公开(公告)号：CN1727837A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200510076692.9

申请日：2005-06-13

Applicant: 安捷伦科技有限公司

Inventor： 凯文·R·费恩 ,  格雷格·C·菲利克斯 ,  约翰·J·伯克曼 ,  道格拉斯·P·伍尔韦尔托

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01J9/0215 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02051 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261

Abstract: 本发明公开了一种产生期望的光束模式的差分干涉仪。干涉仪系统包括菱形组件，该组件具有第一光学堆和安装在第一堆上的第二光学堆。第一堆包括具有斜面的第一棱镜，该斜面安装到第二棱镜的斜面上。这些斜面之间的界面包括第一偏振分束器。第二堆包括具有斜面的第三棱镜，该斜面安装到第四棱镜的斜面上。这些斜面之间的界面包括第二偏振分束器。第一、第二、第三和第四波片元件位于菱形组件与测量光学元件和参考光学元件中至少一个之间的光束路径中。重定向光学元件至少与第一和第三棱镜的垂直面相邻。

公开(公告)号：WO2005106383A2

公开(公告)日：2005-11-10

申请号：PCT/US2005/013711

申请日：2005-04-22

Applicant: ZYGO CORPORATION ,  HILL, Henry, A. ,  WOMACK, Gary

Inventor： HILL, Henry, A. ,  WOMACK, Gary

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02061 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02059 ,  G01B9/02072 ,  G01B9/02084 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261 ,  G03F7/70775

Abstract: In general, in one aspect, the invention features methods that include interferometrically monitoring a distance between an interferometry assembly and a measurement object along each of three different measurement axes while moving the measurement object relative to the interferometry assembly, determining values of a first parameter and a second parameter for different positions of the measurement object from the monitored distances, wherein for a given position the first parameter is based on the monitored distances of the measurement object along each of the three different measurement axes at the given position, and for a given position the second parameter is based on the monitored distance of the measurement object along each of two of the measurement axes at the given position, and deriving information about a surface figure profile of the measurement object from the first and second parameter values.

Abstract translation: 通常，在一个方面，本发明的特征在于，包括在沿着三个不同测量轴中的每一个干涉测量组件和测量对象之间进行干涉测量同时相对于干涉测量组件移动测量对象的干涉测量方法，确定第一参数的值， 测量对象与监测距离的不同位置的第二参数，其中对于给定位置，第一参数基于测量对象沿给定位置处的三个不同测量轴中的每一个的监测距离，以及对于给定位置 位置第二参数是基于测量对象沿着给定位置处的两个测量轴中的每一个的监测距离，以及从第一和第二参数值导出关于测量对象的表面图形的信息。

公开(公告)号：JP2006038869A

公开(公告)日：2006-02-09

申请号：JP2005219472

申请日：2005-07-28

Applicant: Agilent Technol Inc ,  アジレント・テクノロジーズ・インクAgilent Technologies, Inc.

Inventor： FINE KEVIN R ,  FELIX GREG C ,  BOCKMAN JOHN J ,  WOOLVERTON DOUGLAS P

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01J9/0215 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02051 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a desired beam pattern by a simple interferometer system. SOLUTION: The interferometer system 100 contains first and second optical element stacks. In a first optical element stack, the inclined surface of a first prism 102 is mounted on the inclined surface of a second prism 104, and the interface between the inclined surfaces contains a first PBS 106. In a second optical element stack, the inclined surface of a third prism 112 is mounted on the inclined surface of a fourth prism 114, and the interface between the inclined surfaces contains a second PBS 116. The inclined surfaces of the first and the second prisms are aligned with the inclined surface of the fourth prism. First to fourth length board elements 122 to 128 are arranged in a beam path between a rhombus assembly and at least one of a measurement optical element and a reference optical element, and a redirect optical element 132 is arranged adjacent to the vertical plane of at least the first and the first prisms. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Abstract translation: 要解决的问题：通过简单的干涉仪系统提供期望的波束图案。 解决方案：干涉仪系统100包含第一和第二光学元件堆叠。 在第一光学元件堆叠中，第一棱镜102的倾斜表面安装在第二棱镜104的倾斜表面上，并且倾斜表面之间的界面包含第一PBS 106.在第二光学元件堆叠中，倾斜表面 第三棱镜112的倾斜表面安装在第四棱镜114的倾斜表面上，并且倾斜表面之间的界面包含第二PBS 116.第一和第二棱镜的倾斜表面与第四棱镜114的倾斜表面对准 。 第一至第四长度板元件122至128布置在菱形组件与测量光学元件和参考光学元件中的至少一个之间的光束路径中，并且重定向光学元件132布置成与至少的垂直平面相邻 第一和第一棱镜。 版权所有（C）2006，JPO＆NCIPI

公开(公告)号：WO2005108913A1

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：PCT/GB2005/001785

申请日：2005-05-11

Applicant: RENISHAW plc ,  LEE, William, Ernest

Inventor： LEE, William, Ernest

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02019 ,  G01B9/02056 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261

Abstract: A polarising double-passed interferometer comprises a polarising beamsplitter (16), a reference mirror (20) in the path of a reference beam (14) and a movable measurement mirror (26) in the path of a measurement beam (12). The reference and measurement beams have different polarisations. An angular beam deflection device such a glass wedge or prism (32) acts to remove or separate out an error beam (30) caused by leakage of light of one polarisation into the path of light of the other polarisation.

Abstract translation: 偏振双向干涉仪包括偏振分束器（16），参考光束（14）的路径中的参考反射镜（20）和测量光束（12）的路径中的可移动测量反射镜（26）。 参考和测量光束具有不同的极化。 诸如玻璃楔形物或棱镜（32）的角度束偏转装置用于去除或分离由一个偏振光的光泄漏到另一个极化的光的路径中引起的误差束（30）。

公开(公告)号：WO1988008519A1

公开(公告)日：1988-11-03

申请号：PCT/CH1988000070

申请日：1988-03-30

Applicant: WILD HEERBRUGG AG ,  DÄNDLIKER, René

Inventor： WILD HEERBRUGG AG

IPC: G01J09/04

CPC classification number: G01B9/02007 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02067 ,  G01B2290/70 ,  G01J9/04 ,  G01J2009/0207 ,  G01J2009/0253 ,  G01J2009/0261

Abstract: The device comprises : a laser device (10, 20) for the frequency n1 (11) and the frequency n2 (21), each provided with a polarizing beam splitter (12, 22) for producing crossed polarized partial beams of frequency n1 (13, 14) and n2 (23, 24), respectively, with a modulator (18, 28) for shifting the frequency of each of the partial beams to the frequency f1 or f2, respectively, with a pair of deflecting mirrors (15, 17, 25, 27) and with a polarizing beam splitter (16, 26) for uniting (19, 29) the partial beams n1, n1+f1, n2, n2+f2; two photodetectors (35, 45) before each of which a polarizer (34, 44) is arranged; a Michelson interferometer; a non-polarizing beam splitter (30) for distributing each of the partial beams (19, 29) into a measurement light beam (32) or a reference light beam (33). The reference light beam is transmitted to the corresponding photodetector (35). The measurement light beam (32) is transmitted to the Michelson interferometer and then to the corresponding photodetector (45).The photodetector signals are modulated in function of the amplitude, and the phase difference between the two modulated signals is determined. This phase difference depends only on the position of the test object and the equivalent wavelenght of the difference, n1-n2. For stabilization or correction, the device can be executed in duplicate and one of the executions used as a reference. The corresponding process can be applied to determine positions or distances as the interval between two positions. Uncertainties can be eliminated by shifting the distance or changing the frequency with simultaneous integration of the phase difference over time.

Abstract translation: 该装置包括：用于频率n1（11）和频率n2（21）的激光装置（10,20），每个激光装置（10,20）设有偏振分束器（12,22），用于产生频率为n1的十字偏振分光束 ，14）和n2（23,24）分别具有用于将每个分光束的频率分别用一对偏转镜（15,17）移动到频率f1或f2的调制器（18,28） （25,27），以及用于将部分光束n1，n1 + f1，n2，n2 + f2联合（​​19,29）的偏振分束器（16,26） 在每个光电检测器（35,45）之前布置有偏振器（34,44）; 迈克尔逊干涉仪 用于将每个分光束（19,29）分配到测量光束（32）或参考光束（33）中的非偏振分束器（30）。 参考光束被传送到相应的光电检测器（35）。 将测量光束（32）传输到迈克尔逊干涉仪，然后传输到相应的光电检测器（45）。光电探测器信号由幅度调制，两个调制信号之间的相位差被确定。 该相位差仅取决于测试对象的位置和差值的等效波长n1-n2。 对于稳定或校正，设备可以重复执行，其中一个执行作为参考。 可以应用相应的过程来确定位置或距离作为两个位置之间的间隔。 通过移动距离或改变频率可以消除不确定性，同时整合相位差随时间的变化。

公开(公告)号：WO2005106383A3

公开(公告)日：2006-05-04

申请号：PCT/US2005013711

申请日：2005-04-22

Applicant: ZYGO CORP ,  HILL HENRY A ,  WOMACK GARY

Inventor： HILL HENRY A ,  WOMACK GARY

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02 ,  G01J9/02 ,  G03F7/20

CPC classification number: G01B9/02061 ,  G01B9/02018 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02059 ,  G01B9/02072 ,  G01B9/02084 ,  G01B2290/15 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261 ,  G03F7/70775

Abstract: In general, in one aspect, the invention features methods that include interferometrically monitoring a distance between an interferometry assembly (100) and a measurement object (120) along each of three different measurement axes while moving the measurement object relative to the interferometry assembly, determining values of a first parameter and a second parameter for different positions of the measurement object from the monitored distances, wherein for a given position the first parameter is based on the monitored distances of the measurement object along each of the three different measurement axes at the given position, and for a given position the second parameter is based on the monitored distance of the measurement object along each of two of the measurement axes at the given position, and deriving information about a surface figure profile of the measurement object from the first and second parameter values.

Abstract translation: 通常，在一个方面，本发明的特征在于，包括在沿着三个不同测量轴中的每一个干涉测量组件（100）和测量对象（120）之间的距离干涉测量的同时移动测量对象相对于干涉测量组件的方法，确定 测量对象与所监视距离的不同位置的第一参数和第二参数的值，其中对于给定位置，第一参数基于测量对象沿着给定的三个不同测量轴中的每一个的监测距离 并且对于给定位置，第二参数基于测量对象沿着给定位置处的两个测量轴中的每一个的监视距离，以及从第一和第二位置导出关于测量对象的表面图形的信息 参数值。

公开(公告)号：WO2004033986A1

公开(公告)日：2004-04-22

申请号：PCT/EP2002/011390

申请日：2002-10-11

Applicant: AGILENT TECHNOLOGIES, INC. ,  KALLMANN, Ulrich ,  STEFFENS, Wolf ,  HAEUSSLER, Ralf ,  NEBENDAHL, Bernd ,  MUELLER, Emmerich ,  CERULLIES, Jens

Inventor： KALLMANN, Ulrich ,  STEFFENS, Wolf ,  HAEUSSLER, Ralf ,  NEBENDAHL, Bernd ,  MUELLER, Emmerich ,  CERULLIES, Jens

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01J9/0246 ,  G01B9/02004 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0207 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/60 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261

Abstract: The present invention relates to an apparatus and to a method of monitoring an interferometer (2), comprising the steps of: coupling a first optical signal (62) into the interferometer (2) and into a wavelength reference element (18), detecting a first resulting interference signal (68) being a result of interference of parts of the first optical signal (62) in the interferometer (2), detecting a resulting reference signal (70) of the wavelength reference element (18), the resulting reference signal (70) being a result of interaction of the first optical signal (62) with the wavelength reference element (18), and comparing the first resulting interference signal (68) with the resulting reference signal (70) to detect a drift of the interferometer (2), if any.

Abstract translation: 本发明涉及一种监测干涉仪（2）的装置和方法，包括以下步骤：将第一光信号（62）耦合到干涉仪（2）中并进入波长参考元件（18），检测 第一产生的干扰信号（68）是干涉仪（2）中的第一光信号（62）的部分的干扰的结果，检测所得到的参考信号（70），得到的参考信号 （70）是所述第一光信号（62）与所述波长参考元件（18）的相互作用的结果，并且将所述第一结果干扰信号（68）与所得到的参考信号（70）进行比较以检测所述干涉仪的漂移 （2）如有。

公开(公告)号：WO1990010191A1

公开(公告)日：1990-09-07

申请号：PCT/CH1990000008

申请日：1990-01-15

Applicant: PROLITEC AG ,  WAGNER, Heinz ,  LABHART, Martin ,  GLAUS, Ulrich

Inventor： PROLITEC AG

IPC: G01B09/02

CPC classification number: G01J3/447 ,  G01B2290/70 ,  G01J3/4537 ,  G01J2009/0261

Abstract: A polarization interferometer comprises a light source (1), a collimator (2), a first polarization element (3), a system of double-refracting elements (4, 5, 6) and a second polarizing element (7) which polarizes the light emerging from the double-refracting element (4, 5, 6) and directs it to a photon detector (8). The double-refractive element (4, 5, 6) consists of two optical wedges (5, 6) which together constitute a right parallepiped and which are arranged so as to slide relative to each other along opposed side surfaces, and a double-refracting plate (4) with parallel faces which acts as a compensator. The optical axis of the compensator (4) makes a finite angle with those of the two wedges (5, 6) in the plane perpendicular to the light beam, the optical axes of both wedges (5, 6) being coincident. The optical axes of the two polarizers (3, 7) are mutually perpendicular or parallel and are not aligned parallel to the axes of the two wedges (5, 6) of the double-refractive element (4, 5, 6).

Abstract translation: 偏振干涉仪包括光源（1），准直器（2），第一偏振元件（3），双折射元件（4,5,6）和第二偏振元件（7）的系统，其使 从双折射元件（4,5,6）出现的光并将其引导到光子检测器（8）。 双折射元件（4,5,6）由两个光楔（5,6）组成，它们一起构成右平行四边形，并且被布置为相对于彼此相对的侧面相对滑动，并且双折射 平板（4）具有作为补偿器的平行面。 补偿器（4）的光轴与垂直于光束的平面中的两个楔形物（5,6）的光轴形成有限的角度，两个楔形物（5,6）的光轴重合。 两个偏振器（3,7）的光轴相互垂直或平行，并且不平行于双折射元件（4,5,6）的两个楔形物（5,6）的轴线对准。

公开(公告)号：WO2012059690A1

公开(公告)日：2012-05-10

申请号：PCT/FR2011/052561

申请日：2011-11-02

Applicant: IXBLUE ,  LEFEVRE, Hervé ,  MOLUCON, Cédric ,  BONNEFOIS, Jean-Jacques ,  AUBRY, Karl

Inventor： LEFEVRE, Hervé ,  MOLUCON, Cédric ,  BONNEFOIS, Jean-Jacques ,  AUBRY, Karl

IPC: G01J9/02

CPC classification number: G01B9/02055 ,  G01J9/0246 ,  G01J2009/023 ,  G01J2009/0261 ,  G01J2009/0288

Abstract: La présente invention concerne un système interférométrique comprenant des moyens de séparation de polarisation (10), des premiers moyens de conversion de polarisation (1 1 ), un interféromètre (2) de type Mach-Zehnder comprenant un premier (4) et un second (5) bras reliés entre eux par une première (6) et une seconde (7) extrémités de manière à ce qu'un premier et un second faisceaux (20, 21 ) de même polarisation parcourent l'interféromètre de manière réciproque suivant des directions de propagation respectivement opposées pour former un premier et un second faisceaux interférométriques (22, 23), des seconds moyens de conversion de polarisation (1 1 ) pour obtenir un faisceau interférométrique converti en polarisation (24), des moyens de combinaison de polarisation (10) et des moyens de détection (8) aptes à détecter un faisceau de sortie (25).

Abstract translation: 本发明涉及一种干涉测量系统，其包括偏振分离装置（10），第一偏振转换装置（11），马赫 - 策德尔干涉仪（2），包括连接到一个 另一个通过第一（6）和第二（7）端，以使具有相同极化的第一和第二光束（20,21）分别以相反的方向穿过干涉仪，从而 形成第一和第二干涉波束（22,23），第二偏振转换装置（11），用于获得其偏振转换的干涉波束（24），偏振组合装置（10）和检测装置 （8）适于检测输出光束（25）。

公开(公告)号：WO2005108913A8

公开(公告)日：2006-06-15

申请号：PCT/GB2005001785

申请日：2005-05-11

Applicant: RENISHAW PLC ,  LEE WILLIAM ERNEST

Inventor： LEE WILLIAM ERNEST

IPC: G01B9/02 ,  G01J9/02

CPC classification number: G01B9/02019 ,  G01B9/02056 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261

Abstract: A polarising double-passed interferometer comprises a polarising beamsplitter (16), a reference mirror (20) in the path of a reference beam (14) and a movable measurement mirror (26) in the path of a measurement beam (12). The reference and measurement beams have different polarisations. An angular beam deflection device such a glass wedge or prism (32) acts to remove or separate out an error beam (30) caused by leakage of light of one polarisation into the path of light of the other polarisation.

Abstract translation: 偏振双向干涉仪包括偏振分束器（16），参考光束（14）的路径中的参考反射镜（20）和测量光束（12）的路径中的可移动测量反射镜（26）。 参考和测量光束具有不同的极化。 诸如玻璃楔形物或棱镜（32）的角度束偏转装置用于去除或分离由一个偏振光的光泄漏到另一个极化的光的路径中引起的误差束（30）。