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公开(公告)号:CN104428643A
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201280074481.X
申请日:2012-06-04
Applicant: 英派尔科技开发有限公司
IPC: G01J3/44
Abstract: 描述了一种利用外差检测方案进行拉曼光谱的系统和方法。该外差检测方案能够将已经穿过待分析样品的辐射的经调制的部分与基准辐射组合,以生成组合的频率信号。该基准辐射的至少一部分能够被从该组合的频率信号滤出,产生经滤波的频率信号。可以根据经滤波的信号确定与样品相关的信息。然后可以分析所确定的信息以确定该样品的化学成分。
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公开(公告)号:CN103528685A
公开(公告)日:2014-01-22
申请号:CN201310276320.5
申请日:2013-07-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 西村晃幸
CPC classification number: G01J3/433 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/26 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供能进行快速的分光测定的分光测定装置。分光测定装置(1)具备:波长可变干涉滤波器(5),包括具有固定反射膜的固定基板、具有可动反射膜的可动基板、以及变更固定反射膜和可动反射膜之间的反射膜间间隙的间隙量的静电致动器;检测部(11),检测由波长可变干涉滤波器(5)取出的光的光强度;电压设定部(21)以及电压控制部(15),对静电致动器施加连续变化的模拟电压;电压监视部(22),监视施加给静电致动器的电压;存储部(30),存储V-λ数据;以及光强度取得部(24),根据由电压监视部(24)监视的电压,在透过波长可变干涉滤波器(5)的光成为测定对象波长的定时,取得由检测部(11)检测的光强度。
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公开(公告)号:CN1908624A
公开(公告)日:2007-02-07
申请号:CN200610109159.2
申请日:2006-08-03
Applicant: IR微系统股份有限公司
CPC classification number: G01N21/39 , G01J3/433 , G01N21/3504 , G01N2201/0691
Abstract: 气体检测器装置包括至少一个VCSEL源和至少一个光传感器,用于检测已通过包括要被检测的给定气体的样品室的光束。将传感器的检测信号直接供给电子微分器,或由电子微分器进行时间求导,并然后被供给相应的锁定放大器,以便产生两个不同的2f-检测,f是源的波长调制的频率,并因此提供两个相应的测量信号,这两个测量信号相除给出气体浓度的精确值。本发明至少利用频率均为激光源的调制频率的两倍的第一调制参考信号和第二调制参考信号。与现有技术相比,提供至少第一2f调制参考信号是有利的,因为通过使用这种调制参考信号能测量绝对强度并因此在激光的不同温度处或模式跳跃处接收相同结果。另一优点是,测量精确度与气体浓度无关。
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公开(公告)号:CN1167914A
公开(公告)日:1997-12-17
申请号:CN96112704.X
申请日:1996-10-09
Applicant: 液体空气乔治洛德方法利用和研究有限公司
CPC classification number: G01N21/3504 , C23C16/4412 , G01J3/433 , G01N21/031 , G01N21/05 , G01N21/15
Abstract: 提供一种新型的多边形平面多路径元件,以及在吸收光谱测定中应用的方法。元件包括被多个薄壁环绕的样品区,每个薄壁有一个面向样品区的光反射表面。每个薄壁至少连接到另一个薄壁,使得在横截面实质上形成一个多边形。多边形的至少一个边具有一个光进/出口,进/出口含有一个光传输窗,窗有一个面向样品区的表面元件可用于测量样品中分子气体杂质,特别适用于半导体加工。
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公开(公告)号:CN106323469B
公开(公告)日:2019-05-03
申请号:CN201610812095.6
申请日:2016-09-09
Applicant: 华讯方舟科技有限公司 , 深圳市太赫兹系统设备有限公司
Abstract: 本发明适用于太赫兹技术领域,提供一种电控光取样系统、方法及太赫兹时域光谱仪,其中,电控光取样系统包括第一飞秒脉冲激光器、第二飞秒脉冲激光器、第一分束器、第二分束器、第一光电传感器、第二光电传感器、相位探测器、函数发生器、加法器和PID调节器;第一分束器通过光纤与第一飞秒脉冲激光器连接,第二分束器通过光纤与第二飞秒脉冲激光器连接,第二飞秒脉冲激光器包括压电传感器,第一光电传感器和第二光电传感器均与相位探测器连接,相位探测器、函数发生器和PID调节器均与加法器连接,PID调节器还与压电传感器连接。本发明通过采用电控光取样系统来实现时域扫描,可有效保证光束传播方向的稳定、色散小、扫描速度快。
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公开(公告)号:CN108027315A
公开(公告)日:2018-05-11
申请号:CN201680046385.2
申请日:2016-06-20
Applicant: 麻省理工学院
Inventor: 托马斯·H·杰 , 威廉姆·D·赫尔佐克 , 布莱恩·G·萨尔 , 亚历山大·M·斯托里亚洛夫 , 瑞恩·苏伦伯格 , 大卫·克朗普顿 , 肖姆·迈克尔·雷德蒙
CPC classification number: G01J3/433 , G01J3/108 , G01J3/2823 , G01J3/447 , G01N21/1717 , G01N21/636 , G01N2021/1725
Abstract: 设备(100)和相应方法包括配置为在抽运调制上进行调制和照射靶标样本(112)的抽运光源(102)。该设备还包括设置为从所述靶标样本产生斑点图案(114)的探针光源(106),以及配置为检测与抽运调制具有相关性的斑点图案的一个或多个斑点叶的位置和强度中至少一项的改变的感应器(110)。通过将斑点图案改变分析为抽运光照射的函数,该设备和方法用于表面、气体、液体、颗粒和其他靶标材料的非接触性监测和远程感应。优势可以包括比已有方法高得多的灵敏性;能够将可见探针波长用于无制冷、低成本可见检测器,并具有高空间分辨率;以及能够不需要检测红外光而获得靶标材料性质。
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公开(公告)号:CN104903704B
公开(公告)日:2018-02-06
申请号:CN201480004033.1
申请日:2014-06-19
Applicant: 罗斯蒙特分析公司
Inventor: 帕维尔·克卢钦斯基
CPC classification number: G01N21/27 , G01J3/0205 , G01J3/021 , G01J3/42 , G01J3/433 , G01J3/4338 , G01J2003/423 , G01N21/39
Abstract: 提供一种气体吸收光谱系统和方法。密封腔中设置有具有已知水分浓度的参考气体。照射光源(112)被设置在密封腔中并被构造成生成照射光束。测量室(104)联接到密封腔并被构造成暴露给气体样品(106),使得穿过测量室(104)的照射光(118)穿过气体样品(106)。处理窗口(116)被设置在密封腔和测量室(104)之间。处理窗口(116)被构造成接收来自照射光源(112)的照射光束并反射照射光的第一部分(128),同时允许照射光的第二部分(118)进入测量室(104)。参考探测器(110)被设置成接收照射光的第一部分(128)并提供参考探测器信号。测量探测器(108)被设置成在照射光的第二部分已传输通过测量室(104)后接收照射光的第二部分(124)并提供测量探测器信号。控制器(105)连接到参考探测器(110)和测量探测器(108),并被配置成基于参考探测器信号和测量探测器信号提供经补偿的水分输出。
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公开(公告)号:CN106796144A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201580044589.8
申请日:2015-08-11
Applicant: 国家健康与医学研究院 , 波尔多大学
Inventor: 西里尔·波蒂布瓦斯 , 弗拉迪米尔·博布罗夫 , 阿德里安·特拉沃 , 埃里克·戈尔曼格蒂格
CPC classification number: G01J3/433 , G01J3/28 , G01J3/42 , G01J2003/283 , G01N21/31 , G01N21/6486 , G01N2021/3196 , G01N2021/6423 , G01N2201/12
Abstract: 本发明涉及一种用于确定光谱中至少一个吸收谱带的方法,该方法至少包括步骤:‑自样品提供测量得到的吸收光谱,‑提供计算光谱,‑从计算光谱中提取至少一个吸收谱带,‑通过从计算光谱去除每个提取得到的吸收谱带,计算剩余光谱,‑测试剩余光谱是否满足预设的停止准则,‑如果不满足停止准则,则使用剩余光谱作为计算光谱并重复提取步骤、形成步骤、计算步骤和测试步骤,以及‑如果满足停止准则,则输出每个提取得到的吸收谱带。
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公开(公告)号:CN103528685B
公开(公告)日:2017-05-24
申请号:CN201310276320.5
申请日:2013-07-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 西村晃幸
CPC classification number: G01J3/433 , G01J3/0264 , G01J3/027 , G01J3/26 , G02B26/001
Abstract: 本发明提供能进行快速的分光测定的分光测定装置。分光测定装置(1)具备:波长可变干涉滤波器(5),包括具有固定反射膜的固定基板、具有可动反射膜的可动基板、以及变更固定反射膜和可动反射膜之间的反射膜间间隙的间隙量的静电致动器;检测部(11),检测由波长可变干涉滤波器(5)取出的光的光强度;电压设定部(21)以及电压控制部(15),对静电致动器施加连续变化的模拟电压;电压监视部(22),监视施加给静电致动器的电压;存储部(30),存储V‑λ数据;以及光强度取得部(24),根据由电压监视部(24)监视的电压,在透过波长可变干涉滤波器(5)的光成为测定对象波长的定时,取得由检测部(11)检测的光强度。
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公开(公告)号:CN104126106B
公开(公告)日:2016-11-09
申请号:CN201280070094.9
申请日:2012-12-19
Applicant: 小利兰·斯坦福大学托管委员会
CPC classification number: G01N21/39 , G01J3/433 , G01J3/4338 , G01N33/0062 , G01N2201/12
Abstract: 提供一种免校准扫描波长调制光谱(WMS)吸收感测的方法,通过使用1f‑归一化WMS‑2f在传感器上获取气体样本的吸收谱线形状测量值,其中在频率f处调制至注入电流可调谐二极管激光器(TDL)的注入电流,其中对该TDL的波长调制以及强度调制同时发生;使用数字锁定程序和合适带宽的低通滤波器来提取WMS‑nf(n=1,2,……)信号,其中WMS‑nf信号是f的谐波;根据这些WMS‑nf信号的比值来确定该气体样本的物理性质;且使用扫描波长WMS确定零吸收背景,并使用至少两个谐波确定非吸收损耗,其中,在碰撞谱线展宽混合跃迁线宽的环境下,从测量中去除了对于非吸收基线测量的需要,其中使得能够在不知道跃迁线宽的情况下进行免校准WMS测量。
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