电子枪
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1129948C

    公开(公告)日:2003-12-03

    申请号:CN98104280.5

    申请日:1998-01-19

    Inventor: 白石哲也

    CPC classification number: H01J3/029 H01J1/20 H01J29/04

    Abstract: 提供一种能够确实有效地改善聚焦特性的电子枪;并允许相对容易地调整其位置布局。在具有发射电子的阴极和为单向引导从该阴极发射的电子而设置电子束通孔的多个栅极的电子枪中,所述阴极的电子发射面的电子发射区构成为带状。此外,使构成所述电子发射区的带状区域的短边方向长度为在不限定电子发射区取出实际最大电流的情况下的电子发射区直径的80%以下的长度。

    制造储备式阴极的方法
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1060180A

    公开(公告)日:1992-04-08

    申请号:CN91109359.1

    申请日:1991-09-21

    Inventor: 崔钟书

    CPC classification number: H01J1/28

    Abstract: 本文公开一种制造储备式阴极的方法,该方法包括以下步骤:将一种多孔基底材料填装在一存储容器中,将该存储容器焊接在一圆筒形套筒上,将一加热器装配在该套筒内。该套筒具有:一个与存储容器焊接的支承面;一外径大于存储容器的外径;及一个开口,该开口小于存储容器的外径。本方法可阻止焊接期间的热量向多孔基底材料传导,并提高阴极工作期间的热效率,从而得到优异的阴极特性。

    电子源
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111868880A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201880083787.9

    申请日:2018-10-26

    Abstract: 一种气源质谱仪中的电子源,所述电子源包括:电子发射器阴极,其呈现热电子发射器表面,该表面与所述气源质谱仪的气源室连通,以用于向所述气源室提供电子;加热元件,其与所述电子发射器阴极电气隔离,并且被布置成凭借其中的电流而被加热,并向所述电子发射器阴极辐射足以使电子从所述发射器表面热释放的热量,从而提供用于电离所述气源室中的气体的电子源。

    阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN108666188B

    公开(公告)日:2020-06-12

    申请号:CN201810479190.8

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种聚焦电极,包括:圆柱形壳状体,该圆柱形壳状体限定用于容纳阴极本体的腔穴,和前盖部,该前盖部设置有圆形的电子透射孔径和聚焦表面,其中,热陷捕表面被设置在所述圆柱形壳状体的内表面上,该热陷捕表面被配置成用于在使用中接收由阴极本体所释放的热辐射,其中所述前盖部还包括内电极表面,其被配置成支撑所述阴极本体,其中所述圆柱形壳状体包括有角度的间隙,该有角度的间隙形成在壳状体结构中的狭缝或削切部,用于容纳约束配置,该约束配置用于以支撑结构为基准来约束所述聚焦电极和/或所述阴极本体。

    阴极配置、电子枪以及包括此电子枪的光刻系统

    公开(公告)号:CN108666188A

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201810479190.8

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 本发明涉及一种聚焦电极,包括:圆柱形壳状体,该圆柱形壳状体限定用于容纳阴极本体的腔穴,和前盖部,该前盖部设置有圆形的电子透射孔径和聚焦表面,其中,热陷捕表面被设置在所述圆柱形壳状体的内表面上,该热陷捕表面被配置成用于在使用中接收由阴极本体所释放的热辐射,其中所述前盖部还包括内电极表面,其被配置成支撑所述阴极本体,其中所述圆柱形壳状体包括有角度的间隙,该有角度的间隙形成在壳状体结构中的狭缝或削切部,用于容纳约束配置,该约束配置用于以支撑结构为基准来约束所述聚焦电极和/或所述阴极本体。

Patent Agency Ranking