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    以LIGA工艺制造聚合物微针阵列的方法
    11.
    发明授权
    以LIGA工艺制造聚合物微针阵列的方法 失效

    公开(公告)号：CN100513145C

    公开(公告)日：2009-07-15

    申请号：CN200480002378.X

    申请日：2004-01-16

    Applicant: 李承燮

    Inventor： 李承燮 ,  文祥俊

    IPC: B29D31/00

    CPC classification number: B81C99/0085 ,  A61B5/14514 ,  A61M37/0015 ,  A61M2037/0053 ,  B81B2201/055 ,  B81C2201/032 ,  G03F7/00 ,  G03F7/0035

    Abstract: 本发明涉及以X射线工艺制造微针阵列的方法。本发明提供了微针阵列的制造方法，包含的步骤为：通过在基片上生成具有微针阵列构造的吸收器，制备X射线掩膜；采用X射线掩膜，通过将PMMA曝光于垂直和倾斜的X射线，制备用于微针阵列的PMMA铸型；通过将PDMS浇注于PMMA铸型上，制备具有与PMMA相反构造的柔性PDMS模具；以凝胶型聚合物填充PDMS模具的上表面，得到期望厚度的聚合物；通过在聚合物上辐照紫外线，将具有期望构造的孔穴图案代；以及分离PDMS模具，完成聚合物微针阵列。本发明的微针阵列由聚合物材料制成，可用于从皮肤抽取血液或将药物注射入皮肤。

    一种在微尖锥顶端定位镀膜的方法
    14.
    发明授权
    一种在微尖锥顶端定位镀膜的方法 失效

    公开(公告)号：CN1180121C

    公开(公告)日：2004-12-15

    申请号：CN02114979.8

    申请日：2002-03-20

    Applicant: 中山大学

    Inventor： 许宁生 ,  佘峻聪 ,  邓少芝 ,  陈军

    IPC: C23C14/04 ,  C23C16/04 ,  G12B21/02 ,  G01N13/10

    CPC classification number: B81C1/00111 ,  B81B2201/055 ,  B82Y30/00

    Abstract: 本发明公开了一种微尖锥定位镀膜的方法。所述的方法采用的工艺步骤如下：(1)锥尖暴露高度确定：在整个尖锥器件表面沉积覆盖层，采用薄膜削薄技术，减小表面覆盖层厚度，露出锥尖顶端，而锥体仍被覆盖；通过调节薄膜削薄参数，控制锥尖露出高度；(2)表面处理和钝化：根据实际需要，对露出锥尖进行表面净化处理和钝化保护。(3)薄膜沉积：根据实际需要，在锥尖顶端沉积上一层所需薄膜材料；(4)器件表面覆盖层剥离：采用选择性腐蚀方式，剥离器件表面覆盖层，形成锥尖定位镀膜器件。所述的微尖锥定位镀膜的方法，可对尖锥进行锥尖定位净化和镀膜。

    微型针装置的制造方法和相应的微型针装置及其应用
    15.
    发明授权
    微型针装置的制造方法和相应的微型针装置及其应用 失效

    公开(公告)号：CN102311091B

    公开(公告)日：2015-11-18

    申请号：CN201110183266.0

    申请日：2011-07-01

    Applicant: 罗伯特·博世有限公司

    Inventor： M.施通贝尔 ,  F.沙茨

    IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00 ,  B81B7/04 ,  A61B17/20 ,  A61M37/00

    CPC classification number: A01K11/005 ,  A61M37/0015 ,  A61M37/0076 ,  A61M2037/0046 ,  A61M2037/0053 ,  A61M2037/0061 ,  B81B2201/055 ,  B81B2203/0361 ,  B81C1/00111 ,  B81C2201/0132

    Abstract: 本发明提供一种微型针装置的制造方法和一种相应的微型针装置，及其应用。本方法具有下述步骤：在基质（1）上形成具有栅格支架（100’、110’；100’’、110’’；100’’’、110’’’），具有相应的栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）和位于中间的栅格开口（10’b；10’’b；10’’’b）的栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’）；在使用蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’；11’’’；12’’’；13’’’；14’’’）的情况下在基质（1）上实施形成微型针装置（20’；20’’；20’’’；21’’’；22’’’）的蚀刻工序；取下蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’；11’’’；12’’’；13’’’；14’’’）。栅格形的蚀刻掩模（10’；10’’；10’’’）在栅格交叉区域（10’a；10’’a；10’’’a）的至少一部分上具有平面的加强区域（115’；115’’a；115’’b），所述栅格交叉区域超出栅格接片（100’、110’；100’’、110’’；100’’’、110’’’）地延伸。

    微型针装置的制造方法和相应的微型针装置及其应用
    19.
    发明公开
    微型针装置的制造方法和相应的微型针装置及其应用 失效

    公开(公告)号：CN102311091A

    公开(公告)日：2012-01-11

    申请号：CN201110183266.0

    申请日：2011-07-01

    Applicant: 罗伯特·博世有限公司

    Inventor： M.施通贝尔 ,  F.沙茨

    IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00 ,  B81B7/04 ,  A61B17/20 ,  A61M37/00

    CPC classification number: A01K11/005 ,  A61M37/0015 ,  A61M37/0076 ,  A61M2037/0046 ,  A61M2037/0053 ,  A61M2037/0061 ,  B81B2201/055 ,  B81B2203/0361 ,  B81C1/00111 ,  B81C2201/0132

    Abstract: 本发明提供一种微型针装置的制造方法和一种相应的微型针装置，及其应用。本方法具有下述步骤：在基质（1）上形成具有栅格支架（100′、110′；100″、110″；100″′、110″′），具有相应的栅格交叉区域（10′a；10″a；10″′a）和位于中间的栅格开口（10′b；10″b；10″′b）的栅格形的蚀刻掩模（10′；10″；10″′）；在使用蚀刻掩模（10′；10″；10″′；11″′；12″′；13″′；14″′）的情况下在基质（1）上实施形成微型针装置（20′；20″；20″′；21″′；22″′）的蚀刻工序；取下蚀刻掩模（10′；10″；10″′；11″′；12″′；13″′；14″′）。栅格形的蚀刻掩模（10′；10″；10″′）在栅格交叉区域（10’a；10″a；10″′a）的至少一部分上具有平面的加强区域（115′；115″a；115″b），所述栅格交叉区域超出栅格接片（100′、110′；100″、110″；100″′、110″′）地延伸。

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