具有光栅的集成电路及其制造方法

    公开(公告)号:CN102150020A

    公开(公告)日:2011-08-10

    申请号:CN200980135964.4

    申请日:2009-09-12

    CPC classification number: G01J3/02 G01J3/021 G01J3/0259 G01J3/18 G01J3/2803

    Abstract: 本发明公开了一种集成电路(100),其包括:衬底(110),其承载有多个光敏元件(112);以及闪耀光栅(120),包括多个衍射元件(122),用于将入射光(150)的相应光谱分量(123-125)衍射至相应的光敏元件(112)上,所述闪耀光栅(120)包含多个叠层,这些叠层中的至少一些包括第一部分,例如金属部分所述第一部分排列为使得每一个衍射元件(122)具有堆叠的第一部分的阶梯剖面,其中较高层的第一部分横向地延伸超过所述阶梯剖面中较低层的第一部分。

    一种折反混合多光谱成像系统

    公开(公告)号:CN102116673A

    公开(公告)日:2011-07-06

    申请号:CN201110028648.6

    申请日:2011-01-27

    CPC classification number: G01J3/0208 G01J3/021 G01J3/36

    Abstract: 本发明公开了一种折反混合多光谱成像系统,包括具有中心开孔且反射面为凹面的主镜、入射面为凸面的折反射两用型次镜、楔形二色分光镜、中波或长波红外或中长波红外双波段成像镜组、中波或长波红外或中长波红外双色探测器单元、可见至近红外波段成像镜组、可见至近红外波段分色器件与探测单元、短波红外波段成像镜组、短波红外波段波段分色器件与探测单元。本系统实现了对同一目标共视场共孔径成像,提高了光能利用率,节省了分光镜和系统空间,可防止由主镜开孔直接漏进成像镜组的杂光,校正非对称像差,更有利于实现大孔径和较大的视场,成像质量显著提高。同光轴共视场成像使图像易于配准。

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