公开(公告)号：EP3084820A4

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：EP14872074

申请日：2014-10-30

Applicant: INTEL CORP

Inventor： BRISTOL ROBERT L ,  BLACKWELL JAMES M ,  MYERS ALAN M ,  SINGH KANWAL J

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/522

CPC classification number: H01L21/0338 ,  H01L21/0332 ,  H01L21/0335 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/31144 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76808 ,  H01L21/76811 ,  H01L21/76813 ,  H01L21/76816 ,  H01L21/76897 ,  H01L23/5226 ,  H01L23/528 ,  H01L23/53295 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00