公开(公告)号：FR2325018A1

公开(公告)日：1977-04-15

申请号：FR7611975

申请日：1976-04-16

Applicant: IBM

Inventor： MANNSDORFER WALTER ,  FROSCH ALBERT ,  SCHEUING CLAUS

IPC: G01B11/14 ,  H01L21/70

公开(公告)号：FR2295452A2

公开(公告)日：1976-07-16

申请号：FR7534729

申请日：1975-11-07

Applicant: IBM

Inventor： FROSCH ALBERT ,  KORTH HANS-ERDMANN

IPC: G03B27/32 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G03B27/46 ,  H01L21/308 ,  H01L21/82

公开(公告)号：CA981961A

公开(公告)日：1976-01-20

申请号：CA138890

申请日：1972-04-05

Applicant: IBM

Inventor： FROSCH ALBERT ,  SCHMACKPFEFFER ARNO

IPC: G02B27/58 ,  G03F7/20