISA ,  MURAKI MASATO ,  ISHII HIROYUKI ,  HAYATA SHIGERU

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/207 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：DE3750174T2

公开(公告)日：1994-11-17

申请号：DE3750174

申请日：1987-10-29

Applicant: CANON KK

Inventor： MURAKI MASATO ,  AKETAGAWA MASATO ,  SHIOZAWA TAKAHISA

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/32 ,  G02B26/10

公开(公告)号：DE3750174D1

公开(公告)日：1994-08-11

申请号：DE3750174

申请日：1987-10-29

Applicant: CANON KK

Inventor： MURAKI MASATO ,  AKETAGAWA MASATO ,  SHIOZAWA TAKAHISA

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/32 ,  G02B26/10