An den Gates selbstausgerichtete epitaktische Source-/Drain-Kontakte für abgeschiedene Fet-Kanäle

    公开(公告)号:DE112011101023B4

    公开(公告)日:2015-07-02

    申请号:DE112011101023

    申请日:2011-05-10

    Applicant: IBM

    Abstract: Verfahren zum Bilden einer selbstausgerichteten Einheit, aufweisend: Abscheiden von Kohlenstoff-Nanoröhren (CNTs) (30) parallel zueinander auf einem kristallinen dielektrischen Lanthanyttriumoxid (20); Isolieren eines Teils des einen Lageort der CNTs umschließenden kristallinen dielektrischen Lanthanyttriumoxids; Bilden von Gate-Dielektrikums- und Gate-Elektroden-Gate-Stapeln (51, 52) auf den CNTs unter Beibehaltung von deren struktureller Integrität; und Bilden von epitaktischen Source- und Drain-Zonen (70) in Kontakt mit Teilen der CNTs auf dem kristallinen dielektrischen Lanthanyttriumoxid, die von den Gate-Dielektrikums- und Gate-Elektroden-Gate-Stapel freiliegen, wobei das Bilden der Gate-Dielektrikums- und Gate-Elektroden-Gate-Stapel ein Bilden isolierter Gate-Stapel parallel zueinander und senkrecht in Bezug auf die CNTs aufweist, wobei die epitaktischen Source- und Drain-Zonen die CNTs kontaktieren und im Wesentlichen in einer axialen und Umfangsrichtung die CTNs umschließen.

    MULTIPORT LAN BRIDGE
    12.
    发明专利

    公开(公告)号:CA2100543C

    公开(公告)日:1998-04-14

    申请号:CA2100543

    申请日:1993-07-14

    Applicant: IBM

    Abstract: A multiport bridge includes a plurality of Bridge Port Frame Handler (BPFH) units coupled through a Source Routing bus and a Transparent Bridge Bus to a microcontroller, a Packet Memory and a Transparent Bridge Control Management System (TBCMS). Each Bridge Port Frame Handler unit receives Frame from its attached LAN, forwards selected portions of Source Routing Frames to other Bridge Port Frame Handlers for further processing. Likewise, selected portions of Transparent Bridge Frames are forwarded to the TBCMS whereat routing information and signature information is extracted and returned to the forwarding BPFH unit for further processing.

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