公开(公告)号：KR101756857B1

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：KR1020167006664

申请日：2015-01-20

Applicant: 제이.에이. 울램 컴퍼니, 인코퍼레이티드

Inventor： 리파드,마틴,엠. ,  헤일,제프리,에스. ,  허,핑 ,  파이퍼,게일런,엘.

IPC: G01J4/04 ,  G01J1/04 ,  G01J4/00 ,  G02B19/00

CPC classification number: G02B17/0621 ,  G01J1/0411 ,  G01J1/0414 ,  G01J4/00 ,  G01J4/04 ,  G01N21/21 ,  G02B19/0023 ,  G02B19/0076 ,  G02B27/0012 ,  G02B27/286

Abstract: 빔반사표면들을갖는볼록미러(M3) 및오목미러(M4) 모두의존재를바람직하게는요구하는반사광학장치시스템(RFO)에관한것으로, 이시스템의사용은관여하는다양한미러들(M1)(M2)(M3)(M4)로의입사각들및 이로부터의반사각들의조절에기초하여서입사빔의편광상태에대한영향을최소화하면서, (입사빔(IB)의궤적과는상이한궤적을따를수 있는) 샘플상으로의전자기방사선의빔의집속을달성한다.

公开(公告)号：KR1020150099416A

公开(公告)日：2015-08-31

申请号：KR1020150017571

申请日：2015-02-04

Applicant: 더 보잉 컴파니

Inventor： 틸로트슨,브라이언제이. ,  바어니,제니퍼케이.

IPC: G01J4/00

CPC classification number: G01J4/04 ,  B64D47/08 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/0237 ,  G01J3/2823 ,  G01J2003/2826

Abstract: 시스템들은 편광 필터를 갖는 또는 갖지 않는 단일 카메라를 이용하여 편광 계측 데이터를 획득할 수 있다. 편광 필터가 사용될 때, 데이터 획득 방법은: (1) 이미지들이 캡쳐링될 때 다양한 방향들로 편광 필터 (및 카메라)를 방향 설정하기 위해 항공기 (또는 다른 운송 수단)을 조종하는 단계, (2) 다양한 이미지들을 서로 레지스터링하는 단계, 및 (3) 이미지들에서 관심 있는 포인트들에 대한 편광 계측 값들(이를테면, 스토크스 파라미터들)을 계산하는 단계를 포함한다. 편광 필터가 사용되지 않을 때, 데이터 획득 방법은, 이미지들이 캡쳐링될 때 다양한 방향들로 카메라를 방향 설정하기 위해 항공기 (또는 다른 운송 수단)을 조종하고 그 다음 동일한 동작들 (2) 및 (3)을 수행하는 단계를 포함한다. 이러한 방법들은 상이한 각들에서 다수의 카메라 이미지들을 촬영함으로써 주어진 풍경에서 편광의 양을 측정한다.

Abstract translation: 系统可以通过使用具有偏振滤光器的单个相机或没有偏振滤光片来获得偏振测量数据。 当使用偏振滤光器时，获得数据的方法包括以下步骤：（1）操作飞行器（或其他传送装置），以将偏振滤光器（和相机）的方向设定为各个方向; （2）彼此记录各种图像; 和（3）计算图像中的兴趣点的偏振测量值（例如，斯托克斯参数）。

公开(公告)号：KR1020150004858A

公开(公告)日：2015-01-13

申请号：KR1020147032267

申请日：2013-04-19

Applicant: 워싱톤 유니버시티

Inventor： 그루에브,빅토르

IPC: G01J4/04 ,  G01J3/28 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01J3/2803 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/36 ,  G01J4/04 ,  H01L27/1461 ,  H01L27/14621 ,  H01L27/14647

Abstract: 모놀리식 통합 화소 처리 알루미늄 나노와이어를 수직 스택 광검출기와 결합한 센서가 제공된다. 알루미늄 나노와이어는 2×2 픽셀 또는 수퍼픽셀의 더미(collection)로서 배치된다. 각각의 수퍼픽셀은 45°만큼 오프셋된 4개의 상이한 배향의 나노와이어를 포함한다. 따라서, 광학 필드는 0°, 45°, 90° 및 135° 선형 편광 필터로 샘플링된다. 공간 서브샘플링 때문에, 보간이 적용되어 전체 0°, 45°, 90° 및 135° 어레이를 재구성할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020140115124A

公开(公告)日：2014-09-30

申请号：KR1020130029825

申请日：2013-03-20

Applicant: 대한민국(기상청장)

Inventor： 홍성욱 ,  신인철

IPC: G01W1/00 ,  G01C11/02

CPC classification number: G01W1/08 ,  G01J4/04 ,  G01J2003/425 ,  G01W1/06 ,  G06Q50/26

Abstract: The present invention relates to a method and a system for obtaining information on flood from the observation of a satellite. The satellite-based flood detecting system comprises: an observation sensor unit which is mounted in a satellite that senses surface reflectance by spectrum channel in an area to be observed; a flood detecting determination unit which determines a flooded area through new color composition based on surface reflectance values by spectrum channel that are sensed by the observation sensor unit; and a flood area detecting verification unit which verifies the flooded area, determined by the flood detecting determination unit, using both a refractive index and reflectance by polarized light in the area to be observed.

Abstract translation: 本发明涉及一种从观测卫星获取洪水信息的方法和系统。 基于卫星的洪水检测系统包括：观测传感器单元，其安装在卫星中，以在待观察的区域中通过频谱通道感测表面反射率; 淹水检测确定单元，其基于由观测传感器单元感测的频谱信道的基于表面反射率值的新颜色组合来确定淹没区域; 以及洪水区域检测验证单元，其利用所述洪水检测判定单元确定的所述淹水区域，使用要观察的区域中的偏振光的折射率和反射率。

公开(公告)号：KR1020120050497A

公开(公告)日：2012-05-18

申请号：KR1020127007808

申请日：2010-08-26

Applicant: 칼 짜이스 레이저 옵틱스 게엠베하

Inventor： 뮨즈,홀거 ,  크라우스,요하네스 ,  베이글,베른하르트

IPC: G01J1/42 ,  G01J4/04 ,  H01S5/00 ,  G02B27/10 ,  G03F7/20 ,  H01S3/02

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01J1/4257 ,  G02B27/10 ,  G02B27/1073 ,  G02B27/108 ,  G03F7/70025 ,  G03F7/70566 ,  G03F7/7085 ,  H01S3/02 ,  H01S5/0014

Abstract: 레이저 시스템(100)은 레이저(110), 상기 레이저를 포함하는 하우징(101), 및 상기 레이저 시스템의 작동중에 상기 레이저로부터의 레이저 광선을 수신하도록 배치된 제1 챔버(120)를 포함한다. 상기 시스템은 또한, 상기 제1 챔버를 인접 챔버와 분리하고, 레이저 광선(201)의 경로에 배치되며, 상기 제1 챔버(225)와 인접 챔버 사이에 창을 형성하는 제1 광학소자(220); 상기 제1 광학소자(220)로부터의 상류 또는 하류의 광선(201)의 경로에 배치되는 빔 스플리터(210); 및 광선 검출 장치(240)를 포함한다. 상기 시스템의 작동중에, 상기 빔 스플리터(210)는 레이저 광선(201)을 수신하여, 상기 광선 검출 장치로, 메인 빔(201)으로서 레이저 광선의 제1 부분을 투과하고, 제1 서브 빔으로서 상기 레이저 광선의 제2 부분(202, 203)을 지향시킨다.

Abstract translation: 激光系统（100）包括激光器（110），包括激光器的壳体（101）和布置成在激光系统的操作期间接收来自激光器的激光辐射的第一腔室（120）。 该系统还包括将第一腔室与相邻腔室分开的第一光学元件（220），第一光学元件（220）被布置在激光辐射（201）的路径中，并且在第一腔室（225） 和相邻的室; 在所述第一光学元件（220）的上游或下游布置在所述辐射路径（201）中的分束器（210）; 和放射线检测装置（240）。 在系统操作期间，分束器（210）接收激光辐射（201），将激光辐射的第一部分作为主光束（201）传输，并将激光辐射的第二部分（202,203）引导为 朝向辐射检测装置的第一子光束。

公开(公告)号：KR100979215B1

公开(公告)日：2010-08-31

申请号：KR1020030022280

申请日：2003-04-09

Applicant: 쏘어랩스 인코포레이티드

Inventor： 에그베르트크라우제 ,  아달베르트반데머

IPC: G01J4/04

CPC classification number: G01M11/337 ,  G01J4/04 ,  G01M11/336

Abstract: 최소한 4개의 검출기를 갖는 유형의 고정밀 편광계 교정 방법은 4개의 공지된 편광 상태의 입력 광 신호(교정 편광) 및 최소한 하나의 추가의 편광 상태를 이용하는 단계를 포함한다. 편광계에 대한 모든 입력 편광 상태는 광 신호의 단일의 정규화된 파워 및 단일의 편광도를 갖는다. 4개의 교정 편광을 위한 스토크스 행렬(Stokes matrix)은 최소한 하나의 보정 파라미터에 의해 생성되고, 보정 행렬은 상기 스토크스 행렬 및 편광계에 의해 측정되는 대응 검출기 전류로부터 결정된다. 편광계에 의해 측정됨으로써 상기 편광 상태에 대한 편광도의 함수인 최적화 기준이 생성된다. 보정 파라미터는 상기 최적화 기준을 최소화하기 위해 반복적으로 변화하여 상기 편광계는 임의의 입력 편광 상태에 대하여 단일의 파워 및 편광도를 형성하도록 교정된다.
편광, 교정, 검출기, 광 신호, 스토크스, 보정, 파라미터, 행렬, 정규화

公开(公告)号：KR1020090012230A

公开(公告)日：2009-02-02

申请号：KR1020087026486

申请日：2007-04-27

Applicant: 마이크로닉 아베

Inventor： 샌드스트롬,토르브존

IPC: G01B11/00 ,  G01N21/00 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01B9/02011 ,  G01B9/0209 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J4/04 ,  G01J9/02 ,  G01N21/21 ,  G01N2021/95676

Abstract: This application discloses a new method to record an image. It relates to microscopy and surface analysis in many scientific and technical fields. In particular it relates to the imaging and inspection of surfaces used in microelectronics: non-patterned and patterned wafers and photomasks. In the sense that it records electric amplitude, it relates to holography. Applications include microscopy, defect inspection, scatterometry, and optical metrology.

Abstract translation: 本申请公开了一种记录图像的新方法。 它涉及许多科学和技术领域的显微镜和表面分析。 特别涉及用于微电子学中的表面的成像和检查：非图案化和图案化的晶片和光掩模。 在它记录电幅度的意义上，它涉及全息术。 应用包括显微镜，缺陷检查，散射测量和光学测量。

公开(公告)号：KR200393404Y1

公开(公告)日：2005-08-22

申请号：KR2020050013586

申请日：2005-05-13

Applicant: 안일신 ,  오혜근

Inventor： 오혜근 ,  안일신

IPC: G01J4/04 ,  G01N21/21

CPC classification number: G01J4/04 ,  G01J1/0425 ,  G01N21/211 ,  G01N2021/213

Abstract: 본 고안은 시편이 지닌 광학적 특성을 측정하기 위한 타원해석기에 관한 것으로서, 본 고안의 목적은 타원해석기를 소형화시키고 헤드를 다수 개로 배열하여 시편을 측정하는 것이다. 상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 타원해석기는 시편을 지지하는 시편 장착대와, 상기 시편 장착대에 수직으로 이격 설치되고 횡방향으로 연장 형성된 헤드 지지대와, 상기 헤드 지지대에 하나 이상의 종방향으로 배치된 복수개의 헤드가 배열된 타원해석기에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020050063718A

公开(公告)日：2005-06-28

申请号：KR1020040109577

申请日：2004-12-21

Applicant: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.

Inventor： 반디요크렘코마르첼 ,  플라젤로도니스조지 ,  클라센미첼프랑소와즈후베르트 ,  트레이거로니드 ,  우이터디요크탐모

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70566 ,  G01J4/04 ,  G03F1/44 ,  G03F7/70125 ,  G03F7/70133 ,  G03F7/70591

Abstract: 본 발명은 리소그래피 장치의 투영 렌즈를 통과한 광의 편광 상태를 결정하기 위한 방법에 관한 것이다. 편광 구조체들이 상기 리소그래피 장치의 투영 렌즈의 대상물 측 상에 배치된다. 상기 편광 구조체들을 통과한 광을 측정함으로써 상기 투영 렌즈의 편광 특성들에 관한 정보가 결정될 수 있다.

公开(公告)号：KR1020040100882A

公开(公告)日：2004-12-02

申请号：KR1020040026579

申请日：2004-04-19

Applicant: 가부시키가이샤 스크린 홀딩스

Inventor： 호리에마사히로

IPC: G01N21/21

CPC classification number: G01N21/211 ,  G01N2021/213 ,  G01J4/04 ,  G01N30/74

Abstract: PURPOSE: A spectroscopic ellipsometer is provided to increase the measuring accuracy, to restrict color aberration, and to reduce the size of the ellipsometer by irradiating the light from the polarizer to the object and guiding the light reflected from the object to the analyzer. CONSTITUTION: A lighting unit(3) of a spectroscopic ellipsometer(1) has a measuring light source(31). The polarized light from the measuring light source is guided on a substrate(9) by a polarizer(32). A light receiving unit comprises an analyzer(41) receiving the reflected light of the polarized light from the substrate and a spectrometer(42) receiving the reflected light from the analyzer to obtain the polarizing state according to each wavelength. Mirrors are arranged between the measuring light source and the polarizer, and between the analyzer and the spectrometer. The measuring accuracy is improved without changing the polarized light and the polarizing state of the reflected light from the mirror.

Abstract translation: 目的：提供一种分光椭偏仪，以增加测量精度，限制色差，并通过将来自偏振器的光照射到物体并将从物体反射的光引导到分析器来减小椭偏仪的尺寸。 构成：分光椭偏仪（1）的照明单元（3）具有测量光源（31）。 来自测量光源的偏振光通过偏振器（32）在衬底（9）上被引导。 光接收单元包括接收来自基板的偏振光的反射光的分析器（41）和接收来自分析器的反射光的光谱仪（42），以根据每个波长获得偏振状态。 反射镜布置在测量光源和偏振器之间以及分析仪和光谱仪之间。 在不改变来自反射镜的反射光的偏振光和偏振状态的情况下，可以提高测量精度。