离子源组件
    218.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101303955B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200710074322.0

    申请日:2007-05-09

    CPC classification number: H01J27/26 H01J27/024 H01J2201/30469

    Abstract: 本发明涉及一种离子源组件,该离子源组件包括冷阴极、栅极和离子加速极,冷阴极、栅极和离子加速极分别相向间隔设置,该栅极位于冷阴极与离子加速极之间,其中,冷阴极与栅极之间的距离小于或等于2毫米,冷阴极包括基底及场发射薄膜,场发射薄膜设置于基底上且面向栅极,所述场发射薄膜含有碳纳米管、低熔点玻璃及导电金属微粒。该离子源组件的冷阴极采用碳纳米管作为场发射薄膜来发射电子,因此其具有低功耗、低放气率、发射电子稳定及抗离子轰击等优点。

    场发射电子源的制造方法
    219.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101188179B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200610156847.4

    申请日:2006-11-15

    CPC classification number: H01J9/025 H01J29/04 H01J31/127 H01J2201/30469

    Abstract: 本发明涉及一种场发射电子源的制造方法,其包括:提供至少一个阴极导电体、制备一定量的碳纳米管浆料和导电浆料;在阴极导电体上涂敷一层导电浆料,将导电浆料加热形成导电浆料层;在导电浆料层上涂敷一层碳纳米管浆料,将碳纳米管浆料加热从而在导电浆料层上形成碳纳米管浆料层;以及将形成有导电浆料层和碳纳米管浆料层的导电体在300~600℃条件下进行烘干和焙烧从而在导电体的表面上形成导电层和碳纳米管电子发射层,进而得到场发射电子源。

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