公开(公告)号：US20030218283A1

公开(公告)日：2003-11-27

申请号：US10360986

申请日：2003-02-08

Inventor： Kevin Y. Yasumura ,  John D. Grade ,  John H. Jerman

IPC: F16M001/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0078 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/058

Abstract: A damped micromechanical device useful for adjusting optical components, positioning transducers, and sensing motion. The micromechanical device includes a top cap that helps create an area of restricted fluid flow to increase mechanical damping of the device and minimize the response of the structure to mechanical perturbations. The micromechanical device is constructed to cause piston-like Poiseuille flow through controlled gaps within the actuator. By controlling the gap dimensions, the amount of damping can be adjusted.

Abstract translation: 用于调整光学部件，定位传感器和感应运动的阻尼微机械装置。 微机械装置包括顶盖，其有助于产生限制流体流动的面积以增加装置的机械阻尼，并使结构对机械扰动的响应最小化。 微机械装置被构造成使活塞式Poiseuille流动通过致动器内的受控间隙。 通过控制间隙尺寸，可以调节阻尼量。

公开(公告)号：US06628041B2

公开(公告)日：2003-09-30

申请号：US09572979

申请日：2000-05-16

Applicant: Seung Bok Lee ,  Noel MacDonald

Inventor： Seung Bok Lee ,  Noel MacDonald

IPC: H02N100

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B3/004 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841

Abstract: A micro-electro-mechanical-system (MEMS) mirror device includes a mirror component that is capable of moving upon electrostatic actuation. The MEMS mirror device also includes and one or more electrostatic actuators providing electrostatic actuation. The electrostatic actuators having plates disposed approximately perpendicular to the mirror component. The plates are disposed to define a gap between the plates that decreases along a direction perpendicular to a surface of the mirror component.

Abstract translation: 微电子机械系统（MEMS）镜装置包括能够在静电致动时移动的反射镜部件。 MEMS反射镜装置还包括提供静电致动的一个或多个静电致动器。 静电致动器具有大致垂直于镜子部件设置的板。 板被设置成限定沿着垂直于镜部件的表面的方向减小的板之间的间隙。

公开(公告)号：US20030177853A1

公开(公告)日：2003-09-25

申请号：US10357763

申请日：2003-02-03

Inventor： Young-Ho Cho ,  Won Chul Lee ,  Young-Hyun Jin

IPC: F16H021/44

CPC classification number: F16F3/02 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/033 ,  B81C2201/0132 ,  Y10T74/18856

Abstract: The nonlinear mechanical modulator of the present invention comprises first and second masses, a first spring connecting the first and second masses, and a second spring connecting the second mass and a fixed end. A motion input is applied to any one of the first and second masses and a resultant motion output is generated from the other one of the masses. Further, at least one of the springs has a nonlinear behavior characteristic that its stiffness varies according to a magnitude of the motion input. At this time, a nonlinear characteristic of the spring is categorized into a nonlinearly increasing characteristic that its stiffness is increased as its deflection becomes greater, and a nonlinearly decreasing characteristic that its stiffness is decreased as its deflection becomes greater. One or both of the two nonlinear characteristics can be applied to and employed in the mechanical modulator of the present invention.

Abstract translation: 本发明的非线性机械调制器包括第一和第二质量块，连接第一和第二质量块的第一弹簧和连接第二质量块和固定端部的第二弹簧。 将运动输入应用于第一和第二质量块中的任何一个，并且从另一个质量块产生合成的运动输出。 此外，弹簧中的至少一个具有其刚度根据运动输入的大小而变化的非线性行为特性。 此时，弹簧的非线性特性被分类为非线性增加的特性，其刚度随偏转变大而增大，而随着挠度变大，其刚度降低的非线性降低特性。 两种非线性特性中的一种或两种可以应用于本发明的机械调制器中并被应用于本发明的机械调制器。

公开(公告)号：US20010006248A1

公开(公告)日：2001-07-05

申请号：US09766521

申请日：2001-01-19

Applicant: Georgia Tech Research Corporation

Inventor： Mark G. Allen ,  Charles C. Chung

IPC: H01L029/00 ,  H01L021/00 ,  H01L021/76

CPC classification number: H01L21/761 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  Y10S257/93

Abstract: A micromachined structure having electrically isolated components is formed by thermomigrating a dopant through a substrate to form a doped region within the substrate. The doped region separates two portions of the substrate. The dopant is selected such that the doped region electrically isolates the two portions of the substrate from each other via junction isolation.

Abstract translation: 具有电隔离组分的微加工结构通过通过衬底热掺杂掺杂剂形成，以在衬底内形成掺杂区域。 掺杂区域分离衬底的两部分。 选择掺杂剂使得掺杂区域通过结隔离将衬底的两个部分彼此电隔离。

公开(公告)号：US5554304A

公开(公告)日：1996-09-10

申请号：US409990

申请日：1995-03-24

Applicant: Kenichiro Suzuki

Inventor： Kenichiro Suzuki

IPC: H02N1/00 ,  H01L21/306 ,  B44C1/22

CPC classification number: B81B3/0021 ,  H02N1/004 ,  H02N1/008 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/051

Abstract: In a micromotion mechanical structure, such as a vibration-type sensor or a step motor, comprising at least one fixed electrode and at least one movable electrode which is moved by electrostatic power applied to the fixed electrode, at least one of the electrodes is formed essentially by a single crystal semiconductor material. The single crystal semiconductor material has various merits of uniform mechanical properties, small internal stress, etc. for use in such electrodes. Such structure has been realized by attaching patterned electrode made of the material to another substrate and then removing or thinning the original substrate carrying the patterned electrodes.

Abstract translation: 在诸如振动型传感器或步进电动机的微动机械结构中，包括至少一个固定电极和通过施加到固定电极的静电力移动的至少一个可移动电极，形成至少一个电极 基本上由单晶半导体材料制成。 单晶半导体材料具有在这种电极中使用的各种机械性能，小内应力等的优点。 这种结构已经通过将由该材料制成的图案化电极附着到另一基底上，然后去除或稀薄承载图案化电极的原始基底来实现。

公开(公告)号：WO2017116562A1

公开(公告)日：2017-07-06

申请号：PCT/US2016/060547

申请日：2016-11-04

Applicant: MEMS DRIVE INC.

Inventor： MORABITO, Gerardo ,  LIU, Xiaolei ,  WANG, Guiqin ,  GUTIERREZ, Roman ,  NG, Matthew

IPC: B81B1/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B7/0016 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2203/0136 ,  H02N1/006

Abstract: Shock-resistant MEMS structures are disclosed. In one implementation, a motion control flexure for a MEMS device includes: a rod including a first and second end, wherein the rod is tapered along its length such that it is widest at its center and thinnest at its ends; a first hinge directly coupled to the first end of the rod; and a second hinge directly coupled to the second of the rod. In another implementation, a conductive cantilever for a MEMS device includes: a curved center portion includes a first and second end, wherein the center portion has a point of inflection; a first root coupled to the first end of the center portion; and a second root coupled to the second end of the center portion. In yet another implementation, a shock stop for a MEMS device is described.

Abstract translation: 公开了抗冲击MEMS结构。 在一个实施方式中，用于MEMS装置的运动控制挠曲件包括：包括第一端和第二端的杆，其中杆沿其长度逐渐变细，使得其在其中心处最宽并且在其端部处最薄; 直接连接到杆的第一端的第一铰链; 以及直接连接到杆的第二个的第二铰链。 在另一实施方式中，用于MEMS器件的导电悬臂包括：弯曲中心部分，其包括第一端和第二端，其中中心部分具有拐点; 耦合到中心部分的第一端的第一根部; 以及耦合到中心部分的第二端的第二根部。 在又一个实现中，描述了用于MEMS设备的震动停止。

公开(公告)号：WO2016087985A1

公开(公告)日：2016-06-09

申请号：PCT/IB2015/059062

申请日：2015-11-24

Applicant: MURATA MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： RYTKÖNEN, Ville-Pekka ,  LIUKKU, Matti

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  B81B5/00 ,  G01P15/08

CPC classification number: B60R21/01 ,  B60R2021/01286 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0154 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2207/015 ,  G01P15/125 ,  G01P15/13 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0817

Abstract: The MEMS sensor of the invention has movable and fixed components for measuring acceleration in a rotational mode in a direction in-plane perpendicular to spring axis. The components include an element frame (1), a substrate (7), a proof-mass (2) a spring (5) connected to the proof-mass (2) and to the substrate (7), and comb electrodes (9a, 9b). The MEMS sensor is mainly characterized by an arrangement of the components causing an inherent sensitivity for measuring accelerations in a range covering longitudinal and transversal accelerations. One or more of the components are tilted compared to the element frame (1). The semiconductor package (12) of the invention comprises at least one MEMS sensor.

Abstract translation: 本发明的MEMS传感器具有用于在与弹簧轴线垂直的平面内的方向上测量旋转模式的加速度的可移动和固定部件。 这些部件包括元件框架（1），基板（7），与质量块（2）和基板（7）相连的弹簧（5）和梳状电极（9a） ，9b）。 MEMS传感器的主要特征在于组件的布置，导致在覆盖纵向和横向加速度的范围内测量加速度的固有灵敏度。 与元件框架（1）相比，一个或多个部件倾斜。 本发明的半导体封装（12）包括至少一个MEMS传感器。

公开(公告)号：WO2016015903A1

公开(公告)日：2016-02-04

申请号：PCT/EP2015/062251

申请日：2015-06-02

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： ARTMANN, Hans ,  KAELBERER, Arnd ,  ZIELKE, Christian

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/101 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0833

Abstract: Die vorliegende Erfindung offenbart eine Mikrospiegelvorrichtung mit einem Substratstapel mit einem ersten Substrat, welches in einem nicht gekippten Zustand in einer ersten Ebene angeordnet ist, einem zweiten Substrat, welches in einem nicht gekippten Zustand in einer zweiten Ebene angeordnet ist, und einem dritten Substrat, welches in einem nicht gekippten Zustand in einer dritten Ebene angeordnet ist, mit einer ersten Gelenkeinrichtung, welche zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat angeordnet ist und dazu ausgebildet ist, das erste Substrats gegenüber dem zweiten Substrat um eine erste Gelenkachse zu kippen, und mit einer zweiten Gelenkeinrichtung, welche zwischen dem zweiten Substrat und dem dritten Substrat angeordnet ist und dazu ausgebildet ist, das zweite Substrat gegenüber dem dritten Substrat um eine zweite Gelenkachse zu kippen. Ferner offenbart die vorliegende Erfindung ein Mikrospiegelarray und eine Projektionseinrichtung.

Abstract translation: 本发明公开了一种微镜装置，包括具有第一基板，其在第一平面中，这是在一个第二平面设置在非倾斜状态的第二基板布置在非倾斜状态的基片叠，以及第三衬底，其 与被设置在第一基板和第二基板之间的第一铰链装置，设置在非倾斜状态在第三级适于在第一基板倾斜至约关节的第一轴的第二基板，以及用 第二铰接装置，其设置并适于从所述第三基板的第二基板倾斜到第二铰链轴的第二基板和第三基板之间。 此外，本发明公开了一种微镜阵列和投影装置。

公开(公告)号：WO2010136358A3

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：PCT/EP2010056813

申请日：2010-05-18

Applicant: BOSCH GMBH ROBERT ,  NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC ,  SCHOCK WOLFRAM ,  MUCHOW JOERG ,  LESTYAN ZOLTAN

Inventor： NJIKAM NJIMONZIE FREDERIC ,  SCHOCK WOLFRAM ,  MUCHOW JOERG ,  LESTYAN ZOLTAN

IPC: B81B3/00

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  Y10T29/49002

Abstract: The invention relates to a micromechanical component comprising an outer stator electrode component (28) and an outer actuator electrode component (24) connected to a holding element (55) by means of at least one outer spring (81). A mobile element (10) can be moved about a first rotational axis (12) by applying a first voltage between the outer actuator electrode component (24) and the outer stator electrode component (28). Said micromechanical component also comprises an inner stator electrode component (30) and an inner actuator electrode component (26) comprising a first web (50) provided with at least one electrode finger (26a,26b), the mobile element (10) being mobile about a second rotational axis (14) by applying a second voltage between the at least one electrode finger (26a, 26b) of the inner actuator electrode component (26) and the inner stator electrode component (30), the inner actuator electrode component (26) being connected to the outer actuator electrode component (24) by means of an intermediate spring (52) oriented in the direction of the second rotational axis (14). The invention also relates to a production method for a micromechanical component.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有外部定子电极组件（28）和外致动器电极组件（24），其经由至少一个外弹簧（81）配有一个支座（55），其特征在于，可调节的元件连接的微机械部件（10）的 外执行器电极组件（24）和围绕旋转（12）的第一轴的外定子电极组件（28）之间施加第一电压是可调的，内部定子电极部件（30）和一个内执行器电极组件（26） 与第一土地（50）具有至少一个布置的电极指（26A，26B），其中所述可调元件（10）将所述至少一个电极指之间的第二电压（26A，26B）内的致动器电极的组件（26）和 围绕旋转的第二轴内部定子电极部件（30）（14）是可调节的，并且其中所述内部执行器电极组件（26）连接到外耳炎 沿着所述弹簧（52）之间的旋转（14）的第二轴线对齐ßeren执行器电极组件（24）连接。 此外，本发明涉及一种用于微机械部件的制造方法。

公开(公告)号：WO2013021467A1

公开(公告)日：2013-02-14

申请号：PCT/JP2011/068177

申请日：2011-08-09

Applicant: トヨタ自動車株式会社 ,  成田 勝俊

Inventor： 成田　勝俊

IPC: G01C19/56 ,  G01B7/00

CPC classification number: G01B7/14 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  G01C19/5733

Abstract: 　本発明の変位量モニタ電極の構造は、固定電極と可動電極との相対的な関係が変化しても、検出マスの振幅を一定の目標振幅に保つうえで、それぞれ基部及び該基部から基板に対して平行な所定軸方向に延びる電極指からなる櫛歯状の、基板に対して固定される固定電極と、所定軸方向に変位し得る可動電極と、が互いの電極指同士が噛み合うように対向配置され、固定電極と可動電極との間の静電容量の変化量に基づいて目標振幅で駆動させるべき検出マスの変位量をモニタする変位量モニタ電極の構造において、可動電極の所定軸方向への変位量に対する静電容量の変化量の変化感度を、該可動電極の該所定軸方向への変位が検出マスの目標振幅に対応する目標変位量に達した後は該目標変位量に達する前に比べて大きくする。

Abstract translation: 在这种位移监测电极结构中，即使固定电极和可动电极之间的相对关系发生变化，为了保持检测质量的恒定的目标振幅，固定电极固定在基板上，能够移动的可动电极 在预定的轴向上，每个都具有梳状形状，并且由基底和电极指构成的基底和电极指，所述基底和电极指沿平行于基底的预定轴向方向延伸，使得电极 各个电极的指状物彼此接合，并且基于固定电极和可动电极之间的电容的变化量来监视以目标振幅被驱动的检测质量的位移。 在可动电极在预定轴向方向上的位移达到与检测质量的目标振幅相对应的目标位移之后，电容量相对于可动电极在预定轴向上的位移的变化量的变化灵敏度较大 ，与可动电极位移前的变化灵敏度达到目标位移。