公开(公告)号：JP2864034B2

公开(公告)日：1999-03-03

申请号：JP2226990

申请日：1990-02-02

Applicant: KYANON KK

Inventor： SHIMODA ISAMU ,  KARYA TAKUO ,  MIZUSAWA NOBUTOSHI ,  OZAWA KUNITAKA ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30

公开(公告)号：JP2840315B2

公开(公告)日：1998-12-24

申请号：JP23003289

申请日：1989-09-04

Applicant: KYANON KK

Inventor： MORI MAKIKO ,  OZAWA KUNITAKA ,  UDA KOJI ,  SAKAMOTO EIJI ,  SHIMODA ISAMU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30 ,  G03F1/08

公开(公告)号：JP2760395B2

公开(公告)日：1998-05-28

申请号：JP14804786

申请日：1986-06-26

Applicant: KYANON KK

Inventor： SUGATA MASAO ,  TSUKAMOTO TAKEO ,  SHIMIZU AKIRA ,  SUZUKI AKIRA ,  SHIMODA ISAMU ,  OKUNUKI MASAHIKO

IPC: H01J1/312 ,  H01J1/30 ,  H01J1/304 ,  H01J1/308 ,  H01J1/316 ,  H01J3/08 ,  H01J3/18 ,  H01J3/30 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073

公开(公告)号：JP2735118B2

公开(公告)日：1998-04-02

申请号：JP1614787

申请日：1987-01-28

Applicant: KYANON KK

Inventor： TSUKAMOTO TAKEO ,  SHIMIZU AKIRA ,  SUZUKI AKIRA ,  SUGATA MASAO ,  SHIMODA ISAMU ,  OKUNUKI MASAHIKO

IPC: H01J19/24

公开(公告)号：JP2654012B2

公开(公告)日：1997-09-17

申请号：JP10884687

申请日：1987-05-06

Applicant: KYANON KK

Inventor： TSUKAMOTO TAKEO ,  MYAWAKI MAMORU ,  KANEKO TETSUYA ,  SUZUKI AKIRA ,  SHIMODA ISAMU ,  TAKEDA TOSHIHIKO ,  OKUNUKI MASAHIKO

IPC: H01J37/073 ,  H01J1/30 ,  H01J1/304 ,  H01J9/02

公开(公告)号：JP2631395B2

公开(公告)日：1997-07-16

申请号：JP22471188

申请日：1988-09-09

Applicant: KYANON KK

Inventor： KAWAKAMI EIGO ,  OZAWA KUNITAKA ,  UDA KOJI ,  SHIMODA ISAMU ,  UZAWA SHUNICHI

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H01L21/30