임계치수의 측정 방법
    231.
    发明授权
    임계치수의 측정 방법 有权
    如何测量阈值数量

    公开(公告)号:KR101844627B1

    公开(公告)日:2018-04-02

    申请号:KR1020147002086

    申请日:2012-06-12

    Abstract: 기판에대한다파장(multi-wavelegnth), 다방위각(multi-azimuth), 및다입사각(multi-angle-of-incidence)의판독을행하는분광기구로서, 조사빔을생성하는광대역광원, 조사빔을다방위각및 다입사각으로동시에기판으로지향시켜, 반사빔을생성하는대물광학계, 방위각과입사각의소망하는별개의조합을갖는반사빔의일부를선택적으로통과시키기위해내부에조사개구및 복수개의집광개구가형성되는개구판, 방위각과입사각의별개의조합을수신하여판독치를생성하는검출기, 및판독치를해석하는프로세서를포함하는분광기구가제공된다.

    Abstract translation: 治疗波长(多wavelegnth)在所述基板上,和方位角(多方位),mitda入射角(多角度的入射),作为宽带光源,照射束,用于产生照射光束方位角的进行读出的分光装置 它通过入射在引导至所述基板,所述物镜光学系统,方位角和所期望的照射开口和多个光收集孔在其中的用于具有不同组合的反射光束的一部分的同时的角度,以选择性地传递给入射角以产生一反射光束,以形成 接收方位角和入射角的不同组合以产生读数的检测器,以及分析读数的处理器。

    분광기, 및 분광기의 제조 방법
    233.
    发明公开
    분광기, 및 분광기의 제조 방법 审中-实审
    制造光谱的方法,

    公开(公告)号:KR1020160118222A

    公开(公告)日:2016-10-11

    申请号:KR1020167017142

    申请日:2015-02-03

    Abstract: 분광기(1A)는, 광통과부(21), 제1 광검출부(22) 및제2 광검출부(26)가마련된광 검출소자(20)와, 공간(S)이형성되도록광 검출소자(20)에고정된지지체(30)와, 지지체(30)에마련되며, 공간(S)에서, 광통과부(21)를통과한광(L1)을반사하는제1 반사부(11)와, 광검출소자(20)에마련되며, 공간(S)에서, 제1 반사부(11)에서반사된광(L1)을반사하는제2 반사부(12A)와, 지지체(30)에마련되며, 공간(S)에서, 제2 반사부(12A)에서반사된광(L1)을제1 광검출부(22)에대해서분광함과아울러반사하는분광부(40A)를구비한다. 제2 광검출부(26)는, 제2 반사부(12A)를포위하는영역에복수배치되어있다.

    Abstract translation: 分光器1A包括设置有光通路部分21,第一光电检测器部分22和第二光电检测器部分26的光电检测器元件20, 第一反射器11设置在支撑件30上并且将穿过空间S中的光通过部分21的光L1反射, 第二反射部分12A设置在支撑件S中并且将由第一反射部分11反射的光L1反射到空间S中,以及第二反射部分12B设置在支撑件S中, 以及分光单元40A,用于将由第二反射单元12A反射的光L1相对于第一光检测单元22分光并反射光L1。 多个第二光学检测部分26布置在围绕第二反射部分12A的区域中。

    복수의 독립된 광 경로를 갖는 광 도파관 및 그를 이용한 광학적 가스센서
    235.
    发明授权
    복수의 독립된 광 경로를 갖는 광 도파관 및 그를 이용한 광학적 가스센서 有权
    具有多个独立光路的光波导和使用该光波导的光学气体传感器

    公开(公告)号:KR101581341B1

    公开(公告)日:2015-12-31

    申请号:KR1020140012013

    申请日:2014-02-03

    Abstract: 본발명은복수의독립된광 경로를갖는광 도파관및 그를이용한광학적가스센서에관한것으로, 복수개의 3차원타원경을이용한광학적구조물에서복수개의 3차원타원경의제1 초점을공통으로사용하고제1 초점에광원을각각의제2 초점에광 센서부를구비하거나, 복수개의 3차원타원경중 어느하나의타원경의제2 초점에광원을다른 3차원타원경각각의제2 초점에광 센서부를구비한구조에서광학적효율을향상을위해일정한제1 타원경과제2 타원경의가상의기준선이일정한각도를갖도록배치함으로써, 광경로를길게하고, 입사광을인위적인별도의구조물없이집광함으로써광 효율을향상시키는효과가있다.

    Abstract translation: 本公开涉及一种光学气体传感器,其至少包括:光波导,包括沿着第一立体椭圆体的至少一部分形成并具有第一焦点和第二焦点的第一椭圆镜,第二椭圆镜 沿着第二三维椭圆体的至少一部分形成并且具有第一焦点和第三焦点,以及沿着第三三维椭圆体的至少一部分形成并具有第一焦点和第四焦点的第四椭圆体的第三椭圆镜 焦点; 安装在第一,第二,第三和第四焦点中的至少一个上的一个或多个光学传感器; 以及安装在未安装所述一个或多个光学传感器的第一,第二,第三和第四焦点中的至少一个的一个或多个光源。

    유체 분석용 분광기
    240.
    发明公开
    유체 분석용 분광기 有权
    用于流体分析的光谱仪

    公开(公告)号:KR1020100092438A

    公开(公告)日:2010-08-20

    申请号:KR1020107010311

    申请日:2008-09-26

    Abstract: 본 발명은 파장대를 커버하는 광선을 생성하도록 설정된 조명장치(LSRC), 상기 조명장치로부터 출력된 광선이 분석대상인 유체와 상호작용하도록 설정된 프로브, 및 상기 광선이 분석대상인 유체와 상호작용한 후에 광선을 수용하고, 다양한 범위의 파장에 대해 광도의 측정치를 제공하도록 설정된 스펙트럼 분석 장치를 포함하는 분광기로서, 상기 조명장치가, 다양한 범위의 파장의 빛을 발산하는 수개의 발광 부재(1a-1c), 및 상기 발광 부재(1a-1c)의 발광면에 고정되고, 상기 파장대를 커버하는 생성된 광선으로 상기 발광 부재에 의해 발산된 광류를 결합하며, 상기 생성된 광류를 프로브로 가이드하는 복합 광학 부재(3)를 포함하는 것을 특징으로 하는 분광기에 관한 것이다.

Patent Agency Ranking