公开(公告)号：CN101063816A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：CN200710091177.7

申请日：2007-04-12

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 金珍郁 ,  南姸熙

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/00 ,  G02F1/1335 ,  H01L27/12 ,  H01L21/00

CPC classification number: G03F7/085 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G02F2001/133519 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/0007 ,  G03F7/0751 ,  H01L21/31 ,  H01L27/12 ,  H01L27/1248 ,  H01L27/283 ,  H01L29/66765 ,  H01L2251/105

Abstract: 本发明公开了一种用于压印光刻工艺的抗蚀剂成分、采用该抗蚀剂成分形成抗蚀剂图案的方法、采用其制造的阵列基板以及制造该阵列基板的方法。由于在该抗蚀剂成分中包括UV固化树脂、添加剂以及促使与UV固化树脂接触的暴露层的化学接合的附着力促进剂，该抗蚀剂成分可以形成高分辨率的图案并且提高了模具的耐用性。

公开(公告)号：CN101089731A

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN200710110866.8

申请日：2007-06-12

Applicant: LG.菲利浦LCD株式会社

Inventor： 金珍郁 ,  南姸熙

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  H01L21/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: B29C35/0888 ,  B29C2035/0827

Abstract: 本发明公开了一种使用模形成图案的制造装置和制造方法。该制造涉及在诸如液晶显示器(LCD)或者有机电致发光显示器(OELD)的显示器件中用作转换元件和驱动元件的薄膜晶体管(TFT)。该制造方法和制造装置使用在基本真空的环境下粘接到背板的树脂层制造软模。可以使用紫外(UV)光照射树脂层并且然后将树脂层从主板上分离以形成期望的图案。该制造工艺使软模相对较薄且重量轻，并且能够避免被损害。