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公开(公告)号:CN100336168C
公开(公告)日:2007-09-05
申请号:CN200410070554.5
申请日:2004-08-06
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/336 , H01L21/84 , G02F1/136
CPC classification number: H01L27/124 , H01L27/1288
Abstract: 公布了一种无需进行光处理而执行构图处理的薄膜晶体管阵列基板制造方法。根据本发明的薄膜晶体管阵列基板制造方法包括:使用第一软模和由第一软模加压的第一抗蚀剂在基板上形成包括栅极和选通线的第一导电图案组;在具有所述第一导电图案组的所述基板上形成栅绝缘膜;使用第二软模和由第二软模加压的第二抗蚀剂在所述栅绝缘膜上形成第二导电图案组和半导体图案,其中该第二导电图案组包括源极、漏极和数据线,该半导体图案在所述源极和所述漏极之间形成沟道;使用第三软模和由第三软模加压的第三抗蚀剂在具有所述第二导电图案组和所述半导体组的所述栅绝缘膜上形成具有接触孔的钝化膜;以及使用第四软模和由第四软模加压的第四抗蚀剂在所述钝化膜上形成包括像素电极的第三导电图案组。
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公开(公告)号:CN1595241A
公开(公告)日:2005-03-16
申请号:CN200410058251.1
申请日:2004-08-20
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor: 金珍郁
IPC: G02F1/133 , G02F1/136 , H01L29/786 , H01L21/00
CPC classification number: G03F7/0007 , G02F1/1368 , G02F2001/136231 , G02F2001/136295
Abstract: 液晶显示器图案形成方法及制造TFT阵列基板的方法。液晶显示器图案形成方法用于通过使用微转印形成图案来减少掩模数,并且该方法包括:提供一其上形成有待构图的层的基板;提供具有对应于希望图案的凹版部分的主基板;将有机材料填入位于所述主基板的第一侧的所述凹版部分中;使所述主基板与所述基板接触;通过从所述主基板的第二侧照射光来使所述有机材料硬化;通过将所述主基板与所述基板分开,来将硬化的有机膜图案转印到所述待构图的层的表面上;以及通过使用所述有机膜图案作为掩模,对所述待构图的层进行刻蚀。
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公开(公告)号:CN101290420A
公开(公告)日:2008-10-22
申请号:CN200710307380.3
申请日:2007-12-29
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G02F1/1335 , G02F1/1333 , G03F7/00
CPC classification number: G02F1/133516
Abstract: 本发明涉及液晶显示板及其制造方法,该液晶显示板具有改进的颜色再现性及优异的图像质量。该液晶显示板包括:滤色器阵列基板,其包括设置在基板上的黑底和多个滤色器,其中,每一个滤色器都包括分别产生不同颜色的第一滤色器、第二滤色器和第三滤色器;以及从第四、第五、第六滤色器中选择的至少一个滤色器,所述第四滤色器产生第一滤色器和第二滤色器的混合颜色,所述第五滤色器产生第二滤色器和第三滤色器的混合颜色,所述第六滤色器产生第一滤色器和第三滤色器的混合颜色。
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公开(公告)号:CN101211105A
公开(公告)日:2008-07-02
申请号:CN200710196342.5
申请日:2007-11-30
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor: 金珍郁
CPC classification number: B29C59/10 , B29C33/3857 , B29C33/40 , B29C33/424 , B29C37/0053 , B29K2105/0002 , B29L2031/3475 , G02F1/1303 , G02F1/133516 , G02F1/13394
Abstract: 公开了一种模结构,其构图方法和利用该模结构制造LCD器件的方法,其可以在面内印刷工艺中通过在彼此相对的模结构和材料层之间施加电压来实现顺贴的接触,以防止有缺陷的图案,其中模结构包括表面设有图案的模、支撑模的底板、和形成在底板和模之间的导电膜。
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公开(公告)号:CN100385267C
公开(公告)日:2008-04-30
申请号:CN200510080118.0
申请日:2005-06-29
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G02B5/20 , G03F7/20 , G02F1/1335
Abstract: 滤色片阵列基板的制造方法包括下列步骤:使用第一软模具在基板上形成黑矩阵,分别使用第二、第三和第四软模具在其上形成有黑矩阵的基板上形成红色,绿色,蓝色滤色片,在其上形成有红色,绿色和蓝色滤色片的基板上形成包含白色滤色片的涂覆层,将平板软模具与涂覆层对准,以及使用所述平板软模具将涂覆层平坦化。
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公开(公告)号:CN100361026C
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200410095589.4
申请日:2004-12-02
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
Inventor: 金珍郁
CPC classification number: H01L21/0273 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G02F1/1362 , G02F1/136286 , G02F2001/136295 , G03F7/0002 , H01J9/241 , H01L21/0271 , H01L27/1288
Abstract: 一种制造平板显示器件的方法,包括:在薄膜上涂布抗蚀剂;形成用于对所述薄膜进行构图的具有凹槽和凸起的软模;对所述凸起的端面进行处理;将所述软模施加在所述抗蚀剂上以形成抗蚀剂图案;将所述软模与所述抗蚀剂图案分开;以及利用所述抗蚀剂图案对所述薄膜进行刻蚀以形成薄膜图案。
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公开(公告)号:CN100354712C
公开(公告)日:2007-12-12
申请号:CN200410102771.8
申请日:2004-12-27
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
CPC classification number: H01J9/24 , B29C33/38 , B29C33/42 , B29C35/00 , B29C59/00 , G02F1/13439 , H05K3/061 , H05K2203/0108 , H05K2203/1189
Abstract: 本发明涉及一种适合于采用不需要照相工艺的构图工序的平板显示器件及其制造方法,从而降低其处理时间和使构图缺陷最小化。根据本发明一个实施例的平板显示装置的制造方法和制造装置在薄膜上涂布蚀刻剂,并且通过将具有可渗透结构的软模压到蚀刻剂上在薄膜上形成蚀刻剂图案,其中所述软模包括可渗透结构以及该结构表面上的薄膜树脂层,用于阻止溶剂和空气快速流入到所述可渗透结构中。
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公开(公告)号:CN101063816A
公开(公告)日:2007-10-31
申请号:CN200710091177.7
申请日:2007-04-12
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , G02F1/1335 , H01L27/12 , H01L21/00
CPC classification number: G03F7/085 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G02F2001/133519 , G03F7/0002 , G03F7/0007 , G03F7/0751 , H01L21/31 , H01L27/12 , H01L27/1248 , H01L27/283 , H01L29/66765 , H01L2251/105
Abstract: 本发明公开了一种用于压印光刻工艺的抗蚀剂成分、采用该抗蚀剂成分形成抗蚀剂图案的方法、采用其制造的阵列基板以及制造该阵列基板的方法。由于在该抗蚀剂成分中包括UV固化树脂、添加剂以及促使与UV固化树脂接触的暴露层的化学接合的附着力促进剂,该抗蚀剂成分可以形成高分辨率的图案并且提高了模具的耐用性。
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公开(公告)号:CN1991579A
公开(公告)日:2007-07-04
申请号:CN200610087804.5
申请日:2006-06-09
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: H01L27/124 , H01L27/1292
Abstract: 公开了平板显示器的制造方法和装置,其适于不利用光刻工序而执行构图工序。在用于制造平板显示器的装置中,一装置在基板上顺序形成薄膜层和抗蚀剂。硬模在抗蚀剂的相对表面中模压抗蚀剂。在该硬模中,由具有高硬度的材料和玻璃中的任何一种形成了背板。模制图案形成在背板上以压制抗蚀剂。
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公开(公告)号:CN1991524A
公开(公告)日:2007-07-04
申请号:CN200610094342.X
申请日:2006-06-30
Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02F1/1333
CPC classification number: G02F1/133711 , B82Y30/00 , G02F1/133719 , G02F2001/133765 , Y10T428/10 , Y10T428/1005 , Y10T428/1014 , Y10T428/1059 , Y10T428/1086
Abstract: 具有有机配向层的液晶显示器件及其制造方法。一种液晶显示器件的配向结构包括:基板;以一间隔设置在基板上的多个区域限定条;以及设置在区域限定条之间的有机配向条。
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