公开(公告)号：EP2167703A4

公开(公告)日：2011-03-16

申请号：EP08768382

申请日：2008-06-12

Applicant: NANOGRAM CORP

Inventor： HIESLMAIR HENRY ,  MOSSO RONALD J ,  SOLAYAPPAN NARAYAN ,  CHIRUVOLU SHIVKUMAR ,  MORRIS JULIO E

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/00 ,  H01L21/205

CPC classification number: C30B25/02 ,  C23C16/01 ,  C23C16/24 ,  C23C16/545 ,  C30B13/00 ,  C30B25/18 ,  C30B29/06 ,  H01L21/02488 ,  H01L21/02513 ,  H01L21/02532 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1872 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/263 ,  Y10T428/264 ,  Y10T428/265