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公开(公告)号:CN105758522A
公开(公告)日:2016-07-13
申请号:CN201610243071.3
申请日:2016-04-19
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/04
CPC classification number: G01J3/04
Abstract: 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝,该狭缝通过在蓝宝石片基底的入射面先镀制一层亚微米级厚的镍铬合金消光膜层形成狭缝图形,然后再分别在入射面和出射面镀制相应波段的增透膜。该狭缝可以使得在0.95~2.50微米光谱区间,透明狭缝区域的光谱透过率大于97%,不透明区域的光谱平均透过率低于0.1%。该狭缝宽度和形状可调,线性精度可达1微米。狭缝厚度仅为200~300纳米,可有效去除杂散光,狭缝结构简洁,定位精度高。该狭缝可应用于短波红外成像光谱仪等短波红外仪器中。
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公开(公告)号:CN102762966B
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201080064168.9
申请日:2010-04-29
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
Inventor: 柯正浩
CPC classification number: G02B6/34 , G01J3/0256 , G01J3/04 , G01J3/20 , G01J3/2803 , G02B6/26
Abstract: 一种具有锥状狭缝(34)的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构(30)。其中,微型光谱仪的光机模块包含一输入部(20)以及一微型绕射光栅(40)。输入部(20)包含一狭缝结构(30),其接收一第一光学信号(S1)并输出一第二光学信号(S2)沿着一第一光路(OP1)行进。狭缝结构(30)包含一基板(32)及一狭缝(34),狭缝(34)贯穿基板(32),且狭缝(34)从基板(32)的一第一面(32A)到基板(32)的一第二面(32B)具有渐缩的尺寸。微型绕射光栅(40)设置于第一光路(OP1)上,接收第二光学信号(S2)并将第二光学信号(S2)分离成多个光谱分量(C)沿着一第二光路(OP2)行进。本发明实施例的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构,可以利用半导体制造工艺来大量生产,降低成本,并且可使狭缝具有平滑的表面,以免对于入射光造成反效果。
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公开(公告)号:CN101542249B
公开(公告)日:2012-07-25
申请号:CN200880000507.X
申请日:2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)具有:本体部(2),使光(L1、L2)透过;分光部(3),对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光,并向前面(2a)侧反射;光检测元件(4),具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41),通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9);以及底填充材料(12),填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧,并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42),光通过孔(42)的光入射开口(42a)的一部分被光透过板(16)覆盖。
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公开(公告)号:CN102141507A
公开(公告)日:2011-08-03
申请号:CN201010107047.X
申请日:2010-01-29
Applicant: 北京普析通用仪器有限责任公司
IPC: G01N21/01
CPC classification number: G01J3/04 , G01J1/04 , G01J1/0462
Abstract: 本发明提供了一种连续可变狭缝机构的安装调试方法,包括如下步骤:在第一、二滑杆上分别安装第一、二左缝片和第一、右缝片,并拼到零缝隙;安装两只用来测量第一、二滑杆水平移动距离a1,a2的位移测量仪;用下式计算修正值e′:再用公式:可计算出:则控制步进电机走n′步,所得到的狭缝Tr′的误差可控制在±0.002mm。普通精度等级的连续可变狭缝机构使用本发明的方法调试后能达到很高的精度。
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公开(公告)号:CN101542252A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200880000510.1
申请日:2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)具有:本体部(2),使光(L1、L2)透过;分光部(3),对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光,并向前面(2a)侧反射;光检测元件(4),具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41),通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9);以及底填充材料(12),填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧,并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42),在光检测元件(4)中的本体部(2)侧的后面(4a),以包围光通过孔(42)的光出射开口(42b)的方式形成有积存部(43)。
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公开(公告)号:CN101542249A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200880000507.X
申请日:2008-06-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/04 , G01J3/02 , G01J3/0202 , G01J3/0243 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/18 , G01J3/2803
Abstract: 分光模块(1)具有:本体部(2),使光(L1、L2)透过;分光部(3),对从本体部(2)的前面(2a)入射于本体部(2)的光(L1)进行分光,并向前面(2a)侧反射;光检测元件(4),具有检测被分光部(3)分光并反射的光(L2)的光检测部(41),通过倒装接合而电连接于形成于本体部(2)的前面(2a)的配线(9);以及底填充材料(12),填充于光检测元件(4)的本体部(2)侧,并使光(L1、L2)透过。光检测元件(4)具有使向分光部(3)行进的光(L1)通过的光通过孔(42),光通过孔(42)的光入射开口(42a)的一部分被光透过板(16)覆盖。
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公开(公告)号:CN1556917A
公开(公告)日:2004-12-22
申请号:CN03801076.3
申请日:2003-03-24
Applicant: 大塚电子株式会社
CPC classification number: G01J3/02 , G01J3/0218 , G01J3/0229 , G01J3/0232 , G01J3/04 , G01J2003/326 , G01N21/253 , G01N21/474 , G01N21/55 , G01N21/59 , G01N2201/043
Abstract: 本发明提供了一种多点测量系统,它包括:光源(1、2);多个照明光纤(5、6),用于将光源发出的光传送给试样,以便照亮试样的多个点(A、B);多个接收光纤(8、9),用于在该多个点采集光束,该光束包括透射、反射和散射光束;光学通路选择部件(10),它包括旋转盘(12),该旋转盘有孔,用于通过接收光纤(11)传递由多个接收光纤(8、9)中的一个采集的光束;以及MCPD(4)。当旋转盘(12)旋转以便使孔移动至或停止在所希望的通道的光能够通过的位置处时,可以只对相应接收光纤(8、9、11)通过的光进行测量。在其它通道处的光可以通过使旋转盘旋转预定角度来测量。
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公开(公告)号:CN1060356A
公开(公告)日:1992-04-15
申请号:CN91109603.5
申请日:1991-09-28
Applicant: 株式会社岛津制作所
Inventor: 佐藤辰巳
IPC: G01J3/12
CPC classification number: G01J3/04
Abstract: 一种单色仪的入口缝隙和出口缝隙,其形状为从中心朝它们高度方向的两端缝隙宽度变得更小,所述宽度为单色仪中光分离方向上的尺寸。这种形状的一个例子是菱形。当从单色仪中发射出的光的总量以及单色仪的分辨率设定成相同时,对于测定小的样品,其光的利用率得以增加,而从单色仪射出的光中散射光的比例却变得更小。
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公开(公告)号:CN109682471A
公开(公告)日:2019-04-26
申请号:CN201910070456.8
申请日:2019-01-25
Applicant: 奥谱天成(厦门)科技有限公司
CPC classification number: G01J3/28 , G01J3/0202 , G01J3/04
Abstract: 本发明提供了一种高精多维度光谱仪探测器调节结构,包括壳体、聚焦反射装置、反射装置、光检测装置、光栅、可调固定机构,所述壳体上设有狭缝,所述聚焦反射装置、反射装置、光检测装置、光栅顺时针安装在壳体内,所述狭缝位于光栅和聚焦反射装置之间,所述狭缝朝向反射装置,所述狭缝、反射装置、光栅、聚焦反射装置、光检测装置组成光谱路径,光线可依次通过狭缝、反射装置、光栅、聚焦反射装置的反射射入光检测装置,所述可调固定机构包括总固定块、角度调节装置,所述总固定块上具有固定侧面、安装侧面,总固定块固定侧面通过角度调节装置安装在壳体上,光检测装置安装在总固定块安装侧面上。本发明调节结构具有结构简单,调节方便的优点。
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公开(公告)号:CN109060129A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201810945447.4
申请日:2018-08-20
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
CPC classification number: G01J3/2823 , G01J3/04
Abstract: 本发明公开了一种基于自由曲面及曲面棱镜的成像光谱仪光学系统,成像光谱仪系统由前置望远镜和分光系统组成,前置望远镜为大视场改进型离轴三反,分光系统由狭缝、自由曲面准直镜、曲面棱镜、自由曲面成像镜、分色片、可见近红外探测器以及短波红外探测器组成,系统针对长狭缝严格地校正色畸变和谱线弯曲,各波长处的成像质量接近衍射极限。该发明的特点在于,利用曲面棱镜分光,结合光学自由曲面大的自由度的特性,实现宽谱段、高效率的光谱成像,同时校正长狭缝带来的谱线弯曲和色畸变。
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