公开(公告)号：CN101983412A

公开(公告)日：2011-03-02

申请号：CN200980112188.6

申请日：2009-03-30

Applicant: 松下电工株式会社

Inventor： 吉原孝明 ,  早崎嘉城 ,  白井健雄 ,  松嶋朝明 ,  河田裕志 ,  萩原洋右

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01H49/00 ,  H01H57/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  H01H59/0009 ,  H01H2057/006 ,  Y10T29/42

Abstract: 一种MEMS开关包括带有具有固定触点的信号线的衬底、带有可移动触点的可移动板、支撑可移动板的弹性支撑构件、被配置为使可移动触点与固定触点接触的压电激励器以及静电激励器。特征部分为，可移动板具有长度和宽度，在其长度方向的中心处设置有可移动触点，形成在长度方向的两端的可移动电极保持部中设置有静电可移动电极板。在可移动板的宽度方向的两端的外面部分处，支撑构件由设置在各电极保持部的外面部分中的四个弹性条带形成。各条带沿可移动板的长度方向布置，条带的一端连接到可移动板上，另一端保持在衬底上。在可移动板的宽度方向的外面部分，压电元件布置在各条带的上表面上，并构成为使得压电激励器所产生的应力作用于各条带和所述可移动板之间的连接位置。

公开(公告)号：CN100544049C

公开(公告)日：2009-09-23

申请号：CN200710091368.3

申请日：2007-03-30

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 西垣亨彦 ,  长野利彦 ,  宫崎崇 ,  板谷和彦 ,  川久保隆

IPC: H01L41/09 ,  H01G5/18 ,  H02N2/02 ,  H02N1/00

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/18 ,  H01H57/00 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094

Abstract: 一种MEMS器件包括：具有第一固定端的第一致动器，其包括第一下电极、第一压电膜、以及第一上电极的层叠结构，并且可通过在第一下电极和第一上电极上施加电压而工作；具有第二固定端的第二致动器，其与第一致动器平行设置，并且包括第二下电极、第二压电膜、以及第二上电极的层叠结构，并且可通过在第二下电极和第二上电极上施加电压而工作；以及电路元件，其具有连接到第一致动器的第一作用部分和连接到第二致动器的第二作用部分。

公开(公告)号：CN1914658A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200580003850.6

申请日：2005-01-27

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： D·J·布罗尔 ,  C·M·R·德维特茨 ,  G·N·莫尔 ,  R·彭特曼

IPC: G09F9/37 ,  B81B3/00 ,  B81B7/04 ,  G02B26/02

CPC classification number: G02B26/02 ,  B81B3/0024 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/047 ,  Y10T156/11

Abstract: 一种机械结构，其包括可以非机械方式(例如热和辐照)在具有第一形状的第一状态和具有不同的第二形状的第二状态之间变化的元件。为了该目的，该元件包括取向的聚合的液晶层，其在经受这些方式时显示出各向异性膨胀。为了便于制备，将该元素置于对聚合的液晶具有高粘合性的区域和具有低粘合性的区域的基片上。为了制备这些结构，在基片(201)上形成经取向的可聚合液晶层，该基片配备有对聚合的液晶具有高粘合性的粘性区域(204)和对聚合的液晶具有低粘合性的非粘性区域(203)。在聚合后，例如，施加热冲击使得聚合的液晶层在非粘性区域剥离同时保持固定在粘性区域上。因此，该方法不要求耗时的底蚀步骤。

公开(公告)号：CN108249382A

公开(公告)日：2018-07-06

申请号：CN201710401489.7

申请日：2017-05-31

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： R·卡尔米纳蒂 ,  D·朱斯蒂 ,  S·克斯坦蒂尼

IPC: B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0083 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0118 ,  G02B26/105 ,  H04N9/3129

Abstract: 本发明涉及具有压电致动的MEMS设备、投射MEMS系统以及相关驱动方法。一种MEMS设备，包括：固定的结构和悬置的结构，悬置的结构包括内部结构以及第一臂和第二臂，第一臂和第二臂中的每一个具有对应第一端和对应第二端，第一端被固定至固定的结构并且相隔一定距离成角度地安排，第二端被固定至内部结构，相隔一定距离成角度地安排并且相对于这些相应第一端在同一旋转方向上成角度地安排。MEMS设备进一步包括多个压电致动器，多个压电致动器中的每一个可被驱动，以便引起相应臂的变形，因此引起内部结构的旋转。在静止状况下，第一臂和第二臂中的每一个包括具有对应凹陷的对应细长部分。内部框架在第一臂和第二臂的这些细长部分的这些凹陷内部分地延伸。

公开(公告)号：CN107884925A

公开(公告)日：2018-04-06

申请号：CN201710791473.1

申请日：2017-09-05

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 丸山佑纪 ,  山田司

IPC: G02B26/10

CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/10 ,  G02B26/105

Abstract: 本发明提供一种光扫描装置以及光扫描装置的制造方法，能够减少光扫描装置的破损、材料疲劳。一实施方式的光扫描装置具备具有光反射面的反射镜、支撑上述反射镜的可动框、从两侧支撑上述可动框的一对驱动梁、设置于上述驱动梁并使上述可动框绕预定的轴摆动的驱动源、支撑上述驱动梁的固定框，上述驱动源具备形成在上述驱动梁上的下部电极、形成在上述下部电极上的压电薄膜、形成在上述压电薄膜上的上部电极、形成在上述上部电极上或上述压电薄膜与上述上部电极之间并在上述驱动梁上产生压缩应力的反应力膜。

公开(公告)号：CN102323666B

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：CN201110265548.5

申请日：2006-02-23

Applicant: 皮克斯特隆尼斯有限公司

Inventor： N·W·哈古德 ,  J·L·斯泰恩

IPC: G02B26/02

CPC classification number: G09G3/3433 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/045 ,  B81B2203/051 ,  G02B26/02 ,  G02B26/0841 ,  G09G2300/0809 ,  G09G2310/0262

Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的显示装置。尤其是，该显示装置可以包括有两个机械顺性的电极的作动器。另外，揭示了在该显示装置中包括进双稳态的快门组件和用于在该快门组件中支承快门的器件。

公开(公告)号：CN102730633A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210101394.0

申请日：2012-03-31

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 格雷戈里·德布拉班德尔 ,  马克·内波穆尼西

IPC: B81C3/00

CPC classification number: B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/053 ,  B81C2201/0195 ,  B81C2203/036

Abstract: 本发明公开了一种用于制造具有弯曲特征的薄膜的方法。通过将薄膜真空接合至衬底的顶表面来创建具有弯曲特征的轮廓传递衬底表面，其中所述顶表面中形成有空穴。将薄膜的表面暴露至流体压力，以使得薄膜变形并且薄膜的下表面与空穴的底部接触。可以通过对薄膜与衬底之间的接合区域进行退火处理来使变形薄膜中形成的弯曲特征变得永久。薄膜的暴露表面上沉积的均匀材料层将在薄膜弯曲进空穴的位置处包括弯曲特征。在薄膜上已经均匀沉积了至少一层材料之后，从底部蚀刻开空穴，以从下方移除薄膜。

公开(公告)号：CN101657961B

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN200880002194.1

申请日：2008-04-04

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 工藤祐治

IPC: H01L41/08 ,  H02N11/00 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00

CPC classification number: F03G7/005 ,  B81B3/0075 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0118 ,  Y10S310/80 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明的目的在于提高导电性高分子膜与固体电解质膜彼此之间的粘合性、可靠地完成弯曲型动作的导电性高分子致动器的动作。本发明的导电性高分子致动器具有固体电解质膜和在上述固体电解质膜的至少一个面上的导电性高分子膜的叠层结构，其中，上述固体电解质膜由有机聚合物和离子液体的混合物构成，上述有机聚合物含有偏氟乙烯/六氟丙烯共聚物[P(VDF/HFP)]、聚偏氟乙烯(PVDF)、全氟磺酸/PTFE共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚氧化乙烯(PEO)、聚丙烯腈(PAN)中的至少一种以上，上述导电性高分子膜由聚乙烯二氧噻吩(PEDOT)和聚苯乙烯磺酸(PSS)的混合物构成，并且，上述导电性高分子膜中含有聚乙二醇。

公开(公告)号：CN101657961A

公开(公告)日：2010-02-24

申请号：CN200880002194.1

申请日：2008-04-04

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 工藤祐治

IPC: H02N11/00 ,  B81B3/00 ,  B81C3/00

CPC classification number: F03G7/005 ,  B81B3/0075 ,  B81B2201/032 ,  B81B2203/0118 ,  Y10S310/80 ,  Y10T29/42

Abstract: 本发明的目的在于提高导电性高分子膜与固体电解质膜彼此之间的粘合性、可靠地完成弯曲型动作的导电性高分子致动器的动作。本发明的导电性高分子致动器具有固体电解质膜和在上述固体电解质膜的至少一个面上的导电性高分子膜的叠层结构，其中，上述固体电解质膜由有机聚合物和离子液体的混合物构成，上述有机聚合物含有偏氟乙烯/六氟丙烯共聚物[P(VDF/HFP)]、聚偏氟乙烯(PVDF)、全氟磺酸/PTFE共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚氧化乙烯(PEO)、聚丙烯腈(PAN)中的至少一种以上，上述导电性高分子膜由聚乙烯二氧噻吩(PEDOT)和聚苯乙烯磺酸(PSS)的混合物构成，并且，上述导电性高分子膜中含有聚乙二醇。

公开(公告)号：CN101488723A

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200910002664.0

申请日：2009-01-14

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 西垣亨彦 ,  长野利彦 ,  板谷和彦 ,  川久保隆

IPC: H02N2/02

CPC classification number: H01H57/00 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973

Abstract: 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。