Graben Schottky-Sperrschichtdiode mit unterschiedlicher Oxiddicke und Verfahren zu ihrer Herstellung

    公开(公告)号:DE112006000175B4

    公开(公告)日:2015-08-13

    申请号:DE112006000175

    申请日:2006-01-10

    Inventor: CHIOLA DAVIDE

    Abstract: Schottky-Gleichrichter, der umfasst: ein Halbleitersubstrat eines ersten Leitfähigkeitstyps; mehrere Gräben längs einer ersten Stirnseite des Halbleitersubstrats, die durch mehrere Mesas beabstandet sind, wobei jeder der Gräben eine Oxidschicht mit einer unterschiedlichen Dicke besitzt, die die Boden- bzw. Seitenwandflächen des Grabens überzieht und wobei ein Verhältnis einer Bodenoxidschichtdicke eines Grabens zu einer Seitenwandoxidschichtdicke eines Grabens für besagte Oxidschicht unterschiedlicher Dicken mehr als 2:1 beträgt; und eine Schottky-Metallschicht über der ersten Stirnseite des Halbleitersubstrats, die einen Schottky-Gleichrichterkontakt mit den mehreren Mesas bildet.

    16.
    发明专利
    未知

    公开(公告)号:DE112006000745T5

    公开(公告)日:2008-01-24

    申请号:DE112006000745

    申请日:2006-04-24

    Inventor: CHIOLA DAVIDE

    Abstract: A semiconductor package including a conductive clip preferably in the shape of a can, a semiconductor die, and a conductive stack interposed between the die and the interior of the can which includes a conductive platform and a conductive adhesive body.

    TRENCH SCHOTTKY BARRIER DIODE
    17.
    发明专利

    公开(公告)号:AU2003248823A1

    公开(公告)日:2004-02-02

    申请号:AU2003248823

    申请日:2003-07-02

    Abstract: A fabrication process for a Schottky barrier structure includes forming a nitride layer directly on a surface of an epitaxial ("epi") layer and subsequently forming a plurality of trenches in the epi layer. The interior walls of the trenches are then deposited with a final oxide layer without forming a sacrificial oxide layer to avoid formation of a beak bird at the tops of the interior trench walls. A termination trench is etched in the same process step for forming the plurality of trenches in the active area.

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