静电涂布装置及液体的涂布方法

    公开(公告)号:CN104284734A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:CN201380025219.0

    申请日:2013-05-14

    Inventor: 上野勉

    Abstract: 一种静电涂布装置(100),其具备:筒状电极(1),其形成第一流路(F1),该第一流路(F1)的内表面由导电性的壁部形成;相对电极(20),其以遮住第一流路(F1)的轴线的延长线的方式配置;电源(30),其对筒状电极(1)与相对电极(20)之间施加电压;及液体供给部(40),其对第一流路(F1)供给液体,当将第一流路的轴方向长度设为L1、第一流路的内径设为D1时,L1/D1在35以上,第一流路的内径D1为0.5~2.0mm,第一流路的长度L1为20~100mm。

    铁电薄膜的制造方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103357562A

    公开(公告)日:2013-10-23

    申请号:CN201310085266.6

    申请日:2013-03-18

    Abstract: 本发明提供一种铁电薄膜的制造方法,其材料利用效率非常好,且具有所希望的膜组织,且电性优异。该铁电薄膜的制造方法,从毛细管(14)的吐出口(14a)朝向具有下部电极(20a)的基板(20)的下部电极(20a)静电喷涂铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液(21)而在下部电极(20a)上涂布溶胶-凝胶液(21)来形成涂膜,对该涂膜进行干燥和临时烧结之后进行烧成来结晶化,从而在下部电极(20a)上制造铁电薄膜,其中,以上述涂膜的干燥和临时烧结之后的折射率成为2以上的方式设定上述毛细管(14)的吐出口(14a)与上述下部电极(20a)之间的距离及静电喷涂时的施加电压,并且以一次喷涂来涂布溶胶-凝胶液(21),以临时烧结之后进行烧成来结晶化时的膜厚成为150nm以下范围的方式设定一次喷涂中的溶胶-凝胶液(21)的液量。

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