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公开(公告)号：CN112912701A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201980068536.8
申请日：2019-11-19
Applicant: 株式会社日立高新技术
Abstract: 分光光度计(300)包括白色光源(212)、对从白色光源(212)释放的光进行聚光的聚光透镜(242a、242b)、对由聚光透镜(242a、242b)聚光后的光进行衍射的狭缝(245)、对通过狭缝(245)的光进行分光的凹面衍射光栅(246)、以及具有对由凹面衍射光栅(246)分光后的光进行检测的多个光检测元件(304)的多波长检测器(248)，多波长检测器(248)具有的多个光检测元件(304)中的各个配置于凹面衍射光栅(246)的成像位置。
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公开(公告)号：CN102762966A
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：CN201080064168.9
申请日：2010-04-29
Applicant: 台湾超微光学股份有限公司
Inventor： 柯正浩
CPC classification number: G02B6/34 , G01J3/0256 , G01J3/04 , G01J3/20 , G01J3/2803 , G02B6/26
Abstract: 一种具有锥状狭缝（34）的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构（30）。其中，微型光谱仪的光机模块包含一输入部（20）以及一微型绕射光栅（40）。输入部（20）包含一狭缝结构（30），其接收一第一光学信号（S1）并输出一第二光学信号（S2）沿着一第一光路（OP1）行进。狭缝结构（30）包含一基板（32）及一狭缝（34），狭缝（34）贯穿基板（32），且狭缝（34）从基板（32）的一第一面（32A）到基板（32）的一第二面（32B）具有渐缩的尺寸。微型绕射光栅（40）设置于第一光路（OP1）上，接收第二光学信号（S2）并将第二光学信号（S2）分离成多个光谱分量（C）沿着一第二光路（OP2）行进。本发明实施例的微型光谱仪的光机模块及其狭缝结构，可以利用半导体制造工艺来大量生产，降低成本，并且可使狭缝具有平滑的表面，以免对于入射光造成反效果。
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公开(公告)号：CN101256144B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810102876.1
申请日：2008-03-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 真空紫外光谱检测装置属于光谱分析领域。该装置包括：入口狭缝(2)，凹面光栅(3)，光纤阵列(4)和平板检测器(5)。入口狭缝(2)和凹面光栅(3)安装于真空腔体(1)之中，光纤阵列(4)的一个端面与由入口狭缝(2)和凹面光栅(3)所决定的罗兰圆面重合。光纤阵列(4)的该端面涂有可将真空紫外光转化为可见光的荧光物质，另一端面分叉为多个子光纤阵列，子光纤阵列的端面为平面并分别与一个平板检测器(5)相连接。本装置有同时测量一定波长范围内真空紫外光谱的能力，并达到掠入射光栅真空紫外光谱仪的光谱和像素分辨率，检测的时间响应好且有很高的灵敏度；真空腔体内无需可移动部件，结构简单可靠。
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公开(公告)号：CN109724696A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201811537702.8
申请日：2018-12-15
Applicant: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Abstract: 本发明提供的罗兰光栅光谱仪光谱分辨率的检测系统，所述光源出射的光束经所述光纤入射进入所述入射狭缝，通过调节所述入射狭缝的宽度以改变光束入射所述入射狭缝的角度，经所述入射狭缝的光束入射到所述罗兰光栅，经所述罗兰光栅分光后聚到所述探测器，并通过微调所述出射旋臂的长度和角度，使所述探测器接收到的光谱能量最强且波形对称，再通过所述计算机计算接收光谱的间隔已得到所述罗兰光栅光谱仪的光谱分辨率，本发明提供的罗兰光栅光谱仪光谱分辨率的检测系统具有稳定性好、分析结果准确、运行成本低、灵活性高的特点，可实现对罗兰光栅光谱仪光谱分辨率的精确测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107148561B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201580059914.8
申请日：2015-09-10
Applicant: 电子光子集成电路股份有限公司 , 何诚中 , 黄莹彦
Abstract: 本申请公开一种包括紧凑曲线光栅（CCG）及其相关联的紧凑曲线光栅光谱仪（CCGS）或紧凑曲线光栅波长复用器/解复用器（WMDM）模块的系统以及一种用于制造所述系统的方法。所述系统能够获得极小（分辨率对比尺寸）RS因数。可以调节入射狭缝和检测器的位置以便得到针对特定设计目的的最佳性能。使用与工作波长相关的指定公式计算起始槽间隔。基于两个条件计算槽的位置。第一个条件是相邻槽之间的程差应是介质中的波长的整数倍，从而甚至在具有与所述入射狭缝或输入狭缝的大光束衍射角的情况下在所述检测器或第一锚定输出狭缝处获得无像差光栅聚焦，第二个条件是针对曲线光栅光谱仪的特定设计目的而特设的条件。
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公开(公告)号：CN106092317A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610415737.9
申请日：2016-06-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01J3/20
CPC classification number: G01J3/20
Abstract: 一种高精度Xe介质放电等离子体极紫外光刻光源光谱标定的方法，涉及光谱识别领域。本发明是为了解决现有的采用Hg灯对8nm～20nm范围内的线状谱进行标定，谱线的标定准确性差，导致对光谱的识别性差的问题。本发明第一步采用真空紫外阴极灯对罗兰圆谱仪进行初步标定，工作气体为He气；第二步采用He气和Ar气介质毛细管放电机制工作，通过He气和Ar气的线状谱对罗兰圆谱仪进行精确地标定。它用于对光谱进行标定。
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公开(公告)号：CN102713541A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201080052222.8
申请日：2010-11-18
Applicant: 堀场乔宾伊冯公司
CPC classification number: G01J3/36 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/0278 , G01J3/20
Abstract: 本发明涉及一种具有凹面衍射光栅的光学分光计，其包括：入射狭缝（3），适合于接收并形成包括至少一个波长λ的入射光束（5）；凹面衍射光栅（1），适合于接收具有入射角α的所述入射光束（5）并衍射所述光束以形成衍射光束，所述衍射光束与所述光栅（1）的法线形成角β(λ)；至少一个凹面镜（8、8a、8b、8c），由具有半径为rcyl的圆形截面的柱面的一部分构成，所述镜（8、8a、8b、8c）适合于接收沿方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）并将所述光束聚焦在至少一个出射狭缝（4、4a、4b、4c）上；以及至少一个光检测器（9、9a、9b、9c），其被光学耦合到所述出射狭缝（4、4a、4b、4c）以测量被衍射并由柱面镜（8、8a、8b、8c）聚焦的所述光束。根据本发明，所述镜（8、8a、8b、8c）位于叶形线上，该叶形曲线在所述衍射光栅（1）的方向上与沿所述方向β(λ)的所述衍射光束（6、6a、6b、6c）在罗兰圆（2）上的焦点相距距离d(λ)处，其中：d(λ)=rcyl/23/2/cos(β)。
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公开(公告)号：CN101256144A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200810102876.1
申请日：2008-03-28
Applicant: 清华大学
Abstract: 真空紫外光谱检测装置属于光谱分析领域。该装置包括：入口狭缝(2)，凹面光栅(3)，光纤阵列(4)和平板检测器(5)。入口狭缝(2)和凹面光栅(3)安装于真空腔体(1)之中，光纤阵列(4)的一个端面与由入口狭缝(2)和凹面光栅(3)所决定的罗兰圆面重合。光纤阵列(4)的该端面涂有可将真空紫外光转化为可见光的荧光物质，另一端面分叉为多个子光纤阵列，子光纤阵列的端面为平面并分别与一个平板检测器(5)相连接。本装置有同时测量一定波长范围内真空紫外光谱的能力，并达到掠入射光栅真空紫外光谱仪的光谱和像素分辨率，检测的时间响应好且有很高的灵敏度；真空腔体内无需可移动部件，结构简单可靠。
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公开(公告)号：CN100390529C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200510002087.7
申请日：2005-01-17
Applicant: 中国海洋大学
Abstract: 一种石油录井中岩屑岩芯含油量的测量方法。首先需对同一油区样品选取最佳同步扫描的波长差Δλ，然后以此固定的Δλ，采集浓度测量范围内不同浓度下的同步荧光光谱，再利用MATLAB对数据进行二维三次卷积的插值处理，形成浓度连续的三维同步荧光光谱数据库；将某一待测浓度样品的同步荧光光谱与该数据库中的光谱数据做最小二乘法的逐一对比，其中差值最小的光谱数据所对应浓度即为岩芯或岩屑含油量。本发明还适用于其他含多环芳烃化合物和混合物的浓度测量，更适用于多组分混合物且测量浓度范围大，像石油一类的荧光光谱的浓度测量，尤其是石油录井中岩屑和岩芯含油量的实时测量，操作简单，准确度高。
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