公开(公告)号：CA895252A

公开(公告)日：1972-03-14

申请号：CA895252D

Applicant: IBM

Inventor： SILVEY GENE A ,  REGH JOSEPH

IPC: B24B37/04 ,  B24B1/00 ,  H01L21/02 ,  C23F3/06 ,  H01L21/306

公开(公告)号：CA888662A

公开(公告)日：1971-12-21

申请号：CA888662D

Applicant: IBM

Inventor： DOO VEN Y ,  NICHOLS DONALD R ,  SILVEY GENE A

公开(公告)号：CA584249A

公开(公告)日：1959-09-29

申请号：CA584249D

Applicant: IBM

Inventor： SILVEY GENE A