排ガス浄化装置
    213.
    发明专利
    排ガス浄化装置 有权
    排气净化装置

    公开(公告)号:JPWO2013042644A1

    公开(公告)日:2015-03-26

    申请号:JP2013534708

    申请日:2012-09-18

    Abstract: エンジンの排気管にその出口に向って酸化触媒とオゾン噴射ノズルと尿素系流体噴射ノズルと選択還元型触媒とをこの順で配設する。排ガス浄化装置は、エンジンの吸気量を検出するエアフローセンサと、オゾン噴射ノズルの上流側の排気管中のNOx濃度を検出するNOxセンサと、選択還元型触媒及び酸化触媒の入口温度を検出する第1及び第2温度センサとを備える。オゾン噴射ノズルが接続されたオゾン発生装置は空気を圧縮するコンプレッサと、この空気を乾燥させるドライヤと、この空気の流量を検出する流量センサと、この空気をオゾンに変換するオゾン発生器と、この発生したオゾン濃度を検出するオゾン濃度センサとを有する。エアフローセンサ、NOxセンサ、第1温度センサ、第2温度センサ、流量センサ、オゾン濃度センサ及びエンジンの負荷を検出する負荷センサの各検出出力に基づいてコントローラがコンプレッサ及びオゾン発生器を制御する。

    Abstract translation: 处置氧化催化剂和臭氧喷射喷嘴和尿素系流体喷射喷嘴和以该顺序朝着出口至发动机的排气管上的选择性还原催化剂。 尾气净化装置,该检测装置用于检测所述发动机,所述NOx传感器,其检测在排气管中的NOx浓度的臭氧喷射喷嘴的上游侧的吸入空气量的空气流量传感器,该选择还原型催化剂的入口温度和氧化催化剂 和一个1和第二温度传感器。 臭氧发生器的臭氧喷射喷嘴连接到一个压缩机用于压缩的空气,用于干燥空气的干燥机,和用于检测空气,臭氧发生器的流量为空气转换成臭氧的流量传感器,该 和产生用于检测臭氧浓度的臭氧浓度传感器。 空气流量传感器,NOx传感器,所述第一温度传感器,第二温度传感器,流量传感器,所述控制器控制所述压缩机和基于负载传感器的检测输出的臭氧发生器,用于检测的臭氧浓度传感器和所述发动机的负载。

    Ozone generating element and method for manufacturing ozone generating element
    216.
    发明专利
    Ozone generating element and method for manufacturing ozone generating element 审中-公开
    臭氧发生元件和制造臭氧发生元件的方法

    公开(公告)号:JP2013166660A

    公开(公告)日:2013-08-29

    申请号:JP2012029511

    申请日:2012-02-14

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ozone generating element capable of suppressing the reduction a generating quantity of ozone due to deterioration of a protective layer and a method for manufacturing the same.SOLUTION: A laminated body 12 is constituted by laminating dielectric layers 18a to 18e. A discharge electrode 14 is provided on the dielectric layer 18a. An induction electrode 16 faces the discharge electrode 14 via the dielectric layer 18a by being arranged on the dielectric layer 18b. A protective layer 20 is arranged on the first dielectric layer 18a so as to cover the discharge electrode 14, and comprises a glass ceramic.

    Abstract translation: 要解决的问题:提供能够抑制由于保护层劣化导致的臭氧发生量的臭氧发生元件及其制造方法。解决方案:层叠体12通过将电介质层18a〜 18e。 放电电极14设置在电介质层18a上。 感应电极16通过布置在电介质层18b上的电介质层18a面对放电电极14。 在第一电介质层18a上设置保护层20以覆盖放电电极14,并且包括玻璃陶瓷。

    Method and system for measuring ozone gas concentration and substrate processing apparatus
    219.
    发明专利
    Method and system for measuring ozone gas concentration and substrate processing apparatus 有权
    测量臭氧浓度和底物加工装置的方法和系统

    公开(公告)号:JP2010114314A

    公开(公告)日:2010-05-20

    申请号:JP2008286687

    申请日:2008-11-07

    Inventor: SHINDO TAKEHIRO

    CPC classification number: C01B13/10 C01B13/11 C01B2201/62 Y10T436/206664

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for measuring ozone gas concentration for simply measuring concentration of ozone gas. SOLUTION: In a bevel part cleaning device 10 for removing a CF system deposit 18 sticking to a bevel part of a wafer W, a process gas generator 22 generates a process gas containing an ozone gas from a raw material gas containing an oxygen gas, and a mass flow controller 23 for process gas measures a flow rate of the process gas, and a controller 33 calculates a pace of decrease of the flow rate from the raw material gas to the process gas, and then calculates a concentration of the ozone gas contained in the process gas based on the pace of decrease of the flow rate. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题:提供用于简单测量臭氧气体浓度的测量臭氧气体浓度的方法。 解决方案:处理气体发生器22在用于去除粘附到晶片W的斜面部分的CF系统沉积物18的斜面部件清洁装置10中产生含有来自含氧气体的原料气体的臭氧气体的处理气体 气体和用于处理气体的质量流量控制器23测量处理气体的流量,并且控制器33计算从原料气体到处理气体的流量的降低速度,然后计算 基于流量降低的速度,处理气体中所含的臭氧气体。 版权所有(C)2010,JPO&INPIT

    CORONA DISCHARGE CELLS
    220.
    发明申请
    CORONA DISCHARGE CELLS 审中-公开
    CORONA放电细胞

    公开(公告)号:WO2016000038A1

    公开(公告)日:2016-01-07

    申请号:PCT/AU2015/050368

    申请日:2015-07-01

    Abstract: A corona discharge apparatus comprising: (a) an elongate inner electrode, (b) an elongate dielectric sleeve mounted on the inner electrode, (c) an elongate outer electrode mounted on the dielectric sleeve, and (d) an ozone-producing region over which the outer electrode extends, the ozone- producing region having an inlet end and an outlet end, the ozone-producing region defined by three sealing members at the inlet end thereof and three sealing members at the outlet end thereof, the sealing members forming a seal between the inner electrode and the dielectric sleeve.

    Abstract translation: 一种电晕放电装置,包括:(a)细长内部电极,(b)安装在所述内部电极上的细长电介质套筒,(c)安装在所述电介质套筒上的细长外部电极,以及(d) 外部电极延伸,臭氧产生区域具有入口端和出口端,臭氧产生区域由其入口端处的三个密封构件和其出口端处的三个密封构件限定,密封构件形成 密封在内部电极和介电套筒之间。

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