掩模装置及电子器件的制造方法

    公开(公告)号:CN101182625A

    公开(公告)日:2008-05-21

    申请号:CN200710167599.8

    申请日:2007-10-29

    CPC classification number: H01G2/065 H01G4/232 Y10T428/24802

    Abstract: 本发明的掩模装置具有:包括一张以上的隔板并具有可容纳芯片的内腔的掩模基体;以及配置在掩模基体的上下面,并具有与要形成在芯片的外表面上的电极的形状对应的形状的成膜开口,而且可通过该成膜开口对芯片的外表面有选择性地进行成膜掩模板。上述内腔具有与芯片的成膜状态下的高度尺寸大致相同的深度尺寸,从而可包围容纳在内部的芯片的周围,在其内面具有与成膜开口连通的成膜槽,由此,可与芯片的成膜状态下的上下面同时在芯片周面上形成电极。可在电子器件(芯片)的多个外表面上同时形成电极而减少工序数。

    薄膜器件及其制造方法
    13.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1992108A

    公开(公告)日:2007-07-04

    申请号:CN200610156256.7

    申请日:2006-12-27

    CPC classification number: H01G4/33 H01G4/008 H01L28/40

    Abstract: 薄膜器件具备基板、配置在基板上的由绝缘材料构成的平坦化膜、以及设置在平坦化膜上的电容器。电容器具有下部导体层、配置在下部导体层上的电介质膜、以及配置在电介质膜上的上部导体层。下部导体层具有电极膜、用电镀法在电极膜上形成的第1层、以及用PVD法或CVD法在第1层上形成的第2层。第2层中的金属晶体的粒径小于第1层中的金属晶体的粒径。

    电子部件及其制造方法
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113115509B

    公开(公告)日:2025-01-10

    申请号:CN202110022120.1

    申请日:2021-01-08

    Abstract: 本发明在具有在基板上交替层叠有多个导体层和多个绝缘层的构造的电子部件中,提高从侧面的散热性。电子部件(1)具备基板(2)、在基板(2)上交替层叠的多个导体层(M1~M4)以及多个绝缘层(11~14)。多个绝缘层(11~14)的侧面(11s~14s)具有比基板(2)的侧面(2s)后退的凹部(11a~14a)和从凹部(11a~14a)突出的凸部(11b~14b)。这样,由于绝缘层(11~14)的侧面(11s~14s)具有凹凸形状,因此侧面(11s~14s)的露出面积增加。由此,能够提高从侧面(11s~14s)的散热性。

    LC复合部件
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105322906B

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201510284236.7

    申请日:2015-05-28

    Abstract: 本发明所涉及的LC复合部件具备1个以的上电感器、1个以上的电容器、磁性层、基板。基板具有第1面、与第1面为相反侧的第2面。磁性层是以与基板的第1面相对的形式被配置的。1个以上的电感器被配置于基板的第1面与磁性层之间。在垂直于基板的第1面的方向上,基板的厚度大于磁性层的厚度。基板的复数导磁率的实部和虚部分别小于磁性层的复数导磁率的实部和虚部。

    多层配线结构体及其制造方法

    公开(公告)号:CN110349927A

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201910271674.8

    申请日:2019-04-04

    Abstract: 一种防止籽晶层的破坏引起通孔导通不良的多层配线结构体,具备:导体图案(P1a),设于配线层(L1)并包含主导体层(13);层间绝缘膜(61),覆盖配线层(L1),具有露出导体图案(P1a)一部分的开口部(61a);导体图案(P2a),设于配线层(L2)并经开口部(61a)与导体图案(P1a)连接。导体图案(P2a)包含与层间绝缘膜(61)相接的籽晶层(21、22)和设于籽晶层(21、22)由与主导体层(13)相同的金属材料构成的主导体层(23)。籽晶层(21、22)在开口部(61a)的底部被部分地除去,由此在开口部(61a)的底部主导体层(13)和主导体层(23)不经籽晶层(21、22)相接。主导体层(13)和主导体层(23)具有直接接触的部分因而通孔不会导通不良。

    电子部件的制造方法和电子部件

    公开(公告)号:CN1806476B

    公开(公告)日:2011-08-31

    申请号:CN200480016566.8

    申请日:2004-06-08

    CPC classification number: H05K3/423 H05K3/421 H05K3/4652 H05K2201/09563

    Abstract: 本发明是一种在覆盖下层布线的绝缘部件的上侧表面使由上述下层布线连接的导体部露出的电子部件的制造方法。在该方法中,在绝缘部件的上侧表面形成供电膜之后,从该供电膜侧形成将下层布线作为底部的开口部。然后,将供电膜作为电极从开口部使金属电镀从上述供电膜的缘端部生长,使与下层布线密接的金属电镀填充到上述开口部而形成导体部。

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